ตัวรับ MOCVD

Semicorex MOCVD Susceptors สร้างขึ้นโดยมีจุดประสงค์เพื่อทนทานต่อภูมิประเทศที่มีอุณหภูมิสูง และต้านทานระบบเคมีที่รุนแรงซึ่งมักใช้ในกระบวนการผลิตแผ่นเวเฟอร์ ส่วนประกอบเหล่านี้ได้รับการปรับแต่งให้ตรงตามข้อกำหนดที่เข้มงวดของระบบเครื่องปฏิกรณ์เอพิแทกเซียลผ่านวิศวกรรมที่มีความแม่นยำ องค์ประกอบของตัวรับ MOCVD ของเราซึ่งมีซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) เคลือบบนกราไฟท์ระดับพรีเมียม ไม่เพียงแต่ให้ความทนทานในสภาวะความร้อนและการกัดกร่อนที่รุนแรงเท่านั้น แต่ยังรับประกันการกระจายความร้อนที่สม่ำเสมอ ซึ่งมีความสำคัญต่อการรักษาคุณภาพที่สม่ำเสมอในการสะสมของฟิล์มเอพิเทเชียล

นอกจากนี้ คุณสมบัติทางความร้อนที่น่าประทับใจของตัวรับ MOCVD ของเรายังช่วยให้สามารถจัดการอุณหภูมิได้อย่างรวดเร็วและสม่ำเสมอในระหว่างการเติบโตของเซมิคอนดักเตอร์ ช่วยเพิ่มประสิทธิภาพกระบวนการผลิต ความต้านทานต่ออุณหภูมิสูง ออกซิเดชัน และการกัดกร่อนทำให้มั่นใจได้ถึงการทำงานที่เชื่อถือได้แม้ในสภาพแวดล้อมการปฏิบัติงานที่ท้าทายที่สุด

นอกจากนี้ ตัวรับ MOCVD ยังได้รับการออกแบบโดยเน้นไปที่ความสม่ำเสมอ ซึ่งมีความสำคัญอย่างยิ่งต่อการสังเคราะห์ซับสเตรตที่เป็นผลึกเดี่ยว ระดับของระนาบที่ได้รับนั้นเป็นสิ่งที่ขาดไม่ได้ในการบรรลุการเติบโตของผลึกเดี่ยวที่เหนือกว่าบนพื้นผิวเวเฟอร์

ที่ Semicorex ความหลงใหลของเราในการก้าวข้ามมาตรฐานอุตสาหกรรมนั้นเทียบได้กับความมุ่งมั่นของเราในการประหยัดต้นทุนสำหรับพันธมิตรของเราเท่านั้น เรามุ่งมั่นที่จะจัดหาผลิตภัณฑ์ เช่น MOCVD Susceptors ที่ไม่เพียงตอบสนองแต่คาดการณ์ความต้องการที่เปลี่ยนแปลงไปของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เพื่อให้มั่นใจว่าการปฏิบัติงานของคุณมีเครื่องมือที่ดีที่สุดที่มีอยู่