เตาสุญญากาศ CVD และ CVI

เตาสุญญากาศ Semicorex CVD และ CVI เป็นเครื่องมือคุณภาพสูงที่ออกแบบมาสำหรับกระบวนการสะสมไอสารเคมี (CVD) อุณหภูมิปฏิกิริยาสูงถึง 2200°C สามารถสะสมวัสดุได้หลากหลาย รวมถึงซิลิคอนคาร์ไบด์ โบรอนไนไตรด์ กราฟีน และอื่นๆ เตา CVD มีการออกแบบที่แข็งแกร่งและทำจากวัสดุคุณภาพสูง จึงมั่นใจในความน่าเชื่อถือและความทนทานสำหรับการใช้งานในระยะยาว มีทั้งโครงสร้างแนวนอนและแนวตั้ง

แอปพลิเคชัน:จานเบรกคอมโพสิต C/C เบ้าหลอม แม่พิมพ์ และอื่นๆ

คุณสมบัติของเตาสุญญากาศ Semicorex CVD และ CVI

1.การออกแบบที่แข็งแกร่งทำจากวัสดุคุณภาพสูงสำหรับการใช้งานในระยะยาว

2. ควบคุมการส่งก๊าซได้อย่างแม่นยำโดยใช้ตัวควบคุมการไหลของมวลและวาล์วคุณภาพสูง

3. มีคุณสมบัติด้านความปลอดภัยเช่นการป้องกันอุณหภูมิเกินและการตรวจจับก๊าซรั่วเพื่อการทำงานที่ปลอดภัยและเชื่อถือได้

4.ใช้โซนควบคุมอุณหภูมิหลายโซน ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิที่ดี

5. ห้องสะสมที่ออกแบบเป็นพิเศษพร้อมเอฟเฟกต์การปิดผนึกที่ดีและประสิทธิภาพการป้องกันการปนเปื้อนที่ดีเยี่ยม

6. ใช้ช่องสะสมหลายช่องที่มีการไหลของก๊าซสม่ำเสมอโดยไม่มีมุมตายของการสะสมและพื้นผิวการสะสมที่สมบูรณ์แบบ

7.มีการบำบัดน้ำมันดิน ฝุ่นแข็ง และก๊าซอินทรีย์ในระหว่างกระบวนการสะสม

คุณสมบัติเสริม:

• ประตูเตา: สกรู/ไฮดรอลิก/แบบยกระดับด้วยมือ ช่องเปิดแบบสวิง/ช่องเปิดแบบขนาน (ขนาดใหญ่

ประตูเตา); แน่นด้วยมือ / แหวนล็อคอัตโนมัติแน่น

• ภาชนะเตา: เหล็กกล้าคาร์บอนทั้งหมด/สแตนเลสชั้นใน/สแตนเลสทั้งหมด

• โซนร้อนของเตา: สักหลาดคาร์บอนอ่อน/สักหลาดกราไฟท์อ่อน/สักหลาดคอมโพสิตแข็ง/CFC

•องค์ประกอบความร้อนและการเผา: กราไฟท์แบบกดแบบไอโซสแตติก/กราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์ ความแข็งแรง และความหนาแน่นสูง/กราไฟท์ขนาดละเอียด

• ระบบแก๊สในกระบวนการผลิต: ปริมาตร/เครื่องวัดอัตราการไหลมวล

• เทอร์โมคัปเปิล: ชนิด K/ชนิด N/ชนิด C/ชนิด S

*พารามิเตอร์ข้างต้นสามารถปรับให้เข้ากับข้อกำหนดของกระบวนการได้ ซึ่งไม่ใช่มาตรฐานการยอมรับ หรือข้อกำหนดรายละเอียด จะระบุไว้ในข้อเสนอทางเทคนิคและข้อตกลง