ผู้ให้บริการเวเฟอร์ PFA

Semicorex PFAผู้ให้บริการเวเฟอร์เป็นผู้ให้บริการประสิทธิภาพสูงที่ออกแบบมาสำหรับการจัดการที่ปลอดภัยการจัดเก็บและการขนส่งเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ในสภาพแวดล้อมที่สะอาดเป็นพิเศษ การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูงทำให้มั่นใจได้ว่าผู้ให้บริการ PFA เวเฟอร์มีความต้านทานทางเคมีที่ไม่มีใครเทียบเสถียรภาพความร้อนและการควบคุมอนุภาคจากความสมบูรณ์และความสะอาดของเวเฟอร์ในระหว่างการผลิตจนถึงการทดสอบขั้นสุดท้าย

ทำจาก PFA ใหม่ผู้ให้บริการเวเฟอร์เหล่านี้แสดงความต้านทานต่อสารเคมีที่รุนแรงเช่นกรดแข็งแรงฐานและตัวทำละลายมักจะใช้ในการทำความสะอาดและการแกะสลักเวเฟอร์ คุณสมบัติการชะล้างไอออนที่ต่ำมากของ PFA ทำให้เป็นวัสดุที่ต้องการสำหรับงานห้องทำความสะอาดที่สำคัญซึ่งแม้แต่สารปนเปื้อนจำนวนเล็กน้อยก็อาจส่งผลกระทบต่อผลผลิตอุปกรณ์

ผู้ให้บริการเวเฟอร์ PFA ทำในห้องที่สะอาดและทำงานกับมาตรฐานห้องพัก 1 (ISO Class 3) มาตรฐานห้องสะอาด พื้นผิวที่เรียบและไม่ติดของ PFA ช่วยลดการสร้างอนุภาคและการยึดเกาะช่วยลดการปนเปื้อนจากสารตกค้างหรืออนุภาค นอกจากนี้ธรรมชาติที่ไม่ชอบน้ำของ PFA ช่วยให้การล้างอย่างละเอียดและการอบแห้งอย่างรวดเร็วช่วยลดความเสี่ยงของการปนเปื้อนข้ามในระหว่างขั้นตอนการประมวลผลแบบเปียก

ผู้ให้บริการเวเฟอร์ PFA แต่ละรายถูกสร้างขึ้นอย่างแม่นยำเพื่อให้แน่ใจว่าปลอดภัยและรองรับเวเฟอร์ในระหว่างการเคลื่อนไหวและการรักษา ช่องร่องช่วยเวเฟอร์ด้วยการสัมผัสเพียงเล็กน้อยลดความเครียดและบิ่นขอบของเวเฟอร์ ผู้ให้บริการมีหลายรูปร่างเพื่อให้พอดีกับเวเฟอร์ขนาดต่าง ๆ ซึ่งรวมถึงขนาดเส้นผ่าศูนย์กลาง 100 มม. 150 มม. 200 มม. และ 300 มม. ท็อปส์ซูเสริมและวิธีการล็อคที่แน่นหนาให้ความปลอดภัยเป็นพิเศษกับการกระแทกกับเครื่องถ้วยการสั่นสะเทือนและการสัมผัสกับสิ่งแวดล้อม

เนื่องจากความต้านทานความร้อนที่ยอดเยี่ยมของ PFA สูงถึง 260 ° C จึงเข้ากันได้กับกระบวนการอุณหภูมิสูงเช่นการแพร่กระจายออกซิเดชันและการสะสมไอสารเคมี CVD ผู้ให้บริการยังคงรักษาความสมบูรณ์ของโครงสร้างภายใต้การปั่นจักรยานด้วยความร้อนซ้ำ ๆ ดังนั้นจึงเหมาะสำหรับสภาพแวดล้อมการประมวลผลทั้งชุดและอัตโนมัติ

ผู้ให้บริการเวเฟอร์ PFA มีแอพพลิเคชั่นที่กว้างในการทำความสะอาดเวเฟอร์การแกะสลักแบบเปียก CMP photolithography และกระบวนการส่วนหน้าและส่วนหลังอื่น ๆ ในการผลิต IC การออกแบบที่แข็งแกร่งและความบริสุทธิ์ทำให้เหมาะสำหรับการใช้งานใน Fabs, R&D Labs และอุปกรณ์ OEM ที่ต้องการโปรโตคอลการควบคุมการปนเปื้อนอย่างเข้มงวด

ที่ปรับแต่งได้ผู้ให้บริการเวเฟอร์ PFAสามารถพัฒนาขึ้นเพื่อตอบสนองความต้องการระบบอัตโนมัติที่เฉพาะเจาะจงรวมถึงการจัดการหุ่นยนต์ระบบติดตามและการขนส่งในแนวตั้ง/แนวนอน ผู้ให้บริการเข้ากันได้อย่างเต็มที่กับอุปกรณ์จัดการเวเฟอร์มาตรฐานและเครื่องมือการผลิตเซมิคอนดักเตอร์