เรือเวเฟอร์ SiC แนวนอน

คุณสมบัติที่โดดเด่นของเรือ Semicorex แนวนอน SiC Wafer คือสถาปัตยกรรมแบบ slotted ที่ออกแบบมาอย่างพิถีพิถัน ซึ่งออกแบบมาเป็นพิเศษเพื่อยึดเวเฟอร์ให้เข้าที่อย่างแน่นหนาตลอดกระบวนการที่อุณหภูมิสูงต่างๆ ข้อจำกัดของเวเฟอร์ที่แม่นยำนี้ทำหน้าที่สำคัญหลายประการ:

การกำจัดการเคลื่อนที่ของเวเฟอร์:ด้วยการป้องกันการเลื่อนหรือการเคลื่อนตัวที่ไม่พึงประสงค์ เรือเวเฟอร์ SiC แนวนอนช่วยให้มั่นใจได้ว่าสัมผัสกับก๊าซในกระบวนการและโปรไฟล์อุณหภูมิอย่างสม่ำเสมอ ช่วยให้การประมวลผลเวเฟอร์มีความสม่ำเสมอสูงและลดความเสี่ยงของข้อบกพร่องให้เหลือน้อยที่สุด

ปรับปรุงความสม่ำเสมอของกระบวนการ:การวางตำแหน่งเวเฟอร์ที่สม่ำเสมอแปลโดยตรงถึงความสม่ำเสมอที่เหนือกว่าในพารามิเตอร์ที่สำคัญ เช่น ความหนาของชั้น ความเข้มข้นของสารต้องห้าม และสัณฐานวิทยาของพื้นผิว ความแม่นยำนี้มีความสำคัญอย่างยิ่งในการใช้งาน เช่น การสะสมไอสารเคมี (CVD) และการแพร่กระจาย ซึ่งการเปลี่ยนแปลงแม้เพียงเล็กน้อยก็สามารถส่งผลกระทบต่อประสิทธิภาพของอุปกรณ์ได้อย่างมาก

ลดความเสียหายของเวเฟอร์:การยึดเกาะอย่างแน่นหนาของเรือเวเฟอร์ SiC แนวนอนช่วยลดโอกาสที่จะเกิดการบิ่นของเวเฟอร์ การแตกหัก หรือการขีดข่วนระหว่างการจัดการและการขนส่ง ซึ่งเป็นสิ่งสำคัญสำหรับการรักษาผลผลิตที่สูงและลดต้นทุนการผลิต

นอกเหนือจากการออกแบบที่แม่นยำ เรือเวเฟอร์ SiC แนวนอนยังนำเสนอคุณสมบัติวัสดุที่ผสมผสานกันอย่างลงตัว ทำให้เหมาะสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และเซลล์แสงอาทิตย์:

ทนต่ออุณหภูมิที่สูง: เรือเวเฟอร์ SiC แนวนอนมีความแข็งแรงและเสถียรภาพที่อุณหภูมิสูงเป็นพิเศษ ช่วยให้สามารถทนต่อสภาวะความร้อนที่รุนแรงซึ่งพบในระหว่างกระบวนการต่างๆ เช่น การเติบโตของผลึก การหลอม และการประมวลผลด้วยความร้อนอย่างรวดเร็ว (RTP) โดยไม่เสียรูปหรือการย่อยสลาย

มีความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษเพื่อการควบคุมการปนเปื้อน:การใช้ SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูงทำให้มั่นใจได้ว่ามีการปล่อยก๊าซหรือการสร้างอนุภาคน้อยที่สุด ปกป้องความสมบูรณ์ของพื้นผิวเวเฟอร์ที่ละเอียดอ่อน และป้องกันการปนเปื้อนที่อาจส่งผลต่อประสิทธิภาพของอุปกรณ์

ความเสถียรทางเคมีที่ยอดเยี่ยม:ความเฉื่อยโดยธรรมชาติของ SiC ทำให้เรือ SiC Wafer Boat แนวนอนมีความทนทานสูงต่อการโจมตีจากก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนและสารเคมีที่ใช้กันทั่วไปในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และเซลล์แสงอาทิตย์ ความเสถียรทางเคมีที่แข็งแกร่งนี้ช่วยรับประกันอายุการใช้งานที่ยาวนาน และลดความเสี่ยงของการปนเปื้อนข้ามระหว่างการดำเนินกระบวนการ

ข้อได้เปรียบด้านความเก่งกาจและประสิทธิภาพของเรือ SiC Wafer แนวนอนได้นำไปสู่การนำไปใช้อย่างกว้างขวางในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และเซลล์แสงอาทิตย์ที่สำคัญหลายประเภท:

การเจริญเติบโตของเยื่อบุผิว:การวางตำแหน่งเวเฟอร์ที่แม่นยำและความสม่ำเสมอของอุณหภูมิเป็นสิ่งสำคัญสำหรับการบรรลุชั้นเอพิแทกเซียลคุณภาพสูงในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูง ทำให้เรือเวเฟอร์ SiC แนวนอนเป็นเครื่องมือสำคัญสำหรับกระบวนการนี้

การแพร่กระจายและการปลูกถ่ายไอออน:การควบคุมสารต้องห้ามที่แม่นยำเป็นสิ่งสำคัญยิ่งในการกำหนดคุณลักษณะทางไฟฟ้าของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ เรือเวเฟอร์ SiC แนวนอนช่วยให้มั่นใจถึงการวางตำแหน่งเวเฟอร์ที่แม่นยำในระหว่างกระบวนการเหล่านี้ ซึ่งนำไปสู่ความสม่ำเสมอและประสิทธิภาพของอุปกรณ์ที่ดีขึ้น

การผลิตเซลล์แสงอาทิตย์:ความสามารถในอุณหภูมิสูงและการทนทานต่อสารเคมีของเรือ SiC Wafer Boat แนวนอนทำให้เหมาะสำหรับการแปรรูปเวเฟอร์ซิลิคอนที่ใช้ในเซลล์แสงอาทิตย์ ซึ่งช่วยเพิ่มประสิทธิภาพและอายุการใช้งานที่ยาวนานของระบบพลังงานแสงอาทิตย์