Barrel Susceptor พร้อมการเคลือบ SiC ในเซมิคอนดักเตอร์

หากคุณกำลังมองหาตัวรับกราไฟต์คุณภาพสูงที่เคลือบด้วย SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูง ตัวรับแบบบาร์เรล Semicorex พร้อมการเคลือบ SiC ในเซมิคอนดักเตอร์คือตัวเลือกที่สมบูรณ์แบบ คุณสมบัติการนำความร้อนและการกระจายความร้อนที่ยอดเยี่ยมทำให้เหมาะสำหรับใช้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

ส่งคำถาม

รายละเอียดสินค้า

Semicorex Barrel Susceptor พร้อมการเคลือบ SiC ในเซมิคอนดักเตอร์เป็นผลิตภัณฑ์กราไฟท์คุณภาพระดับพรีเมียมที่เคลือบด้วย SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูง ทำให้เป็นตัวเลือกที่เหมาะสำหรับใช้ในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงและมีฤทธิ์กัดกร่อน ความหนาแน่นและการนำความร้อนที่ดีเยี่ยมทำให้มีการกระจายความร้อนและการป้องกันที่ยอดเยี่ยมในการใช้งานด้านการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
ที่ Semicorex เรามุ่งเน้นในการนำเสนอผลิตภัณฑ์คุณภาพสูงและคุ้มค่าแก่ลูกค้าของเรา Barrel Susceptor ของเราพร้อมการเคลือบ SiC ในเซมิคอนดักเตอร์มีข้อได้เปรียบด้านราคาและส่งออกไปยังตลาดยุโรปและอเมริกาหลายแห่ง เรามุ่งมั่นที่จะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณ นำเสนอผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพสม่ำเสมอและการบริการลูกค้าที่เป็นเลิศ

พารามิเตอร์ของ Barrel Susceptor พร้อมการเคลือบ SiC ในเซมิคอนดักเตอร์

ข้อมูลจำเพาะหลักของการเคลือบ CVD-SIC
คุณสมบัติ SiC-CVD
โครงสร้างคริสตัล	เฟส FCC β
ความหนาแน่น	กรัม/ซม. ³	3.21
ความแข็ง	ความแข็งของวิคเกอร์	2500
ขนาดเกรน	ไมโครเมตร	2~10
ความบริสุทธิ์ของสารเคมี	%	99.99995
ความจุความร้อน	เจ กก-1 K-1	640
อุณหภูมิระเหิด	℃	2700
ความแข็งแกร่งของเฟล็กซ์เจอร์	MPa (RT 4 จุด)	415
โมดูลัสของยัง	เกรดเฉลี่ย (โค้ง 4 พอยต์, 1300°C)	430
การขยายตัวทางความร้อน (C.T.E)	10-6K-1	4.5
การนำความร้อน	(W/mK)	300

คุณสมบัติของ Barrel Susceptor พร้อมการเคลือบ SiC ในเซมิคอนดักเตอร์

- ทั้งสารตั้งต้นกราไฟท์และชั้นซิลิคอนคาร์ไบด์มีความหนาแน่นที่ดีและสามารถมีบทบาทในการป้องกันที่ดีในสภาพแวดล้อมการทำงานที่มีอุณหภูมิสูงและกัดกร่อน

- ตัวรับเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ที่ใช้สำหรับการเจริญเติบโตของผลึกเดี่ยวมีความเรียบของพื้นผิวที่สูงมาก

- ลดความแตกต่างของค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนระหว่างพื้นผิวกราไฟท์และชั้นซิลิคอนคาร์ไบด์ ปรับปรุงความแข็งแรงพันธะได้อย่างมีประสิทธิภาพเพื่อป้องกันการแตกร้าวและการหลุดร่อน

- ทั้งซับสเตรตกราไฟท์และชั้นซิลิกอนคาร์ไบด์มีค่าการนำความร้อนสูงและมีคุณสมบัติการกระจายความร้อนที่ดีเยี่ยม

- มีจุดหลอมเหลวสูง ทนต่อการเกิดออกซิเดชันที่อุณหภูมิสูง ทนต่อการกัดกร่อน