หลอดกระจายควอตซ์เกรดเซมิคอนดักเตอร์

เรือควอทซ์มักใช้ในสภาวะการปฏิบัติงานที่มีการกัดกร่อนของสารเคมีที่อุณหภูมิสูงและรุนแรง ในระหว่างการดำเนินการ เวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์จะถูกวางลงในเรือควอทซ์และสอดเข้าไปในท่อกระจายควอทซ์ เมื่อท่อแพร่ถึงอุณหภูมิที่ต้องการ (หลายร้อยถึงหลายพันองศาเซลเซียส) ก๊าซในกระบวนการ (เช่น O₂, N₂, H₂, Ar) และก๊าซเจือปน (เช่น POCl₃, BBr₃) จะถูกป้อนเข้าไปในท่อแพร่ควอตซ์ผ่านช่องก๊าซเพื่อทำปฏิกิริยาออกซิเดชัน การแพร่กระจาย และการหลอมบนเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ นอกจากนี้ เพื่อปรับปรุงความสม่ำเสมอและความแม่นยำในการแพร่กระจาย กระบวนการกระจายบางอย่างจำเป็นต้องดำเนินการในสภาพแวดล้อมที่มีแรงดันต่ำ 

ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูง ข้อผิดพลาดหรือข้อบกพร่องเล็กน้อยในกระบวนการเหล่านี้สามารถนำไปสู่ความล้มเหลวของกระบวนการที่ตามมาได้ ดังนั้น ในฐานะส่วนสำคัญของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ คุณภาพของหลอดกระจายควอตซ์จึงมีความสำคัญอย่างมาก และส่งผลโดยตรงต่อผลผลิตและประสิทธิภาพของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์

ข้อมูลจำเพาะของ Semicorex ควอตซ์เกรดเซมิคอนดักเตอร์

หลอดแพร่กระจายควอทซ์เกรดเซมิคอนดักเตอร์ Semicorex ผลิตอย่างพิถีพิถันจากคุณภาพสูงควอตซ์เกรดเซมิคอนดักเตอร์วัสดุ. ต่อไปนี้เป็นพารามิเตอร์เฉพาะ:

พารามิเตอร์สามารถปรับแต่งได้ตามความต้องการของลูกค้า

ประสิทธิภาพของหลอดกระจายควอตซ์เกรดเซมิคอนดักเตอร์ Semicorex

ใช้เทคโนโลยีการประมวลผลที่มีประสบการณ์และการเลือกใช้วัสดุที่เชื่อถือได้ของเรา เกรดเซมิคอนดักเตอร์ Semicorexหลอดกระจายควอทซ์แสดงให้เห็นถึงประสิทธิภาพที่เหนือกว่าภายใต้สภาวะการทำงานที่ท้าทาย:

1. ประสิทธิภาพการต้านทานอุณหภูมิสูง

หลอดกระจายควอทซ์เกรดเซมิคอนดักเตอร์ Semicorex ให้ความต้านทานต่ออุณหภูมิสูงที่โดดเด่น ซึ่งช่วยให้ทำงานได้อย่างเสถียรในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงถึง 1200 ℃ โดยไม่มีการเสียรูปหรือความเสียหายใดๆ

2. ประสิทธิภาพเสถียรภาพทางความร้อน

หลอดแพร่กระจายควอทซ์เกรดเซมิคอนดักเตอร์ของ Semicorex มีค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนที่ยอดเยี่ยม สามารถทนต่อความเครียดจากความร้อนในระหว่างการทำความร้อนหรือความเย็นอย่างรวดเร็วโดยไม่แตกร้าวหรือเสียรูปได้ง่าย

3. ประสิทธิภาพการทนต่อสารเคมี

หลอดกระจายควอทซ์เกรดเซมิคอนดักเตอร์ Semicorex ให้ความเฉื่อยทางเคมีที่เหนือกว่าในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงและมีฤทธิ์กัดกร่อนรุนแรง ประสิทธิภาพนี้ช่วยป้องกันสิ่งปนเปื้อนที่เกิดจากปฏิกิริยากับก๊าซในกระบวนการไม่ให้ส่งผลกระทบต่อคุณภาพของเวเฟอร์ได้อย่างมาก