การเคลือบคาร์บอนแบบแก้ว

การเคลือบคาร์บอน Semicorex Glassy รู้สึกว่าทำหน้าที่เป็นชั้นฉนวนภายในในเครื่องปฏิกรณ์ Epitaxial Silicon Carbide มันเป็นวัสดุฉนวนที่มีประสิทธิภาพสูงที่ออกแบบมาสำหรับสภาพแวดล้อมความร้อนขั้นสูง ผลิตภัณฑ์นี้เอาชนะความท้าทายการผลิตอุณหภูมิอุณหภูมิสูงโดยทั่วไปโดยนำเสนอโซลูชั่นที่เหนือกว่าเนื่องจากคุณสมบัติฉนวนความร้อนที่มีน้ำหนักเบาและยอดเยี่ยมของกราไฟท์รู้สึกควบคู่ไปกับความสมบูรณ์ของพื้นผิวและความเฉื่อยทางเคมีที่ได้รับจากการเคลือบคาร์บอนที่เป็นแก้ว

วัสดุพื้นฐานเป็นความบริสุทธิ์สูงกราไฟท์รู้สึกเลือกค่าการนำความร้อนต่ำความเสถียรของอุณหภูมิสูงและน้ำหนักเบา กราไฟท์ปกติรู้สึกว่ามักจะมีการไหลของเส้นใยพื้นผิวและการสร้างอนุภาคที่อุณหภูมิสูงซึ่งสามารถปนเปื้อนสภาพแวดล้อมของกระบวนการในระบบ epitaxial ที่ละเอียดอ่อน เพื่อลดปัญหานี้พื้นผิวของกราไฟท์รู้สึกถูกเคลือบอย่างสม่ำเสมอด้วยชั้นของคาร์บอนแก้วซึ่งเป็นรูปแบบคาร์บอนที่มีความหนาแน่นและไม่มีรูพรุนที่รู้จักกันในเรื่องความเฉื่อยของสารเคมีการซึมผ่านของก๊าซต่ำและความเสถียรทางความร้อนที่ยอดเยี่ยม

Glassy Carbon เป็นคาร์บอนที่ไม่มีกราฟที่รวมคุณสมบัติของแก้วและเซรามิก ในทางตรงกันข้ามกับกราไฟท์ผลึกมันเป็นวัสดุคาร์บอนไฮบริดส SP2 ที่มีอสัณฐานเกือบ 100% ซึ่งเกิดจากการเผาอุณหภูมิสูงของสารตั้งต้นอินทรีย์พอลิเมอร์เช่นเรซินฟีนอลิกเรซินแอลกอฮอล์เฟอร์ฟูริล ฯลฯ ในบรรยากาศก๊าซเฉื่อย เนื่องจากเป็นสีดำตลอดและมีพื้นผิวเรียบคล้ายกับแก้วจึงเรียกว่าคาร์บอนแก้ว

การเคลือบคาร์บอนแบบแก้วสามารถกำจัดการสร้างอนุภาคเตาเผาให้รูขุมขนที่ปิดผนึกมีคุณสมบัติในการแยกแยะที่ยอดเยี่ยมและลดการซึมผ่านทำให้วัสดุนี้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับแม่พิมพ์หล่อและผลิตภัณฑ์อย่างต่อเนื่องในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ วัสดุนี้มีแอพพลิเคชั่นที่หลากหลายในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์โดยเฉพาะอย่างยิ่งในชิ้นส่วนกราไฟท์เช่นส่วนประกอบอุปกรณ์ดึงซิลิคอนคริสตัลเดี่ยวส่วนประกอบการเจริญเติบโตของ epitaxial, แม่พิมพ์หล่ออย่างต่อเนื่อง

คาร์บอนแก้วมีความต้านทานอุณหภูมิสูงสูงถึง 3,000 ° C ในก๊าซเฉื่อยหรือสุญญากาศและไม่เหมือนกับวัสดุเซรามิกและโลหะที่มีอุณหภูมิสูงอื่น ๆ ความแข็งแรงของคาร์บอนที่เพิ่มขึ้นของแก้วเพิ่มขึ้นเมื่ออุณหภูมิเพิ่มขึ้นสูงถึง 2700k นอกจากนี้คาร์บอนแก้วมีมวลต่ำการดูดซับความร้อนต่ำและการขยายตัวทางความร้อนต่ำดังนั้นจึงเหมาะสำหรับการใช้งานที่อุณหภูมิสูงเกือบทั้งหมด

การเคลือบคาร์บอนแบบแก้วมีบทบาทสำคัญในการปิดผนึกรูขุมขนพื้นผิวของกราไฟท์ที่ให้ความรู้สึกลดการปล่อยอนุภาคและฝุ่นคาร์บอนอย่างมีนัยสำคัญในระหว่างการทำงาน สิ่งนี้มีความสำคัญอย่างยิ่งในกระบวนการเจริญเติบโตของ epitaxial sic ซึ่งแม้แต่การปนเปื้อนน้อยที่สุดก็สามารถลดคุณภาพของเวเฟอร์และประสิทธิภาพของอุปกรณ์ได้ โดยการห่อหุ้มโครงสร้างที่มีรูพรุนของความรู้สึกด้วยเปลือกคาร์บอนที่เรียบและเป็นแก้วแข็งการเคลือบทำให้มั่นใจได้ว่าสภาพแวดล้อมทางความร้อนที่สะอาดและมีเสถียรภาพภายในห้องปฏิกิริยา

ข้อดีที่สำคัญของการเคลือบคาร์บอนแบบแก้วรวมถึง:

การหลั่งอนุภาคที่ลดลง: การเคลือบหนาแน่นล็อคอย่างมีประสิทธิภาพในเส้นใยและอนุภาคที่หลวมทำให้การปนเปื้อนของเวเฟอร์และส่วนประกอบเครื่องปฏิกรณ์

ความเสถียรทางความร้อนสูง: ทั้งกราไฟท์รู้สึกและคาร์บอนแก้วสามารถทนต่ออุณหภูมิสูงกว่า 2,000 ° C ในบรรยากาศเฉื่อยหรือสุญญากาศทำให้ผลิตภัณฑ์เหมาะสำหรับกระบวนการ SIC อุณหภูมิสูง

ความเฉื่อยทางเคมี: พื้นผิวคาร์บอนที่เป็นแก้วทนทานต่อกรดส่วนใหญ่และก๊าซกัดกร่อนขยายอายุการใช้งานของชั้นฉนวนภายใต้สภาวะที่รุนแรง

ความสอดคล้องของกระบวนการที่ได้รับการปรับปรุง: การสร้างอนุภาคที่ลดลงทำให้เกิดสภาพแวดล้อมการเจริญเติบโตของ epitaxial ที่เสถียรและทำซ้ำได้มากขึ้นซึ่งเป็นสิ่งจำเป็นสำหรับการผลิตเวเฟอร์ SIC ที่มีคุณภาพสูง

การประยุกต์ใช้การเคลือบคาร์บอนแบบแก้วให้ความรู้สึกขยายไปถึงเตาหลอมการเจริญเติบโตของ sic epitaxial ซึ่งใช้เป็นชั้นฉนวนกันความร้อนภายในเขตร้อน โดยทั่วไปแล้วผลิตภัณฑ์จะถูกติดตั้งเป็นวัสดุซับในสแต็คฉนวนบนหรือล่างซึ่งให้ทั้งการป้องกันความร้อนและการประกันความสะอาด