สินค้า
ตัวรับถังเคลือบ SiC ที่ทนทาน

ตัวรับถังเคลือบ SiC ที่ทนทาน

ด้วยความหนาแน่นและการนำความร้อนที่ยอดเยี่ยม ตัวรับถังเคลือบ SiC เคลือบ Semicorex ทนทาน จึงเป็นตัวเลือกที่เหมาะสำหรับใช้ในกระบวนการเอพิแทกเซียลและการใช้งานด้านการผลิตเซมิคอนดักเตอร์อื่นๆ การเคลือบ SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูงให้คุณสมบัติการป้องกันและการกระจายความร้อนที่เหนือกว่า ทำให้เป็นตัวเลือกยอดนิยมสำหรับผลลัพธ์ที่เชื่อถือได้และสม่ำเสมอ

ส่งคำถาม

รายละเอียดสินค้า

หากคุณต้องการตัวรับกราไฟท์คุณภาพสูงที่มีความต้านทานความร้อนและการกัดกร่อนที่เหนือกว่า ไม่ต้องมองหาที่ไหนนอกจากตัวรับแบบกระบอกเคลือบ SiC ที่ทนทานของ Semicorex การเคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์ให้การนำความร้อนและการกระจายความร้อนที่ยอดเยี่ยม ทำให้มั่นใจได้ถึงประสิทธิภาพที่เชื่อถือได้และสม่ำเสมอแม้ในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงซึ่งมีความต้องการสูงสุด
ตัวรับถังเคลือบ SiC ที่ทนทานของเราได้รับการออกแบบมาเพื่อให้ได้รูปแบบการไหลของก๊าซแบบลามินาร์ที่ดีที่สุด ซึ่งรับประกันความสม่ำเสมอของโปรไฟล์ความร้อน ซึ่งจะช่วยป้องกันการปนเปื้อนหรือการแพร่กระจายของสิ่งเจือปน ทำให้มั่นใจได้ว่าชิปเวเฟอร์จะเติบโตแบบเอพิแทกเซียลคุณภาพสูง
ติดต่อเราวันนี้เพื่อเรียนรู้เพิ่มเติมเกี่ยวกับ Susceptor ถังเคลือบ SiC ที่ทนทานของเรา


พารามิเตอร์ของตัวรับถังเคลือบ SiC ที่ทนทาน

ข้อมูลจำเพาะหลักของการเคลือบ CVD-SIC

คุณสมบัติ SiC-CVD

โครงสร้างคริสตัล

เฟส FCC β

ความหนาแน่น

กรัม/ซม. ³

3.21

ความแข็ง

ความแข็งของวิคเกอร์

2500

ขนาดเกรน

ไมโครเมตร

2~10

ความบริสุทธิ์ของสารเคมี

%

99.99995

ความจุความร้อน

เจ กก-1 K-1

640

อุณหภูมิระเหิด

2700

ความแข็งแกร่งของเฟล็กซ์เจอร์

MPa (RT 4 จุด)

415

โมดูลัสของยัง

เกรดเฉลี่ย (โค้ง 4 พอยต์, 1300°C)

430

การขยายตัวทางความร้อน (C.T.E)

10-6K-1

4.5

การนำความร้อน

(W/mK)

300


คุณสมบัติของตัวรับถังเคลือบ SiC ที่ทนทาน

- ทั้งสารตั้งต้นกราไฟท์และชั้นซิลิคอนคาร์ไบด์มีความหนาแน่นที่ดีและสามารถมีบทบาทในการป้องกันที่ดีในสภาพแวดล้อมการทำงานที่มีอุณหภูมิสูงและกัดกร่อน

- ตัวรับเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ที่ใช้สำหรับการเจริญเติบโตของผลึกเดี่ยวมีความเรียบของพื้นผิวที่สูงมาก

- ลดความแตกต่างของค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนระหว่างพื้นผิวกราไฟท์และชั้นซิลิคอนคาร์ไบด์ ปรับปรุงความแข็งแรงพันธะได้อย่างมีประสิทธิภาพเพื่อป้องกันการแตกร้าวและการหลุดร่อน

- ทั้งซับสเตรตกราไฟท์และชั้นซิลิกอนคาร์ไบด์มีค่าการนำความร้อนสูงและมีคุณสมบัติการกระจายความร้อนที่ดีเยี่ยม

- มีจุดหลอมเหลวสูง ทนต่อการเกิดออกซิเดชันที่อุณหภูมิสูง ทนต่อการกัดกร่อน




แท็กยอดนิยม: Susceptor บาร์เรลเคลือบ SiC ที่ทนทาน, จีน, ผู้ผลิต, ซัพพลายเออร์, โรงงาน, ปรับแต่ง, จำนวนมาก, ขั้นสูง, ทนทาน
หมวดหมู่ที่เกี่ยวข้อง
ส่งคำถาม
โปรดส่งคำถามของคุณในแบบฟอร์มด้านล่าง เราจะตอบกลับคุณภายใน 24 ชั่วโมง
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept