ด้วยความหนาแน่นและการนำความร้อนที่เหนือกว่า Semicorex SiC Coated Barrel Susceptor สำหรับการเติบโตแบบอีปิแอกเซียล จึงเป็นตัวเลือกที่เหมาะสำหรับใช้ในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงและมีฤทธิ์กัดกร่อน ผลิตภัณฑ์กราไฟท์นี้เคลือบด้วย SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูง ให้การป้องกันและการกระจายความร้อนที่ดีเยี่ยม ทำให้มั่นใจได้ถึงประสิทธิภาพที่เชื่อถือได้และสม่ำเสมอในการใช้งานด้านการผลิตเซมิคอนดักเตอร์
ตัวรับถังเคลือบ Semicorex SiC สำหรับการเจริญเติบโตของส่วนนอกของหลอดเลือดเป็นตัวเลือกที่สมบูรณ์แบบสำหรับการสร้างชั้น epixial บนเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ เนื่องจากมีคุณสมบัติการนำความร้อนและการกระจายความร้อนที่ดีเยี่ยม การเคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์ให้การปกป้องที่เหนือกว่าแม้ในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงและมีฤทธิ์กัดกร่อนที่มีความต้องการสูงที่สุด
ที่ Semicorex เรามุ่งเน้นในการนำเสนอผลิตภัณฑ์คุณภาพสูงและคุ้มค่าแก่ลูกค้าของเรา SiC Coated Barrel Susceptor ของเราสำหรับการเติบโตแบบอีพิเทเชียลมีข้อได้เปรียบด้านราคาและส่งออกไปยังตลาดยุโรปและอเมริกาหลายแห่ง เรามุ่งมั่นที่จะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณ นำเสนอผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพสม่ำเสมอและการบริการลูกค้าที่เป็นเลิศ
พารามิเตอร์ของ SiC Coated Barrel Susceptor สำหรับการเจริญเติบโตของเยื่อบุผิว
ข้อมูลจำเพาะหลักของการเคลือบ CVD-SIC |
||
คุณสมบัติ SiC-CVD |
||
โครงสร้างคริสตัล |
เฟส FCC β |
|
ความหนาแน่น |
กรัม/ซม. ³ |
3.21 |
ความแข็ง |
ความแข็งของวิคเกอร์ |
2500 |
ขนาดเกรน |
ไมโครเมตร |
2~10 |
ความบริสุทธิ์ของสารเคมี |
% |
99.99995 |
ความจุความร้อน |
เจ กก-1 K-1 |
640 |
อุณหภูมิระเหิด |
℃ |
2700 |
ความแข็งแกร่งของเฟล็กซ์เจอร์ |
MPa (RT 4 จุด) |
415 |
โมดูลัสของยัง |
เกรดเฉลี่ย (โค้ง 4 พอยต์, 1300°C) |
430 |
การขยายตัวทางความร้อน (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
การนำความร้อน |
(W/mK) |
300 |
คุณลักษณะของ SiC Coated Barrel Susceptor สำหรับการเจริญเติบโตของเยื่อบุผิว
- ทั้งสารตั้งต้นกราไฟท์และชั้นซิลิคอนคาร์ไบด์มีความหนาแน่นที่ดีและสามารถมีบทบาทในการป้องกันที่ดีในสภาพแวดล้อมการทำงานที่มีอุณหภูมิสูงและกัดกร่อน
- ตัวรับเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ที่ใช้สำหรับการเจริญเติบโตของผลึกเดี่ยวมีความเรียบของพื้นผิวที่สูงมาก
- ลดความแตกต่างของค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนระหว่างพื้นผิวกราไฟท์และชั้นซิลิคอนคาร์ไบด์ ปรับปรุงความแข็งแรงพันธะได้อย่างมีประสิทธิภาพเพื่อป้องกันการแตกร้าวและการหลุดร่อน
- ทั้งซับสเตรตกราไฟท์และชั้นซิลิกอนคาร์ไบด์มีค่าการนำความร้อนสูงและมีคุณสมบัติการกระจายความร้อนที่ดีเยี่ยม
- มีจุดหลอมเหลวสูง ทนต่อการเกิดออกซิเดชันที่อุณหภูมิสูง ทนต่อการกัดกร่อน