ผู้ไวต่อดาวเคราะห์

Semicorex Planetary Wensceptor เป็นส่วนประกอบที่ขาดไม่ได้สำหรับเครื่องปฏิกรณ์ Epitaxy Semiconductor ซึ่งออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับอุปกรณ์ Aixtron G5+ สร้างจากกราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูงและเคลือบด้วยซิลิกอนคาร์ไบด์ (SIC), ผู้อ่อนแอนี้รับประกันความเสถียรทางความร้อนที่เหนือกว่าความต้านทานทางเคมีที่ยอดเยี่ยมและประสิทธิภาพที่ไม่มีใครเทียบในสภาพแวดล้อมที่อุณหภูมิสูง

เครื่องปฏิกรณ์ Epitaxy Aixtron G5+ เป็นมาตรฐานในอุตสาหกรรมสำหรับ GAN, SIC และกระบวนการเจริญเติบโตของสารกึ่งตัวนำอื่น ๆ ผู้ไวต่อดาวเคราะห์เป็นหัวใจสำคัญในการเพิ่มประสิทธิภาพการไหลของก๊าซเพื่อให้มั่นใจว่าการหมุนเวเฟอร์ที่แม่นยำการควบคุมอุณหภูมิที่แน่นอนและการได้รับการสะสมสม่ำเสมอของชั้น epitaxial การออกแบบที่เป็นนวัตกรรมช่วยเพิ่มความสามารถในการทำซ้ำของกระบวนการอย่างมีนัยสำคัญทำให้เป็นตัวเลือกที่เหมาะสำหรับสภาพแวดล้อมการผลิตที่มีปริมาณมาก

คุณสมบัติที่สำคัญ  

- องค์ประกอบของวัสดุขั้นสูง: ทำจากกราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูงด้วยการเคลือบ SIC ให้ความทนทานและความต้านทานต่อสภาพกระบวนการที่รุนแรง  

- ประสิทธิภาพการระบายความร้อนที่ดีที่สุด: ทำให้มั่นใจได้ว่าการกระจายความร้อนที่สม่ำเสมอมีความสำคัญต่อการเติบโตของชั้น epitaxial ที่มีความแม่นยำสูง  

- ความต้านทานทางเคมี: การเคลือบ SIC ป้องกันการเกิดออกซิเดชันของกราไฟท์ขยายอายุการใช้งานของไวต่อความไวและรักษาความบริสุทธิ์ของกระบวนการ  

- วิศวกรรมที่มีความแม่นยำ: ออกแบบมาเพื่อตอบสนองความต้องการที่เข้มงวดของระบบ Aixtron G5+ ทำให้มั่นใจได้ว่าการรวมที่ไร้รอยต่อและประสิทธิภาพของเครื่องปฏิกรณ์ที่ดีที่สุด  

- ความสม่ำเสมอของพื้นผิวสูง: ลดการปนเปื้อนของอนุภาคลดคุณภาพของเวเฟอร์ที่เหนือกว่าและผลผลิตที่สูงขึ้นในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์  

ข้อดีของผู้อ่อนแอดาวเคราะห์ของเรา  

- Extended Service Life:การเคลือบ SICลดการสึกหรออย่างมีนัยสำคัญส่งผลให้ความถี่ทดแทนลดลงและลดต้นทุนการดำเนินงาน  

- ความเสถียรของกระบวนการที่ได้รับการปรับปรุง: ทำให้มั่นใจได้ถึงการให้ความร้อนที่สอดคล้องกันและการไล่ระดับสีความร้อนน้อยที่สุดซึ่งนำไปสู่การผลิตเวเฟอร์คุณภาพสูง  

- ความเข้ากันได้และการปรับแต่ง: มีอยู่ในการออกแบบมาตรฐานและกำหนดเองเพื่อตอบสนองความต้องการของกระบวนการ Aixtron G5+ เฉพาะ  

กราไฟท์ชิ้นส่วนมีบทบาทที่ขาดไม่ได้และสำคัญมากในกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ คุณภาพของวัสดุกราไฟท์มีผลกระทบอย่างมากต่อคุณภาพของผลิตภัณฑ์สำเร็จรูป ความสอดคล้องของแบทช์กราไฟท์และความสม่ำเสมอของวัสดุสามารถควบคุมและรับประกันได้ผ่านกระบวนการผลิต

1. การผลิตแบทช์ขนาดเล็กเตาเผาคาร์บอนใช้เตาขนาดเล็กเพียง 50 ลูกบาศก์เมตร

2. วัสดุแต่ละชิ้นมีการตรวจสอบและติดตาม

3. การตรวจสอบอุณหภูมิหลายจุดในพื้นที่เตาเพื่อให้แน่ใจว่าความแตกต่างของอุณหภูมิจะถูกเก็บไว้ในช่วงเล็ก ๆ

4. การตรวจสอบอุณหภูมิหลายจุดบนวัสดุเพื่อให้แน่ใจว่าความแตกต่างของอุณหภูมิจะถูกเก็บไว้ในช่วงเล็ก ๆ

Semicorex Planetary Veperceptor เป็นโซลูชันพรีเมี่ยมสำหรับเครื่องปฏิกรณ์ Aixtron G5+ ที่ให้ความเสถียรทางความร้อนที่โดดเด่นความต้านทานทางเคมีและประสิทธิภาพที่แม่นยำ ออกแบบมาสำหรับกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่ต้องการมากที่สุดมันขับเคลื่อนผลผลิตเวเฟอร์ที่สูงขึ้นลดความเสี่ยงต่อการปนเปื้อนและยืดอายุการใช้งานของอุปกรณ์ อัพเกรดระบบ epitaxy ของคุณด้วยไวรัสระดับสูงสุดสำหรับผลลัพธ์ที่ไม่มีใครเทียบ