การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ซึ่งเป็นรากฐานสำคัญของความก้าวหน้าทางเทคโนโลยีสมัยใหม่ คือการแสวงหาวงจรรวมที่มีขนาดเล็กลง เร็วขึ้น และมีประสิทธิภาพมากขึ้นอย่างต่อเนื่อง การแสวงหาอย่างไม่หยุดยั้งนี้ผลักดันให้เกิดความต้องการกระบวนการผลิตที่แม่นยำและซับซ้อนมากขึ้น โดยแต่ละขั้นตอนต้องอาศัยอุปกรณ์ที่มีประสิทธิภาพ ......
อ่านเพิ่มเติมหัวจับไฟฟ้าสถิต (ESC) กลายเป็นสิ่งที่ขาดไม่ได้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และการผลิตจอแบน นำเสนอวิธีการที่ปราศจากความเสียหายและควบคุมได้สูงในการจับยึดและการวางตำแหน่งเวเฟอร์และซับสเตรตที่ละเอียดอ่อนในระหว่างขั้นตอนการประมวลผลที่สำคัญ บทความนี้เจาะลึกความซับซ้อนของเทคโนโลยี ESC โดยสำรวจหลักการทำงานของเทค......
อ่านเพิ่มเติมการพัฒนา 3C-SiC ซึ่งเป็นโพลีไทป์ที่สำคัญของซิลิคอนคาร์ไบด์ สะท้อนให้เห็นถึงความก้าวหน้าอย่างต่อเนื่องของวิทยาศาสตร์วัสดุเซมิคอนดักเตอร์ ในช่วงทศวรรษ 1980 นิชิโนะ และคณะ ครั้งแรกที่ประสบความสำเร็จในการสร้างฟิล์ม 3C-SiC ที่มีความหนา 4 μm บนพื้นผิวซิลิกอนโดยใช้การสะสมไอสารเคมี (CVD) [1] ซึ่งวางรากฐานสำ......
อ่านเพิ่มเติม