PECVD เรือกราไฟท์พลังงานแสงอาทิตย์

เซมิคอร์เร็กซ์เรือกราไฟท์พลังงานแสงอาทิตย์ PECVDผลิตจากความเที่ยงตรงสูงกราไฟท์แบบไอโซสแตติก. เรือกราไฟท์พลังงานแสงอาทิตย์ PECVD แต่ละลำจาก Semicorex ผ่านการตัดเฉือนที่แม่นยำ การตรวจสอบขนาด และการทดสอบประสิทธิภาพทางไฟฟ้า เพื่อให้มั่นใจถึงประสิทธิภาพที่มั่นคงในสภาพแวดล้อมพลาสมาที่มีอุณหภูมิสูง

ในระหว่างการประมวลผล PECVD เรือกราไฟท์พลังงานแสงอาทิตย์ PECVD จะบรรทุกเวเฟอร์ซิลิคอนเข้าไปในห้องปฏิกิริยา PECVD และทำหน้าที่เป็นอิเล็กโทรดที่เชื่อมต่อกับแหล่งจ่ายไฟ RF เมื่อใช้แรงดันไฟฟ้ากระแสสลับระหว่างแผ่นป้ายเรือที่อยู่ติดกัน สนามไฟฟ้าจะถูกสร้างขึ้น ภายใต้อิทธิพลของสนามไฟฟ้า ก๊าซที่เกิดปฏิกิริยา (เช่น ไซเลน SiH₄ และแอมโมเนีย NH₃) จะถูกปล่อยแสงออกมาและสร้างพลาสมา ไอออนและอนุมูลอิสระในพลาสมาจะสลายก๊าซสารตั้งต้น กลายเป็นไอออนของซิลิคอน (Si) และไนโตรเจน (N) ไอออนเหล่านี้รวมตัวกันเพื่อสร้างโมเลกุลของซิลิคอนไนไตรด์ (Si₃N₄) ซึ่งจากนั้นจะถูกสะสมบนพื้นผิวของแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนเพื่อสร้างฟิล์มบางๆ

1. เสถียรภาพทางความร้อนที่ยอดเยี่ยม

ด้วยค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนใกล้เคียงกับแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอน Semicorxเรือกราไฟท์พลังงานแสงอาทิตย์ PECVDพบกับการเปลี่ยนแปลงมิติเล็กน้อยเมื่อได้รับความร้อน ซึ่งหลีกเลี่ยงความเสียหายที่เกิดจากความเครียดจากความร้อนต่อเวเฟอร์ได้อย่างน่าเชื่อถือ

2. การนำไฟฟ้าและความร้อนที่เหนือกว่า

เรือกราไฟท์พลังงานแสงอาทิตย์ Semicorex PECVD มีค่าการนำไฟฟ้าที่ดีเยี่ยม ช่วยให้มั่นใจได้ถึงการนำกระแส RF อย่างรวดเร็วและการกระจายสนามไฟฟ้าที่สม่ำเสมอ ซึ่งเป็นประโยชน์ต่อการสร้างพลาสมาที่เสถียรและการสะสมเวเฟอร์ซิลิคอนที่สม่ำเสมอ นอกจากนี้ การนำความร้อนที่เหนือกว่าช่วยให้ระบายความร้อนและทำความร้อนได้รวดเร็ว ปรับปรุงประสิทธิภาพการผลิตในขณะเดียวกันก็ป้องกันไม่ให้ความร้อนสูงเกินไปเฉพาะจุดส่งผลกระทบต่อคุณภาพการสะสม

3. ความเสถียรทางเคมีที่แข็งแกร่ง

ด้วยการใช้วัสดุเกรดพรีเมียม เรือกราไฟท์พลังงานแสงอาทิตย์ Semicorex PECVD จึงมีโอกาสน้อยที่จะทำปฏิกิริยากับก๊าซและพลาสมาที่เกิดปฏิกิริยา คุณลักษณะนี้ป้องกันการกระจายสนามไฟฟ้าที่ไม่สม่ำเสมอซึ่งเกิดจากการกัดกร่อน การเสียรูป หรือการสะสมตัวของสารเจือปนในกราไฟท์โบตได้อย่างมีนัยสำคัญ จึงมั่นใจได้ถึงความเสถียรของกระบวนการสะสมและคุณภาพพื้นผิวของเวเฟอร์ซิลิคอน

4. ความแข็งแรงทางกลที่โดดเด่น

ด้วยความแข็งแรงเชิงกลที่โดดเด่น เรือกราไฟท์พลังงานแสงอาทิตย์ Semicorex PECVD สามารถรองรับน้ำหนักของโหลดเวเฟอร์ปริมาณมากได้อย่างง่ายดาย พวกเขาสามารถทนต่อความเครียดทางกลที่เกิดขึ้นระหว่างการบรรทุกและการขนส่งเป็นเวลานานโดยไม่เสียรูปหรือแตกหักง่าย

5. ความสม่ำเสมอของมิติที่ยอดเยี่ยม

เรือกราไฟท์พลังงานแสงอาทิตย์ Semicorex PECVD บรรลุความแม่นยำด้านมิติที่ยอดเยี่ยมในทุกส่วนประกอบผ่านการตัดเฉือนที่มีความแม่นยำ ช่วยให้เวเฟอร์ซิลิคอนอยู่ในตำแหน่งคงที่ระหว่างการสะสม ซึ่งช่วยให้มั่นใจได้ถึงการสะสมที่สม่ำเสมอและเข้ากันได้กับการผลิตแบบอัตโนมัติ