เบ้าหลอมกราไฟท์ที่มีรูพรุน

ถ้วยใส่ตัวอย่างกราไฟท์ที่มีรูพรุนมีบทบาทสำคัญในกระบวนการการเติบโตของผลึกเดี่ยวของซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) ซึ่งเป็นขั้นตอนสำคัญในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ถ้วยใส่ตัวอย่างแบบพิเศษนี้ได้รับการออกแบบมาให้ทนต่ออุณหภูมิสุดขั้วและสภาพแวดล้อมทางเคมีที่รุนแรง ทำให้เป็นภาชนะที่เหมาะสำหรับปฏิกิริยาที่อุณหภูมิสูงที่เกี่ยวข้องกับการเติบโตของผลึก SiC

โดยทั่วไปถ้วยใส่ตัวอย่างจะทำจากวัสดุกราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูง ซึ่งเป็นที่รู้จักในด้านการนำความร้อน ความเฉื่อยทางเคมี และความแข็งแรงทางกลที่ดีเยี่ยม คำว่า "มีรูพรุน" หมายถึงการสร้างโครงสร้างที่ซึมเข้าไปได้ภายในกราไฟท์โดยเจตนา ซึ่งช่วยให้สามารถควบคุมการไหลของก๊าซและของเหลวในระหว่างกระบวนการเติบโตของผลึก

กระบวนการเติบโตของผลึกเดี่ยว SiC เกี่ยวข้องกับการระเหิดของวัสดุซิลิคอนและคาร์บอนในเตาเผาที่มีอุณหภูมิสูง ถ้วยใส่ตัวอย่างกราไฟท์ที่มีรูพรุนทำหน้าที่เป็นภาชนะสำหรับแหล่งที่มาของวัสดุเหล่านี้ ทำให้เกิดสภาพแวดล้อมที่มั่นคงและได้รับการควบคุมสำหรับการเติบโตของคริสตัล โครงสร้างที่มีรูพรุนช่วยให้สามารถขนส่งก๊าซสารตั้งต้นได้อย่างมีประสิทธิภาพ และอำนวยความสะดวกในการกำจัดผลพลอยได้ที่เกิดขึ้นในระหว่างกระบวนการเติบโต

ความสามารถของถ้วยใส่ตัวอย่างในการรักษาเสถียรภาพและทนทานต่อสภาวะที่รุนแรงถือเป็นสิ่งสำคัญเพื่อให้ได้ผลึกเดี่ยว SiC คุณภาพสูง ซึ่งเป็นส่วนสำคัญในการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ ความพรุนของถ้วยใส่ตัวอย่างช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการไหลของก๊าซและการกระจายความร้อน ส่งผลให้ผลึก SiC ขนาดใหญ่และมีคุณภาพสูงเติบโตสม่ำเสมอ