กระบวนการหลอมในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์สมัยใหม่

ในขณะที่โหนดเทคโนโลยียังคงหดตัว การก่อตัวของทางแยกที่ตื้นเป็นพิเศษทำให้เกิดความท้าทายที่สำคัญ กระบวนการอบอ่อนด้วยความร้อน ได้แก่การหลอมด้วยความร้อนอย่างรวดเร็ว (RTA)และการหลอมหลอดไฟแฟลช (FLA) เป็นเทคนิคสำคัญที่ช่วยรักษาอัตราการเปิดใช้งานสิ่งเจือปนสูงในขณะที่ลดการแพร่กระจาย เพื่อให้มั่นใจถึงประสิทธิภาพของอุปกรณ์ที่เหมาะสมที่สุด

1. การก่อตัวของทางแยกตื้นพิเศษ:

เมื่อโหนดเทคโนโลยีหดตัว การสร้างทางแยกที่ตื้นเป็นพิเศษจึงมีความท้าทายมากขึ้น เทคนิคเช่นการอบอ่อนด้วยความร้อนอย่างรวดเร็ว (ททท) และการหลอมหลอดไฟแฟลช (FLA) มีความสำคัญอย่างยิ่งในการบรรลุอัตราการเปิดใช้งานสิ่งเจือปนสูงในขณะที่ลดการแพร่กระจาย ดังนั้นจึงรับประกันประสิทธิภาพของอุปกรณ์ที่เหมาะสมที่สุด

2. การดัดแปลงไดอิเล็กตริกเกต High-k:

การหลอมหลังการทับถม (PDA) ช่วยเพิ่มคุณสมบัติทางไฟฟ้าของไดอิเล็กตริกเกท high-k อย่างมีนัยสำคัญ กระบวนการนี้ช่วยลดกระแสรั่วไหลของเกตและเพิ่มค่าคงที่ไดอิเล็กตริก ซึ่งมีความสำคัญสำหรับลอจิกขั้นสูงและอุปกรณ์หน่วยความจำ

3. การก่อตัวของโลหะซิลิไซด์:

การเพิ่มประสิทธิภาพของซิลิไซด์ของโลหะ เช่น CoSi และ NiSi เป็นสิ่งจำเป็นสำหรับการปรับปรุงการสัมผัสและความต้านทานต่อมวล การควบคุมสภาวะการหลอมที่แม่นยำช่วยให้สร้างเฟสโลหะผสมในอุดมคติได้ ช่วยเพิ่มประสิทธิภาพของอุปกรณ์โดยรวม

4. เทคโนโลยีบูรณาการ 3D:

ในเทคโนโลยี เช่น 3D NAND และ 3D DRAM กระบวนการอบอ่อนจะต้องนำไปใช้กับหลายเลเยอร์ เทคนิคการระบายความร้อนอย่างรวดเร็วมีบทบาทสำคัญในการทำให้แน่ใจว่าแต่ละชั้นได้รับประสิทธิภาพสูงสุด

การหลอมเป็นสิ่งสำคัญในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ช่วยให้สามารถซ่อมแซมความเสียหายของโครงตาข่าย การเปิดใช้งานสิ่งเจือปน การปรับเปลี่ยนฟิล์ม และการก่อตัวของซิลิไซด์โลหะ ผ่านการควบคุมอุณหภูมิ เวลา และงบประมาณด้านความร้อนที่แม่นยำ เมื่อโหนดเทคโนโลยีหดตัว วิธีการหลอมขั้นสูงก็เช่นททท, FLA และการหลอมด้วยเลเซอร์ขัดขวางกลายเป็นกระแสหลัก เมื่อมองไปข้างหน้า กระบวนการหลอมจะยังคงสร้างสรรค์นวัตกรรมต่อไปเพื่อตอบสนองความต้องการของวัสดุและอุปกรณ์ที่เกิดขึ้นใหม่

Semicorex นำเสนอผู้นำในอุตสาหกรรมโซลูชั่นการหลอมเพื่อให้มั่นใจว่าอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ของคุณตรงตามมาตรฐานประสิทธิภาพสูงสุดด้วยความแม่นยำและความน่าเชื่อถือ

หากคุณมีข้อสงสัยหรือต้องการรายละเอียดเพิ่มเติม โปรดอย่าลังเลที่จะติดต่อเรา

โทรศัพท์ติดต่อ # +86-13567891907

อีเมล์: sales@semicorex.com