แผ่นดาวเทียม

Semicorex Satellite Plate เป็นผู้ให้บริการเวเฟอร์ที่สำคัญในระหว่างกระบวนการเจริญเติบโตของ epitaxial รับประกันการสะสมที่สม่ำเสมอและประสิทธิภาพของกระบวนการที่ดีที่สุด สร้างขึ้นจากกราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูงและเคลือบด้วยชั้นซิลิกอนคาร์ไบด์ (SIC) ที่แข็งแกร่งแผ่นนี้ให้ความเสถียรทางความร้อนที่ยอดเยี่ยมความต้านทานทางเคมีและความแข็งแรงเชิงกลทำให้ตำแหน่งเป็นส่วนประกอบที่ขาดไม่ได้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่มีประสิทธิภาพสูง

ด้วยฐานกราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูงแผ่นดาวเทียมเก่งในการนำความร้อนและความสมบูรณ์ของโครงสร้าง ที่การเคลือบ SICช่วยเพิ่มความทนทานอย่างมีนัยสำคัญให้ความต้านทานอุณหภูมิสูงความเฉื่อยทางเคมีและการลดการสร้างอนุภาคอย่างมาก การผสมผสานที่ทรงพลังนี้ช่วยให้มั่นใจได้ว่าแผ่นจะทนต่อสภาพการประมวลผลที่รุนแรงในขณะที่ทำงานอย่างต่อเนื่องในระดับสูง ฐานกราไฟท์ช่วยอำนวยความสะดวกในการถ่ายเทความร้อนอย่างมีประสิทธิภาพทำให้มั่นใจได้ว่าการกระจายอุณหภูมิที่สม่ำเสมอทั่วเวเฟอร์ในขณะที่การเคลือบ SIC ป้องกันก๊าซกระบวนการกัดกร่อนป้องกันการปนเปื้อนและยืดอายุการใช้งาน นอกจากนี้พื้นผิว SIC ลดการปลดปล่อยอนุภาคซึ่งเป็นสิ่งสำคัญสำหรับการสร้างเซมิคอนดักเตอร์ที่ให้ผลตอบแทนสูง

ออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับการรวมเข้ากับระบบ Aixtron G5+ โดยเฉพาะแผ่นดาวเทียมรับประกันการวางตำแหน่งเวเฟอร์ที่แม่นยำและความสมดุลในการหมุนซึ่งจำเป็นสำหรับการรักษาสภาพความร้อนที่มั่นคงและลดอัตราข้อบกพร่อง องค์ประกอบวัสดุขั้นสูงของแผ่นไม่เพียง แต่ยืดอายุการใช้งาน แต่ยังช่วยลดต้นทุนการดำเนินงานอย่างมีนัยสำคัญและเพิ่มประสิทธิภาพการผลิต

ส่วนใหญ่ใช้ในกระบวนการสะสมไอสารเคมีอินทรีย์ (MOCVD) แผ่นดาวเทียมเป็นสิ่งสำคัญสำหรับการปลูกชั้น epitaxial บนเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ มันมีบทบาทสำคัญในการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูงรวมถึงไฟ LED, อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์พลังงาน SIC และ GAN, ส่วนประกอบโทนิคและออพโตอิเล็กทรอนิกส์และอุปกรณ์ RF ความถี่สูง ด้วยการสร้างความมั่นใจว่าสภาวะความร้อนที่มั่นคงและลดการปนเปื้อนแผ่นดาวเทียมรับประกันการเติบโตของชั้น epitaxial ที่สอดคล้องกันซึ่งนำไปสู่การจัดการเวเฟอร์ที่ดีขึ้นและอัตราผลตอบแทนที่สูงขึ้น การออกแบบที่ได้รับการปรับปรุงให้ดีที่สุดนั้นรองรับเวเฟอร์ได้อย่างมีประสิทธิภาพลดข้อบกพร่องและสร้างความมั่นใจว่ามีความแม่นยำตลอดระยะการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์

Semicorex Satellite Plate ทำหน้าที่เป็นองค์ประกอบสำคัญสำหรับเครื่องปฏิกรณ์ Aixtron G5+ epitaxy ให้ความทนทานที่เหนือชั้นความต้านทานทางเคมีและประสิทธิภาพความร้อน องค์ประกอบของวัสดุที่ทันสมัยและวิศวกรรมทำให้มันมีความสำคัญต่อกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ทำให้มั่นใจได้ว่าการผลิตเวเฟอร์ที่ให้ผลตอบแทนสูงและคุณภาพสูง ลงทุนในแผ่นดาวเทียมเพื่อยกระดับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ของคุณและบรรลุความเป็นเลิศในกระบวนการเติบโตของ epitaxial