เซรามิกแทนทาลัมคาร์ไบด์ที่มีรูพรุน

เซรามิกแทนทาลัมคาร์ไบด์ที่มีรูพรุน Semicorex เป็นวัสดุเซรามิกอุณหภูมิสูงพิเศษที่มีจุดหลอมเหลวประมาณ 3880°C ซึ่งสามารถรักษาประสิทธิภาพการทำงานที่มั่นคงในสภาพแวดล้อมการทำงานที่มีอุณหภูมิสูงและมีการกัดกร่อนสูงที่ท้าทาย เนื่องจากคุณลักษณะด้านประสิทธิภาพที่ยอดเยี่ยมดังต่อไปนี้

1. คุณสมบัติทางความร้อนที่ยอดเยี่ยม

อุณหภูมิการทำงานสูงสุดของ Semicorex มีรูพรุนเซรามิกแทนทาลัมคาร์ไบด์สามารถสูงถึง 3200 ℃ และสามารถทำงานได้อย่างเสถียรที่สภาวะการเจริญเติบโตของผลึกซิลิกอนคาร์ไบด์ที่อุณหภูมิสูงเป็นเวลานานโดยไม่มีการเสียรูปหรืออ่อนตัวลง

2. ความเสถียรทางเคมีที่ยอดเยี่ยม

เซรามิกแทนทาลัมคาร์ไบด์ที่มีรูพรุน Semicorex มีความทนทานต่อการกัดกร่อนและต้านทานการเกิดออกซิเดชันได้ดีกว่าเซรามิกทั่วไป สามารถทนต่อการกัดกร่อนของออกซิเจนอุณหภูมิสูงและไอ Si ในกระบวนการเจริญเติบโตของผลึกได้อย่างมีประสิทธิภาพ

3. โครงสร้างมีรูพรุนพิเศษ

เซรามิกแทนทาลัมคาร์ไบด์ที่มีรูพรุน Semicorex โดดเด่นด้วยรูพรุนภายในที่กระจายสม่ำเสมอ โดยมีความพรุนระหว่าง 10-60% (ปรับแต่งได้) และอัตราการทะลุผ่านรูพรุนมากกว่า 98% โครงสร้างพิเศษนี้ช่วยให้องค์ประกอบเฟสไอ เช่น Si และ C ไหลและกระจายได้อย่างราบรื่นภายในเตาปลูกคริสตัล ซึ่งช่วยอำนวยความสะดวกในการเติบโตของคริสตัลคุณภาพสูงอย่างมาก

การประยุกต์ใช้การเติบโตของผลึกซิลิคอนคาร์ไบด์

ในระหว่างการเจริญเติบโตของผลึกซิลิคอนคาร์ไบด์ผ่านกระบวนการ PVT เซรามิกแทนทาลัมคาร์ไบด์ที่มีรูพรุน Semicorex ทำหน้าที่หลักในการกรององค์ประกอบเฟสไอ การควบคุมการไล่ระดับอุณหภูมิของเตาเผา และคำแนะนำการไหลของวัสดุก๊าซ แตกต่างจากวัสดุกราไฟท์เคลือบ TaC ที่มีรูพรุนทั่วไป เซรามิกแทนทาลัมคาร์ไบด์ที่มีรูพรุน Semicorex มีข้อดีที่แตกต่างอย่างชัดเจน: ขจัดความพรุนกราไฟท์เคลือบ TaCข้อเสียเปรียบของวัสดุคืออัตรารูทะลุต่ำซึ่งเกิดจากการเคลือบ ขณะเดียวกันก็หลีกเลี่ยงปัญหาที่วัสดุเคลือบกราไฟท์เคลือบ TaC มีรูพรุนพบปัญหาในการลอกผิวเคลือบในการให้บริการ ด้วยการใช้เซรามิกแทนทาลัมคาร์ไบด์ที่มีรูพรุน Semicorex คุณสามารถยับยั้งข้อบกพร่องการรวมตัวของคาร์บอนในการเติบโตของผลึกซิลิคอนคาร์ไบด์ได้อย่างมีประสิทธิภาพ ซึ่งจะช่วยปรับปรุงคุณภาพการเติบโตของผลึกและผลผลิตของผลิตภัณฑ์ได้อย่างมาก