ระบบเครื่องปฏิกรณ์แบบเฟสของเหลว (LPE)

ระบบเครื่องปฏิกรณ์ Semicorex Liquid Phase Epitaxy (LPE) เป็นผลิตภัณฑ์นวัตกรรมที่ให้ประสิทธิภาพการระบายความร้อนที่ดีเยี่ยม แม้กระทั่งโปรไฟล์ด้านความร้อน และการยึดเกาะของการเคลือบที่เหนือกว่า มีความบริสุทธิ์สูง ต้านทานการเกิดออกซิเดชันที่อุณหภูมิสูง และต้านทานการกัดกร่อน ทำให้เป็นตัวเลือกที่เหมาะสำหรับใช้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ตัวเลือกที่ปรับแต่งได้และความคุ้มค่าทำให้เป็นผลิตภัณฑ์ที่มีการแข่งขันสูงในตลาด

ส่งคำถาม

รายละเอียดสินค้า

ระบบปฏิกรณ์แบบเฟสของเหลว (LPE) ของเราเป็นผลิตภัณฑ์ที่เชื่อถือได้สูงและทนทาน ซึ่งให้ความคุ้มค่าคุ้มราคาเป็นอย่างยิ่ง ความต้านทานต่อการเกิดออกซิเดชันที่อุณหภูมิสูง แม้กระทั่งโปรไฟล์ความร้อน และป้องกันการปนเปื้อน ทำให้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการเติบโตของชั้นเยื่อบุผิวคุณภาพสูง ข้อกำหนดในการบำรุงรักษาต่ำและความสามารถในการปรับแต่งทำให้เป็นผลิตภัณฑ์ที่มีการแข่งขันสูงในตลาด

ที่ Semicorex เรามุ่งเน้นในการนำเสนอผลิตภัณฑ์คุณภาพสูงและคุ้มค่าแก่ลูกค้าของเรา ระบบเครื่องปฏิกรณ์แบบเฟสของเหลว (LPE) ของเรามีข้อได้เปรียบด้านราคาและมีการส่งออกไปยังตลาดยุโรปและอเมริกาหลายแห่ง เรามุ่งมั่นที่จะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณ นำเสนอผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพสม่ำเสมอและการบริการลูกค้าที่เป็นเลิศ

ติดต่อเราวันนี้เพื่อเรียนรู้เพิ่มเติมเกี่ยวกับระบบเครื่องปฏิกรณ์แบบเฟสของเหลว (LPE)

พารามิเตอร์ของระบบปฏิกรณ์แบบ Epitaxy เฟสของเหลว (LPE)

ข้อมูลจำเพาะหลักของการเคลือบ CVD-SIC
คุณสมบัติ SiC-CVD
โครงสร้างคริสตัล	เฟส FCC β
ความหนาแน่น	กรัม/ซม. ³	3.21
ความแข็ง	ความแข็งของวิคเกอร์	2500
ขนาดเกรน	ไมโครเมตร	2~10
ความบริสุทธิ์ของสารเคมี	%	99.99995
ความจุความร้อน	เจ กก-1 K-1	640
อุณหภูมิระเหิด	℃	2700
ความแข็งแกร่งของเฟล็กซ์เจอร์	MPa (RT 4 จุด)	415
โมดูลัสของยัง	เกรดเฉลี่ย (โค้ง 4 พอยต์, 1300°C)	430
การขยายตัวทางความร้อน (C.T.E)	10-6K-1	4.5
การนำความร้อน	(W/mK)	300

คุณลักษณะของระบบปฏิกรณ์แบบ Epitaxy เฟสของเหลว (LPE)

- ทั้งสารตั้งต้นกราไฟท์และชั้นซิลิคอนคาร์ไบด์มีความหนาแน่นที่ดีและสามารถมีบทบาทในการป้องกันที่ดีในสภาพแวดล้อมการทำงานที่มีอุณหภูมิสูงและกัดกร่อน

- ตัวรับเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ที่ใช้สำหรับการเจริญเติบโตของผลึกเดี่ยวมีความเรียบของพื้นผิวที่สูงมาก

- ลดความแตกต่างของค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนระหว่างพื้นผิวกราไฟท์และชั้นซิลิคอนคาร์ไบด์ ปรับปรุงความแข็งแรงพันธะได้อย่างมีประสิทธิภาพเพื่อป้องกันการแตกร้าวและการหลุดร่อน

- ทั้งซับสเตรตกราไฟท์และชั้นซิลิกอนคาร์ไบด์มีค่าการนำความร้อนสูงและมีคุณสมบัติการกระจายความร้อนที่ดีเยี่ยม

- มีจุดหลอมเหลวสูง ทนต่อการเกิดออกซิเดชันที่อุณหภูมิสูง ทนต่อการกัดกร่อน