เครื่องทำความร้อนกราไฟท์เซมิคอนดักเตอร์ Semicorex เป็นอุปกรณ์ทำความร้อนประสิทธิภาพสูงที่ทำจากกราไฟท์ไอโซสแตติกคุณภาพสูง มีการใช้กันอย่างแพร่หลายในการเชื่อมโยงกระบวนการหลักของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เช่น สนามความร้อนของเตาหลอมคริสตัล กระบวนการเติบโตแบบเอปิแทกเซียล อุปกรณ์ฝังไอออน อุปกรณ์แกะสลักพลาสม่า และการผลิตแม่พิมพ์เผาอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์
เซมิคอนดักเตอร์เครื่องทำความร้อนกราไฟท์เป็นอุปกรณ์ทำความร้อนขั้นสูงที่ทำจากวัสดุกราไฟท์ไอโซสแตติกที่มีความบริสุทธิ์สูง การนำไฟฟ้าและการนำความร้อนที่ดีเยี่ยมช่วยให้มั่นใจได้ถึงการควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำและการกระจายความร้อนที่สม่ำเสมอสำหรับการเจริญเติบโตและการแปรรูปวัสดุเซมิคอนดักเตอร์ เมื่อกระแสไฟฟ้าไหลผ่านเครื่องทำความร้อน จะเอาชนะความต้านทานไฟฟ้าภายในของกราไฟท์ โดยแปลงพลังงานไฟฟ้าเป็นความร้อน ทำให้อุณหภูมิของกราไฟท์สูงขึ้น และเกิดความร้อนขึ้น โดยทั่วไปการควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำสามารถทำได้โดยการปรับความเข้มของกระแสไฟฟ้าและความต้านทานของฮีตเตอร์
Semicorex คัดสรรความบริสุทธิ์สูงอย่างพิถีพิถันกราไฟท์แบบไอโซสแตติกมีการนำความร้อนที่ดีเยี่ยม ช่วยให้ถ่ายเทความร้อนไปยังทุกมุมของพื้นที่ทำความร้อนได้อย่างรวดเร็วและสม่ำเสมอ ป้องกันความร้อนสูงเกินไปเฉพาะจุดได้อย่างมีประสิทธิภาพ
แม้ว่าจะต้องเผชิญกับสภาวะที่มีอุณหภูมิสูงมาก เช่น การระเหยด้วยอาร์คที่อุณหภูมิสูงพิเศษ กราไฟต์ไอโซสแตติกที่มีความบริสุทธิ์สูงก็ยังคงรักษาคุณลักษณะทางกายภาพและทางเคมีให้คงที่ โดยปกติความร้อนจัดจะทำให้วัสดุละลาย เปลี่ยนรูป หรือออกซิไดซ์ แต่กราไฟท์ประเภทนี้สามารถต้านทานการเปลี่ยนแปลงเหล่านั้นได้ ทำให้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับกระบวนการที่อุณหภูมิสูงในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ รวมถึงการดึงซิลิคอนผลึกเดี่ยวและการเติบโตของผลึกซิลิคอนคาร์ไบด์
เครื่องทำความร้อนกราไฟท์เซมิคอนดักเตอร์โดดเด่นด้วยประสิทธิภาพการใช้พลังงาน ไม่จำเป็นต้องอุ่นเครื่อง ถึงอุณหภูมิที่ตั้งไว้อย่างรวดเร็ว และประหยัดพลังงานได้อย่างเห็นได้ชัดเมื่อเทียบกับเครื่องทำความร้อนแบบเดิม ประสิทธิภาพการแปลงความร้อนสูงช่วยลดการใช้พลังงานได้อย่างมีประสิทธิภาพ ตระหนักถึงการอนุรักษ์พลังงานและลดการบริโภค ในระหว่างการทำงาน ไม่ก่อให้เกิดมลพิษหรือก๊าซไอเสีย ซึ่งเป็นไปตามข้อกำหนดด้านสิ่งแวดล้อม
นอกจากนี้ เครื่องทำความร้อนกราไฟท์แบบเซมิคอนดักเตอร์ยังมีอายุการใช้งานยาวนาน กราไฟท์ไอโซสแตติกที่มีความบริสุทธิ์สูงทำให้มีความแข็งแรงเชิงกลที่เหนือกว่า ทนทานต่อการกัดกร่อนสูง และต้านทานการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างฉับพลัน มีความไวต่อปัจจัยต่างๆ เช่น อุณหภูมิสูงและการกัดกร่อนของสารเคมีน้อยกว่า ทำให้มีอายุการใช้งานยาวนานขึ้น