ฐาน Semicorex Quartz 12” เป็นส่วนประกอบเฉพาะทางสูงที่ออกแบบมาสำหรับกระบวนการแพร่กระจายในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ Semicorex มุ่งมั่นที่จะนำเสนอผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพในราคาที่แข่งขันได้ เราหวังว่าจะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน*
ฐาน Semicorex Quartz 12” มีบทบาทสำคัญในการรับประกันคุณภาพและประสิทธิภาพของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ ภายใต้ความแม่นยำและความน่าเชื่อถือที่โดดเด่น ฐาน Quartz 12” ผลิตจากควอตซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูง มีความทนทานต่อความร้อนและสารเคมีเป็นพิเศษ ทำให้เป็นตัวเลือกที่เหมาะสำหรับสภาพแวดล้อมที่รุนแรงซึ่งต้องเผชิญในระหว่างกระบวนการแพร่กระจาย ควอตซ์เป็นวัสดุที่มีชื่อเสียงในด้านความบริสุทธิ์และความเสถียร ซึ่งเป็นคุณลักษณะที่สำคัญสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งแม้แต่สิ่งเจือปนเพียงเล็กน้อยก็สามารถนำไปสู่ข้อบกพร่องที่สำคัญในผลิตภัณฑ์ขั้นสุดท้ายได้
ฐานขนาด 12 นิ้วได้รับการออกแบบอย่างพิถีพิถันเพื่อให้การรองรับที่สม่ำเสมอสำหรับเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ในระหว่างกระบวนการแพร่กระจาย การออกแบบช่วยให้มั่นใจได้ถึงการกระจายความร้อนทั่วพื้นผิวแผ่นเวเฟอร์ ซึ่งเป็นสิ่งสำคัญในการบรรลุระดับการเติมสารที่สม่ำเสมอและคุณสมบัติทางไฟฟ้าที่สม่ำเสมอ ขนาดและพื้นผิวที่แม่นยำของฐานได้รับการดูแลให้มีมาตรฐานสูงสุด ซึ่งลดความเสี่ยงในการปนเปื้อนหรือความเสียหายต่อเวเฟอร์ให้เหลือน้อยที่สุด
ในกระบวนการแพร่กระจาย เวเฟอร์จะถูกสัมผัสกับอุณหภูมิสูงและก๊าซที่เกิดปฏิกิริยาเพื่อนำสารเจือปนเข้าไปในซับสเตรตซิลิกอน ฐานควอตซ์ขนาด 12 นิ้วทนทานต่อสภาวะสุดขั้วเหล่านี้ โดยรักษาความสมบูรณ์ของโครงสร้างและประสิทธิภาพตลอดการใช้งานเป็นเวลานาน เสถียรภาพทางความร้อนที่ดีเยี่ยมช่วยให้มั่นใจได้ว่าสามารถทนต่อรอบการให้ความร้อนและความเย็นซ้ำๆ โดยไม่เสียรูปหรือการเสื่อมสภาพ ซึ่งจำเป็นต่อการรักษาความสม่ำเสมอและความน่าเชื่อถือของกระบวนการ
ฐานควอตซ์ 12” สามารถใช้งานร่วมกับเตากระจายและสภาวะกระบวนการได้หลากหลาย ได้รับการออกแบบมาเพื่อผสานรวมเข้ากับการตั้งค่าอุปกรณ์ที่มีอยู่ได้อย่างราบรื่น มอบเส้นทางการอัพเกรดที่ตรงไปตรงมาสำหรับผู้ผลิตที่ต้องการเพิ่มขีดความสามารถของกระบวนการ โครงสร้างที่แข็งแกร่งของฐานและวัสดุควอตซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูงยังช่วยให้อายุการใช้งานยาวนานขึ้น ลดความถี่ในการเปลี่ยนและบำรุงรักษา ซึ่งช่วยลดต้นทุนการดำเนินงานโดยรวม
คุณภาพพื้นผิวของฐาน Quartz 12” ถือเป็นอีกแง่มุมที่สำคัญที่ส่งผลต่อประสิทธิภาพการทำงาน ฐานผ่านกระบวนการขัดเงาและทำความสะอาดอย่างเข้มงวดเพื่อให้ได้พื้นผิวที่เหมือนกระจก ซึ่งช่วยลดโอกาสที่จะเกิดอนุภาคและการปนเปื้อน ความสะอาดในระดับสูงนี้มีความสำคัญในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งแม้แต่อนุภาคขนาดเล็กมากก็สามารถนำไปสู่ข้อบกพร่องและการสูญเสียผลผลิตได้ พื้นผิวเรียบยังช่วยให้ทำความสะอาดและบำรุงรักษาได้ง่าย ทำให้มั่นใจได้ว่าฐานจะอยู่ในสภาพที่เหมาะสมตลอดอายุการใช้งาน