อิเล็กโทรดกราไฟท์

Semicorex Graphite Electrode เป็นส่วนประกอบกราไฟท์ที่ผลิตขึ้นอย่างแม่นยำและมีความบริสุทธิ์สูง สำหรับใช้ในการใช้งานด้านความร้อนของเซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งการนำไฟฟ้า ความเสถียรทางความร้อน และความแม่นยำของมิติเป็นสิ่งสำคัญยิ่ง ในความเป็นจริง อิเล็กโทรดประเภทนี้ใช้ในเตาเผาที่มีอุณหภูมิสูง เครื่องปฏิกรณ์แบบเอพิแทกซี และห้องประมวลผลความร้อน ซึ่งเอื้อต่อการนำกระแสไฟฟ้าที่เสถียร การถ่ายเทความร้อน และความเสถียรภายใต้สภาวะอุณหภูมิและบรรยากาศที่รุนแรง เนื่องจากความบริสุทธิ์ขั้นสุดยอด ความสม่ำเสมอของโครงสร้างแข็ง และคุณสมบัติเชิงกลสูงของอิเล็กโทรดกราไฟท์ Semicorex จึงสามารถให้ประสิทธิภาพเชิงความร้อนที่เชื่อถือได้ในฐานะองค์ประกอบความร้อนในการใช้งานเซมิคอนดักเตอร์ที่มีความต้องการสูง

กราไฟท์เอเลโทรดผลิตจากวัสดุกราไฟท์เนื้อละเอียดคุณภาพสูง โดยแต่ละชนิดผลิตขึ้นโดยใช้กระบวนการอัดขึ้นรูปขั้นสูง การทำให้เป็นคาร์บอนที่อุณหภูมิสูง และการเกิดกราฟไฟท์ โครงสร้างจุลภาคของกราไฟท์ได้รับการออกแบบมาเพื่อให้มีความต้านทานไฟฟ้าคงที่โดยประมาณ การนำความร้อนสูง และความเสถียรทางกล ผลิตภัณฑ์ขั้นสุดท้ายคือตัวนำความร้อนที่มีความบริสุทธิ์สูงซึ่งรักษาสภาพทางกายภาพและการกระจายกระแสไฟฟ้าที่สม่ำเสมอในสภาพแวดล้อมที่มีกำลังไฟสูงตลอดจนอุณหภูมิที่ผันผวนอย่างรวดเร็ว

ประสิทธิภาพอันเหนือชั้นในตัวเรากราไฟท์

กราไฟท์ของเรารับประกันความสม่ำเสมอของประสิทธิภาพที่เหนือกว่า ประการแรก ในระหว่างกระบวนการคาร์บอไนเซชัน เตาเผาของเรามีเพียง 115 ลูกบาศก์เมตร ทีมเทคนิคของเราจะตรวจสอบสนามอุณหภูมิของผลิตภัณฑ์กราไฟท์ในพื้นที่ต่างๆ ของแต่ละเตาเผา ที่ระดับอุณหภูมิต่ำเริ่มต้น (0-200°C) เราจะควบคุมอุณหภูมิภายใน ±10°C และที่อุณหภูมิสูง (สูงกว่า 600°C) ภายใน ±1°C เราไม่เพียงตรวจสอบสนามอุณหภูมิระหว่างอนุภาคกราไฟท์ที่แตกต่างกัน แต่ยังตรวจสอบพื้นผิวและอุณหภูมิภายในของชิ้นกราไฟท์แต่ละชิ้นด้วย โดยควบคุมภายใน ±3°C เราตรวจสอบจุดอุณหภูมิ 8 จุดในเตาถ่านแต่ละเตา

ประการที่สอง ในระหว่างกระบวนการสร้างกราฟ โดยใช้ตัวอย่างปริมาณ 500 กิโลกรัม เรายังตรวจสอบจุดอุณหภูมิ 8 จุดด้วย หลังจากการสร้างกราฟ เราจะสุ่มตัวอย่างและทดสอบแบบทำลายล้าง 24 จุดตามแกน X, Y และ Z เพื่อให้แน่ใจว่ามีความสม่ำเสมอ บริษัทส่วนใหญ่ในอุตสาหกรรมทดสอบเฉพาะแกน X หรือมากที่สุดแกน XY โดยผู้ผลิตทั่วไปทดสอบเพียง 6-8 คะแนน และผู้ผลิตที่ดีกว่าทดสอบ 12 คะแนน เราทดสอบ 24 คะแนน

ในสนามความร้อนของเซมิคอนดักเตอร์ อิเล็กโทรดกราไฟท์เป็นส่วนสำคัญของชุดทำความร้อน โดยส่งกระแสไฟฟ้าเข้าสู่โซนทำความร้อน และช่วยให้สามารถควบคุมการกระจายอุณหภูมิตลอดกระบวนการเฉพาะ เช่น ออกซิเดชัน การแพร่กระจาย LPCVD หรือเอพิแทกซี อิเล็กโทรดกราไฟท์ต้องมีบทบาทในการปฏิบัติงานที่เชื่อถือได้ที่อุณหภูมิเกิน 2000°C และทำหน้าที่ดังกล่าวในขณะที่ต้านทานการเกิดออกซิเดชัน การบิดงอ หรือการปนเปื้อนในบริเวณที่ทำความร้อน

อิเล็กโทรดกราไฟท์ Semicorex มีค่าการนำไฟฟ้าที่โดดเด่น ซึ่งช่วยให้ส่งพลังงานได้อย่างมีประสิทธิภาพโดยสูญเสียน้อยที่สุด และยังมีการนำความร้อนที่ดีเยี่ยม ทำให้สามารถถ่ายเทความร้อนสม่ำเสมอในเตาเผาได้อย่างรวดเร็ว การรวมกันของการขยายตัวทางความร้อนต่ำและความแข็งแรงเชิงกลสูงช่วยลดการเสียรูปและการแตกร้าวในระหว่างการหมุนเวียนด้วยความร้อน ทำให้มีพฤติกรรมที่มั่นคงตลอดอายุการใช้งานที่ยาวนาน อิเล็กโทรดแต่ละตัวได้รับการประมวลผลเพื่อให้มีความคลาดเคลื่อนของมิติที่เข้มงวดและพื้นผิวที่ละเอียดเพื่อให้แน่ใจว่ามีการสัมผัสที่สม่ำเสมอและมีความต้านทานไฟฟ้าเล็กน้อยที่พื้นผิวสัมผัส

ด้วยข้อกำหนดเฉพาะของกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ Semicorex สามารถสร้างการออกแบบอิเล็กโทรดแบบกำหนดเองเพื่อให้เหมาะกับการกำหนดค่าเตาเผาและข้อกำหนดด้านพลังงาน สามารถเลือกเส้นผ่านศูนย์กลาง ความยาว ประเภทของการเชื่อมต่อ หรือการตกแต่งพื้นผิวที่แตกต่างกันได้ เมื่อจำเป็น สามารถใช้วัสดุเคลือบ เช่น SiC หรือไพโรไลติกคาร์บอน เพื่อรองรับความต้านทานการเกิดออกซิเดชันและอายุการใช้งานในสภาพแวดล้อมที่มีออกซิเจนสูงหรือก๊าซที่เกิดปฏิกิริยา

มีความบริสุทธิ์สูงของวัสดุกราไฟท์ทำหน้าที่รับประกันว่ามีสิ่งเจือปนที่เป็นโลหะ (และก๊าซเจือปน) ในระดับต่ำอย่างไม่น่าเชื่อ ซึ่งมักจะมีคาร์บอนมากกว่า 99.999% สิ่งเจือปนในระดับต่ำดังกล่าวช่วยหลีกเลี่ยงการปนเปื้อนเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ในระหว่างการประมวลผลด้วยความร้อน เมื่อรวมกับความลึกที่สำคัญของการตัดเฉือนและพื้นผิวขัดเงาแล้ว อิเล็กโทรดกราไฟท์ Semicorex ตอบสนองทั้งความเสถียรทางกลและทางเคมีของเทคโนโลยีการผลิตแผ่นเวเฟอร์ที่ล้ำสมัย

กราไฟท์เอเลโทรดผลิตจากวัสดุกราไฟท์เนื้อละเอียดคุณภาพสูง โดยแต่ละชนิดผลิตขึ้นโดยใช้กระบวนการอัดขึ้นรูปขั้นสูง การทำให้เป็นคาร์บอนที่อุณหภูมิสูง และการเกิดกราฟไฟท์ โครงสร้างจุลภาคของกราไฟท์ได้รับการออกแบบมาเพื่อให้มีความต้านทานไฟฟ้าคงที่โดยประมาณ การนำความร้อนสูง และความเสถียรทางกล ผลิตภัณฑ์ขั้นสุดท้ายคือตัวนำความร้อนที่มีความบริสุทธิ์สูงซึ่งรักษาสภาพทางกายภาพและการกระจายกระแสไฟฟ้าที่สม่ำเสมอในสภาพแวดล้อมที่มีกำลังไฟสูงตลอดจนอุณหภูมิที่ผันผวนอย่างรวดเร็ว