SiC Coated Barrel Susceptor สำหรับการเจริญเติบโตของเยื่อบุผิว LPE

Semicorex SiC Coated Barrel Susceptor สำหรับ LPE Epitaxial Growth เป็นผลิตภัณฑ์ที่มีประสิทธิภาพสูงซึ่งออกแบบมาเพื่อให้ประสิทธิภาพที่สม่ำเสมอและเชื่อถือได้ตลอดระยะเวลาที่ขยายออกไป รูปแบบการระบายความร้อนที่สม่ำเสมอ รูปแบบการไหลของก๊าซแบบลามินาร์ และการป้องกันการปนเปื้อน ทำให้เป็นตัวเลือกที่เหมาะสมที่สุดสำหรับการเติบโตของชั้นเอพิเทเชียลคุณภาพสูงบนชิปเวเฟอร์ ความสามารถในการปรับแต่งได้และความคุ้มค่าทำให้เป็นผลิตภัณฑ์ที่มีการแข่งขันสูงในตลาด

ส่งคำถาม

รายละเอียดสินค้า

SiC Coated Barrel Susceptor ของเราสำหรับการเจริญเติบโตของ LPE Epitaxial เป็นผลิตภัณฑ์คุณภาพสูงและเชื่อถือได้ซึ่งให้ความคุ้มค่าคุ้มราคาเป็นอย่างยิ่ง ความต้านทานต่อออกซิเดชันที่อุณหภูมิสูง แม้กระทั่งโปรไฟล์ความร้อน และป้องกันการปนเปื้อน ทำให้เป็นตัวเลือกที่เหมาะสมที่สุดสำหรับการเติบโตของชั้นเอปิเทกเชียลคุณภาพสูงบนชิปเวเฟอร์ ข้อกำหนดในการบำรุงรักษาต่ำและความสามารถในการปรับแต่งทำให้เป็นผลิตภัณฑ์ที่มีการแข่งขันสูงในตลาด

ติดต่อเราวันนี้เพื่อเรียนรู้เพิ่มเติมเกี่ยวกับ SiC Coated Barrel Susceptor สำหรับการเจริญเติบโตของเยื่อบุผิว LPE

พารามิเตอร์ของ SiC Coated Barrel Susceptor สำหรับการเจริญเติบโตของเยื่อบุผิว LPE

ข้อมูลจำเพาะหลักของการเคลือบ CVD-SIC
คุณสมบัติ SiC-CVD
โครงสร้างคริสตัล	เฟส FCC β
ความหนาแน่น	กรัม/ซม. ³	3.21
ความแข็ง	ความแข็งของวิคเกอร์	2500
ขนาดเกรน	ไมโครเมตร	2~10
ความบริสุทธิ์ของสารเคมี	%	99.99995
ความจุความร้อน	เจ กก-1 K-1	640
อุณหภูมิระเหิด	℃	2700
ความแข็งแกร่งของเฟล็กซ์เจอร์	MPa (RT 4 จุด)	415
โมดูลัสของยัง	เกรดเฉลี่ย (โค้ง 4 พอยต์, 1300°C)	430
การขยายความร้อน (C.T.E)	10-6K-1	4.5
การนำความร้อน	(W/mK)	300

คุณสมบัติของ SiC Coated Barrel Susceptor สำหรับการเจริญเติบโตของ LPE Epitaxis

- ทั้งสารตั้งต้นกราไฟท์และชั้นซิลิคอนคาร์ไบด์มีความหนาแน่นที่ดีและสามารถมีบทบาทในการป้องกันที่ดีในสภาพแวดล้อมการทำงานที่มีอุณหภูมิสูงและกัดกร่อน

- ตัวรับเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ที่ใช้สำหรับการเจริญเติบโตของผลึกเดี่ยวมีความเรียบของพื้นผิวที่สูงมาก

- ลดความแตกต่างของค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนระหว่างพื้นผิวกราไฟท์และชั้นซิลิคอนคาร์ไบด์ ปรับปรุงความแข็งแรงพันธะได้อย่างมีประสิทธิภาพเพื่อป้องกันการแตกร้าวและการหลุดร่อน

- ทั้งซับสเตรตกราไฟท์และชั้นซิลิกอนคาร์ไบด์มีค่าการนำความร้อนสูงและมีคุณสมบัติการกระจายความร้อนที่ดีเยี่ยม

- มีจุดหลอมเหลวสูง ทนต่อการเกิดออกซิเดชันที่อุณหภูมิสูง ทนต่อการกัดกร่อน

แท็กยอดนิยม: SiC Coated Barrel Susceptor สำหรับการเจริญเติบโตของ LPE Epitaxial, จีน, ผู้ผลิต, ซัพพลายเออร์, โรงงาน, ปรับแต่ง, จำนวนมาก, ขั้นสูง, ทนทาน

แท็กสินค้า

หมวดหมู่ที่เกี่ยวข้อง