2024-08-12
ควอตซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูงมีคุณสมบัติทางกายภาพและเคมีที่โดดเด่น โครงสร้างคริสตัล รูปร่าง และการเปลี่ยนแปลงของโครงตาข่ายโดยธรรมชาติมีส่วนทำให้เกิดคุณลักษณะพิเศษ เช่น ทนต่ออุณหภูมิสูง ทนต่อการกัดกร่อน ทนต่อการขัดถู ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำ ฉนวนสูง เอฟเฟกต์เพียโซอิเล็กทริก เอฟเฟกต์เรโซแนนซ์ และคุณสมบัติทางแสงที่เป็นเอกลักษณ์ คุณลักษณะเหล่านี้ทำให้เป็นวัสดุพื้นฐานที่ไม่สามารถทดแทนได้สำหรับการพัฒนาอุตสาหกรรมเชิงกลยุทธ์และเสาหลัก
การใช้งานควอตซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูงครอบคลุมสาขาต่างๆ มากมาย รวมถึงเซมิคอนดักเตอร์ เซลล์แสงอาทิตย์ ใยแก้วนำแสง และแหล่งกำเนิดแสงไฟฟ้า ในบรรดาอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์มีส่วนแบ่งที่ใหญ่ที่สุด โดยคิดเป็น 50% ของการใช้งานอย่างมีนัยสำคัญ
หัวใจสำคัญของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์อยู่ที่การผลิตชิป ซึ่งถือเป็นกลุ่มที่มีมูลค่าเพิ่มสูงสุดในอุตสาหกรรม การผลิตชิปโดยหลักประกอบด้วยสี่ขั้นตอน ได้แก่ การเจริญเติบโตของผลึกเดี่ยว การประมวลผลและการผลิตแผ่นเวเฟอร์ การผลิตวงจรรวม (IC) และบรรจุภัณฑ์ ขั้นตอนที่สำคัญ ซับซ้อน และมีความต้องการมากที่สุด โดยเฉพาะอย่างยิ่งในแง่ของความต้องการวัสดุ คือการผลิตแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนและการประมวลผลแผ่นเวเฟอร์
วัสดุควอตซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูงซึ่งมีความเสถียรทางความร้อนเป็นพิเศษ ทนต่อกรด การขยายตัวทางความร้อนต่ำ และการส่งผ่านสเปกตรัมที่ดีเยี่ยม ตอบสนองความต้องการที่เข้มงวดของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ที่เกี่ยวข้องกับปริมาณโลหะอัลคาไลและโลหะหนักในวัสดุพาหะได้อย่างสมบูรณ์แบบ กระบวนการผลิตจำเป็นต้องใช้ส่วนประกอบควอตซ์คุณภาพสูงในปริมาณมาก รวมถึงเวเฟอร์ แหวน แผ่น หน้าแปลน เรือสลัก ท่อเตาหลอม และถังทำความสะอาด
ควอตซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูงใช้ในการเตรียมเซมิคอนดักเตอร์ในขั้นตอนต่างๆ
การประยุกต์ใช้ในการผลิตซิลิคอนเวเฟอร์
การใช้งานหลักของแก้วควอทซ์ในการผลิตเวเฟอร์ซิลิคอนอยู่ในการผลิตของถ้วยใส่ตัวอย่างควอตซ์ซึ่งจำเป็นสำหรับกระบวนการ Czochralski (CZ) ที่ใช้ในการปลูกแท่งซิลิคอนผลึกเดี่ยวสำหรับการผลิตแผ่นเวเฟอร์ นอกจากนี้ยังใช้ภาชนะทำความสะอาดด้วยควอตซ์อีกด้วย
เซมิคอร์เร็กซ์ เบ้าหลอมควอตซ์ผสม
การประยุกต์ใช้ในการประมวลผลเวเฟอร์
ในระหว่างการประมวลผลเวเฟอร์ การบำบัดต่างๆ เช่นออกซิเดชัน, เอพิแทกซี, การพิมพ์หิน, การแกะสลัก, การแพร่กระจาย, การสะสมไอสารเคมี (CVD), การฝังไอออน และการขัดเงา จะดำเนินการบนเวเฟอร์ซิลิคอน- แก้วควอทซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูง มีบทบาทสำคัญในกระบวนการเหล่านี้ เนื่องจากความบริสุทธิ์ ทนต่ออุณหภูมิสูง การขยายตัวทางความร้อนต่ำ และความต้านทานการกัดกร่อน
1)การแพร่กระจายและออกซิเดชัน: หลอดกระจายแก้วควอตซ์ถูกนำมาใช้อย่างกว้างขวางในกระบวนการเหล่านี้ ควบคู่ไปกับหน้าแปลนควอทซ์ ส่วนประกอบสำคัญอื่นๆ ได้แก่หลอดเตาควอทซ์(สำหรับการขนส่งเรือควอทซ์เข้าและออกจากเตาหลอม) เรือควอทซ์ (สำหรับใส่เวเฟอร์ซิลิกอน) และชั้นวางเรือควอทซ์ ในบรรดาสิ่งเหล่านี้หลอดกระจายแก้วควอทซ์เป็นสิ่งสำคัญยิ่งด้วยความบริสุทธิ์ ความต้านทานการเสียรูปในอุณหภูมิสูง และรูปทรงที่แม่นยำซึ่งส่งผลโดยตรงต่อคุณภาพ IC ต้นทุน และประสิทธิภาพการผลิต
เรือควอทซ์และชั้นวางทำหน้าที่เป็นตัวพาที่ขาดไม่ได้สำหรับเวเฟอร์ซิลิคอนในระหว่างกระบวนการแพร่ ออกซิเดชัน CVD และการอบอ่อน ส่วนประกอบเหล่านี้มีข้อกำหนดและขนาดต่างๆ กัน ซึ่งโดยทั่วไปมีจำหน่ายในรูปแบบแนวนอนและแนวตั้ง การสัมผัสโดยตรงกับเวเฟอร์ซิลิคอนที่อุณหภูมิสูงจำเป็นต้องใช้แก้วควอตซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูงซึ่งมีเสถียรภาพทางความร้อนที่ดีเยี่ยมและความแม่นยำของมิติสำหรับส่วนประกอบเหล่านี้
ส่วนประกอบควอตซ์ Semicorex สำหรับเตากระจาย
2)การแกะสลักและการทำความสะอาด:กระบวนการแกะสลักต้องใช้วัสดุและส่วนประกอบแก้วควอทซ์ที่ทนต่อการกัดกร่อน ทำให้เกิดความต้องการอย่างมากสำหรับวงแหวนควอทซ์ ห้องปฏิกิริยาแก้วควอทซ์ และตัวรองรับแผ่นเวเฟอร์ นอกจากนี้ ขั้นตอนการทำความสะอาดด้วยกรดและอัลตราโซนิกยังใช้ตะกร้าแก้วควอทซ์และถังทำความสะอาด ตามลำดับ โดยใช้ประโยชน์จากความเสถียรทางเคมีที่ยอดเยี่ยมของวัสดุ ขวดระฆังควอตซ์ยังใช้ในระหว่างการเจริญเติบโตของซิลิคอนในเยื่อบุผิว
3)การพิมพ์หินด้วยแสง:แก้วควอทซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูงทำหน้าที่เป็นวัสดุตั้งต้นหลักสำหรับโฟโตมาสก์ ซึ่งเป็นส่วนประกอบสำคัญในกระบวนการพิมพ์หินด้วยแสง ต้นทุนการจัดซื้อวัสดุพิมพ์เหล่านี้คิดเป็น 90% ของต้นทุนวัตถุดิบทั้งหมดสำหรับโฟโตมาสก์ ตามที่ระบุโดยข้อมูลจากหนังสือชี้ชวนของ Qingyi Photomask ในฐานะเครื่องมือที่มีความแม่นยำสูงสำหรับการถ่ายโอนรูปแบบวงจรในระหว่างการผลิต LCD เซมิคอนดักเตอร์ และอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์อื่นๆ โฟโตมาสก์มีอิทธิพลโดยตรงต่อความแม่นยำและคุณภาพของผลิตภัณฑ์ขั้นสุดท้าย สิ่งนี้จำเป็นต้องใช้แท่งแก้วควอทซ์สังเคราะห์ที่มีความบริสุทธิ์สูงพิเศษเป็นวัสดุฐานสำหรับพื้นผิวโฟโตมาสก์
โดยสรุป การผสมผสานคุณสมบัติที่เป็นเอกลักษณ์ซึ่งแสดงโดยควอตซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูงได้ตอกย้ำจุดยืนของมันในฐานะวัสดุที่ขาดไม่ได้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ในขณะที่เทคโนโลยีก้าวหน้าและความต้องการในการย่อขนาดและประสิทธิภาพเพิ่มขึ้น การพึ่งพาวัสดุควอตซ์คุณภาพสูงก็คาดว่าจะเพิ่มขึ้นเท่านั้น ซึ่งยิ่งตอกย้ำบทบาทสำคัญในการกำหนดอนาคตของอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ให้แข็งแกร่งยิ่งขึ้น**
Semicorex ในฐานะผู้ผลิตและซัพพลายเออร์ที่มีประสบการณ์ ให้บริการวัสดุควอตซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูงสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และไฟฟ้าโซลาร์เซลล์ หากคุณมีข้อสงสัยหรือต้องการรายละเอียดเพิ่มเติม โปรดอย่าลังเลที่จะติดต่อเรา
โทรศัพท์ติดต่อ # +86-13567891907
อีเมล์: sales@semicorex.com