ท่อนำด้านใน

Semicorex Inner Guide Tube ได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมอย่างแม่นยำส่วนประกอบคาร์บอน/คาร์บอน (C/C)ออกแบบมาเพื่อการใช้งานสนามความร้อนขั้นสูงขั้นสูง โดยเฉพาะอย่างยิ่งในการเจริญเติบโตของผลึกซิลิคอนที่มีความบริสุทธิ์สูง เนื่องจากเป็นองค์ประกอบสำคัญภายในเตาหลอมการเติบโตของคริสตัล ส่วนประกอบนี้จึงมีบทบาทสำคัญในการกำหนดรูปร่างและรักษาเสถียรภาพของการไล่ระดับความร้อน เพื่อให้มั่นใจถึงการก่อตัวของคริสตัลที่เหมาะสมที่สุดและคุณภาพของวัสดุที่สม่ำเสมอ

ผลิตจากคาร์บอนคอมโพสิตเสริมด้วยคาร์บอนไฟเบอร์ความหนาแน่นสูง ท่อนำด้านในมีความสมบูรณ์ของโครงสร้างที่ยอดเยี่ยมและมีเสถียรภาพทางความร้อนภายใต้สภาวะที่รุนแรง ด้วยความหนาแน่น ≥1.35 g/cm³ และความต้านทานแรงดัดงอ ≥110 MPa จึงรักษาความทนทานเชิงกลได้แม้ในระหว่างการสัมผัสกับอุณหภูมิที่สูงขึ้นเป็นเวลานาน คุณสมบัติเหล่านี้จำเป็นในการผลิตซิลิคอนเกรดเซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งแม้แต่ความผันผวนเล็กน้อยในสภาวะความร้อนก็อาจส่งผลกระทบอย่างมีนัยสำคัญต่อความสม่ำเสมอของคริสตัลและอัตราข้อบกพร่อง

ฟังก์ชั่นหลัก: การควบคุมการไล่ระดับสีที่แม่นยำ

บทบาทหลักของท่อนำภายใน C/C คือการสร้างสนามอุณหภูมิเกรเดียนต์ที่แม่นยำ ในระหว่างกระบวนการเจริญเติบโตของผลึกซิลิคอน จะมีการวางตำแหน่งไว้เหนือจุดหลอมเหลวโดยตรงเพื่อ:

การไหลของก๊าซโดยตรง: ช่วยควบคุมการไหลของก๊าซอาร์กอนเฉื่อย ช่วยให้มั่นใจได้ว่าไอระเหยของซิลิคอนออกไซด์ (SiO) จะถูกกวาดออกจากพื้นผิวที่หลอมละลายอย่างมีประสิทธิภาพ ป้องกันการปนเปื้อนของออกซิเจนในคริสตัล

การป้องกันความร้อน: ปกป้องคริสตัลที่กำลังเติบโตจากการแผ่รังสีความร้อนโดยตรงจากผนังเบ้าหลอม ทำให้เกิดการไล่ระดับอุณหภูมิตามแนวแกนที่สูงชันซึ่งจำเป็นสำหรับการดึงคริสตัลคุณภาพสูงด้วยความเร็วสูง

ประสิทธิภาพการใช้พลังงาน: ด้วยการรวมความร้อนภายในโซนหลอมเหลวและฉนวนส่วนประกอบเตาเผาส่วนบน จะช่วยลดการใช้พลังงานทั้งหมดได้อย่างมาก

ข้อมูลจำเพาะทางเทคนิคและความเป็นเลิศของวัสดุ

ท่อนำภายในของเราผลิตขึ้นโดยใช้ความหนาแน่นสูงคาร์บอน/คาร์บอนคอมโพสิตซึ่งเป็นทางเลือกที่เหนือกว่ากราไฟท์แบบดั้งเดิม คุณสมบัติของวัสดุได้รับการปรับให้เหมาะสมสำหรับสภาวะที่รุนแรงของเตาสุญญากาศเซมิคอนดักเตอร์:

ความหนาแน่น: ≥ 1.35 ก./ซม.³

ความต้านทานแรงดัดงอ: ≥ 110 MPa

ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน (CTE): ≤ 1.0 × 10⁻⁶ /K

การนำความร้อน (อุณหภูมิห้อง): ≤ 10 W/(m·K)

อุตสาหกรรม

ในขณะที่อุตสาหกรรมก้าวไปสู่ขนาดเวเฟอร์ที่ใหญ่ขึ้น (300 มม. และ 450 มม.) ความต้องการด้านสนามความร้อนก็เพิ่มขึ้นอย่างมาก ท่อนำภายในของเราเข้ากันได้กับแบรนด์เตา CZ หลักๆ และสามารถปรับแต่งได้ในแง่ของรูปทรงและการเคลือบผิว