หัวฝักบัวเมทัลลิกหรือที่รู้จักกันในชื่อแผ่นจ่ายแก๊สหรือหัวฝักบัวแก๊ส เป็นส่วนประกอบสำคัญที่ใช้อย่างกว้างขวางในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ หน้าที่หลักคือการกระจายก๊าซอย่างสม่ำเสมอไปยังห้องปฏิกิริยา เพื่อให้มั่นใจว่าวัสดุเซมิคอนดักเตอร์สัมผัสกับกระบวนการสม่ำเสมอ ก๊าซ**
หัวฝักบัวเมทัลลิกถูกนำไปใช้อย่างกว้างขวางในกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ต่างๆ รวมถึงการสะสมไอทางกายภาพ (PVD), การสะสมไอสารเคมี (CVD), CVD ที่ปรับปรุงด้วยพลาสมา (PECVD), Epitaxy (EPI) และการกัดกรด กระบวนการเหล่านี้เป็นพื้นฐานของการผลิตวงจรรวม และหัวฝักบัวทำหน้าที่เป็นส่วนประกอบสำคัญในกลไกการจ่ายก๊าซในระหว่างการปฏิบัติงานแต่ละครั้ง การไหลของแก๊สที่แม่นยำและสม่ำเสมอที่หัวฝักบัวช่วยให้เกิดการสะสมหรือการกัดเซาะที่เหมาะสม ลดโอกาสที่จะเกิดข้อบกพร่อง และปรับปรุงความสม่ำเสมอของฟิล์มหรือชั้นที่เกิดขึ้นระหว่างกระบวนการเหล่านี้
คุณสมบัติที่โดดเด่นอย่างหนึ่งของหัวฝักบัว Semicorex Metallic คือความเที่ยงตรงและความสะอาดสูง อุปกรณ์ได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมเพื่อให้ตรงตามมาตรฐานความแม่นยำสูงสุด ทำให้มั่นใจได้ว่าการไหลของก๊าซจะถูกควบคุมอย่างพิถีพิถันทั่วทั้งพื้นที่ผิวทั้งหมด การกระจายก๊าซที่แม่นยำนี้มีส่วนช่วยโดยตรงในการเพิ่มประสิทธิภาพการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งแม้แต่ความไม่สอดคล้องกันเพียงเล็กน้อยที่สุดก็สามารถนำไปสู่ข้อบกพร่องที่สำคัญได้ นอกจากนี้ หัวฝักบัวยังผลิตด้วยมาตรฐานความสะอาดที่สูงมาก ซึ่งเป็นสิ่งสำคัญในการป้องกันการปนเปื้อนในสภาพแวดล้อมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่มีความไวสูงเป็นพิเศษ
หัวฝักบัวเมทัลลิกยังโดดเด่นด้วยการปรับพื้นผิวแบบหลายชั้น Semicorex ใช้เทคนิคการตกแต่งพื้นผิวที่หลากหลาย รวมถึงการพ่นทราย อโนไดซ์ การแปรงนิกเกิล และการขัดเงาด้วยไฟฟ้า เพื่อเพิ่มฟังก์ชันการทำงานและความทนทานของผลิตภัณฑ์ การบำบัดแต่ละอย่างมีจุดประสงค์เฉพาะ เช่น การพ่นทรายทำให้พื้นผิวมีความสม่ำเสมอ ในขณะที่อโนไดซ์ให้ความต้านทานการกัดกร่อนเพิ่มเติม การแปรงด้วยนิกเกิลช่วยเพิ่มการป้องกันปฏิกิริยาเคมีอีกชั้นหนึ่ง และการขัดด้วยไฟฟ้าช่วยให้มั่นใจได้ถึงพื้นผิวที่เรียบและสะอาด ซึ่งช่วยลดความเสี่ยงของการเกิดอนุภาคระหว่างการทำงานให้เหลือน้อยที่สุด การบำบัดแบบผสมผสานเหล่านี้ส่งผลให้หัวฝักบัวมีความทนทานต่อการสึกหรอ การกัดกร่อน และการปนเปื้อนเป็นพิเศษ ช่วยให้มั่นใจได้ถึงอายุการใช้งานที่ยาวนานขึ้นและประสิทธิภาพที่เชื่อถือได้
Semicorex ปรับแต่งการเลือกวัตถุดิบที่ใช้ในหัวฝักบัวตามความต้องการเฉพาะของกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์แต่ละชนิด ขึ้นอยู่กับประสิทธิภาพที่ต้องการ เช่น ความแข็งแรง ความต้านทานการกัดกร่อน และความเสถียรที่อุณหภูมิสูง โลหะผสมหรือโลหะต่างๆ จะถูกเลือกเพื่อให้แน่ใจว่าหัวฝักบัวทำงานได้อย่างเหมาะสมภายใต้สภาวะการทำงานที่หลากหลาย ตัวอย่างเช่น ในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูง วัสดุที่มีเสถียรภาพทางความร้อนที่เหนือกว่าจะถูกเลือกเพื่อป้องกันการบิดงอหรือการเสื่อมสภาพเมื่อเวลาผ่านไป เพื่อให้มั่นใจว่าการกระจายก๊าซยังคงแม่นยำตลอดกระบวนการทั้งหมด
โดยสรุป หัวฝักบัวเมทัลลิกของ Semicorex เป็นอุปกรณ์จ่ายก๊าซขั้นสูงที่ได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมเพื่อให้มีความแม่นยำสูง ความสะอาด และความทนทานในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การใช้งานครอบคลุมกระบวนการสำคัญต่างๆ เช่น PVD, CVD, PECVD, EPI และการกัด ซึ่งมีบทบาทสำคัญในการรับประกันการไหลของก๊าซที่สม่ำเสมอและประสิทธิภาพของกระบวนการที่เหมาะสมที่สุด การรักษาพื้นผิวหลายชั้นของผลิตภัณฑ์และการเลือกใช้วัสดุที่ปรับแต่งได้ทำให้มีความทนทานต่อการกัดกร่อนสูง สามารถทนต่ออุณหภูมิสูง และทนทานเพียงพอที่จะรับประกันการใช้งานในระยะยาวในสภาพแวดล้อมการผลิตที่สำคัญ ด้วยการผสานรวมหัวฝักบัว Semicorex Metallic เข้ากับกระบวนการ ผู้ผลิตเซมิคอนดักเตอร์จึงสามารถได้รับผลผลิตที่สูงขึ้น คุณภาพผลิตภัณฑ์ที่ดีขึ้น และประสิทธิภาพการดำเนินงานที่ดียิ่งขึ้น