ชัคกราไฟท์

Semicorex Graphite Chuck ได้รับการออกแบบมาจากกราไฟท์พิเศษได้รับการยอมรับว่ามีความต้านทานต่อความร้อนและสารเคมีที่โดดเด่น ตัวอย่างที่เป็นเอกลักษณ์ของกราไฟท์ชัคที่ได้รับการออกแบบมาโดยเฉพาะจากกราไฟท์ในรูปแบบนั้นเพราะเป็นที่รู้จักกันดีว่ามีความต้านทานต่อสารเคมีและความร้อนสูงมาก สิ่งนี้ทำให้ chucks ยาวนานมากและพวกเขาจะทำงานในสภาวะที่ยากที่สุดภายใต้การใช้งานในการสะสมไอสารเคมี (CVD) หรือการแกะสลักพลาสมาหรือแม้กระทั่งในเตาอุณหภูมิสูง ดังนั้นความบริสุทธิ์สูงที่มีสิ่งสกปรกต่ำมากจะหมายความว่าพวกเขาจะไม่ทำให้เกิดการปนเปื้อนในระหว่างการผลิต polysilicon พวกเขามีความสามารถในการแบกอุณหภูมิสูงกว่า 2,000 ° C โดยไม่มีการเสียรูปที่โดดเด่นเนื่องจากมีความเสถียรมากผ่านอุณหภูมิที่เพิ่มขึ้น นอกจากนี้พวกเขายังมีความต้านทานต่อสารเคมีส่วนใหญ่ที่เหนือกว่าและดังนั้นจึงจะอยู่รอดได้ภายใต้สภาวะที่ยากมากเช่นในกรดไฮโดรคลอริก (HCL) หรือซิลิคอนเตตระคลอไรด์ (SICL4) ความแข็งแรงเชิงกลสูงหมายความว่าชัคสามารถรักษารูปแบบได้แม้ว่าจะมีภาระต่อเนื่อง

กราไฟท์ชัคมีความสำคัญในการประมวลผลเวเฟอร์และการเติบโตของผลึก พวกเขามีบทบาทหลักในการผลิตทั้งหมดในทุกขั้นตอนเช่นการสะสมไอเคมี (CVD) ซึ่งพวกเขามั่นใจได้ว่าการสะสมของซิลิกอนสม่ำเสมอ ในระหว่างการหั่นและการขัดพวกเขาให้การสนับสนุนที่มั่นคงสำหรับการตัดเวเฟอร์และการตกแต่งพื้นผิว ในการประมวลผลความร้อนพวกเขาทำหน้าที่เป็นฐานที่ทนความร้อนสำหรับกระบวนการอบอ่อนซิลิคอนเวเฟอร์และกระบวนการยาสลบเพิ่มประสิทธิภาพและคุณภาพของสายการผลิตอย่างมีนัยสำคัญ

เราจะมั่นใจได้อย่างไรว่าประสิทธิภาพของประสิทธิภาพของเรากราไฟท์?

ครั้งแรกคาร์บอน เตาเผาของเรามีเพียง 115 ลูกบาศก์เมตร ทีมงานด้านเทคนิคของเราจะทดสอบสนามอุณหภูมิของผลิตภัณฑ์กราไฟท์ในพื้นที่ต่าง ๆ ของแต่ละเตา ในสถานะอุณหภูมิต่ำ (0-200 °) เมื่ออุณหภูมิเริ่มสูงขึ้นเราจะควบคุมมันที่ประมาณ± 10 °และในสถานะอุณหภูมิสูง (สูงกว่า 600 °) เราจะควบคุมที่± 1 ° เราจะไม่เพียงแค่ทดสอบสนามอุณหภูมิระหว่างกราไฟท์ที่แตกต่างกัน แต่ยังทดสอบพื้นผิวและอุณหภูมิภายในของวัสดุกราไฟท์แต่ละชิ้นและควบคุมที่± 3 ° เราทดสอบ 8 จุดอุณหภูมิในแต่ละเตาในเตาเผาคาร์บอน

ประการที่สองคือกราฟิค ตัวอย่าง 500 กิโลกรัมเราจะทดสอบ 8 คะแนนอุณหภูมิ ตัวอย่างจะถูกตรวจสอบแบบสุ่มที่ตำแหน่งใด ๆ ของผลิตภัณฑ์กราฟที่มีการทดสอบการทำลายล้าง หลังจากการทำลายล้าง 24 คะแนนจะถูกทดสอบ การทดสอบจะดำเนินการแยกต่างหากจากแกน XYZ เพื่อให้แน่ใจว่ามันสม่ำเสมอ บริษัท ส่วนใหญ่ในอุตสาหกรรมจะทดสอบแกน X หรือแกน XY ส่วนใหญ่

ผู้ผลิตทั่วไปทดสอบเพียง 6-8 คะแนนและการทดสอบที่ดีกว่า 12 คะแนนในขณะที่เราทดสอบ 24 คะแนน

Semicorex Graphite Chuck เป็นวิธีแก้ปัญหาที่ขาดไม่ได้สำหรับผู้ผลิต polysilicon ที่กำลังมองหาเครื่องมือประสิทธิภาพสูงเชื่อถือได้และคุ้มค่า ด้วยคุณสมบัติของวัสดุขั้นสูงและวิศวกรรมที่มีความแม่นยำผลิตภัณฑ์ของเราช่วยเพิ่มประสิทธิภาพและคุณภาพของการผลิตเวเฟอร์ซิลิคอนในอุตสาหกรรมพลังงานแสงอาทิตย์ สำหรับข้อมูลเพิ่มเติมหรือข้อกำหนดที่กำหนดเองโปรดติดต่อเราวันนี้