ตัวรับถังเคลือบ SiC

ด้วยจุดหลอมเหลวสูง ความต้านทานต่อการเกิดออกซิเดชัน และความต้านทานการกัดกร่อน ทำให้ Semicorex SiC-Coated Barrel Susceptor เป็นตัวเลือกที่สมบูรณ์แบบสำหรับการใช้งานในการพัฒนาผลึกเดี่ยว การเคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์มีคุณสมบัติความเรียบและการกระจายความร้อนเป็นพิเศษ ทำให้มั่นใจได้ถึงประสิทธิภาพที่เชื่อถือได้และสม่ำเสมอแม้ในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงซึ่งมีความต้องการสูงสุด

ส่งคำถาม

รายละเอียดสินค้า

Semicorex SiC-Coated Barrel Susceptor เป็นผลิตภัณฑ์กราไฟท์คุณภาพสูงที่เคลือบด้วย SiC ที่มีความบริสุทธิ์สูง ออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับกระบวนการ LPE และการใช้งานด้านการผลิตเซมิคอนดักเตอร์อื่นๆ ความหนาแน่นและการนำความร้อนที่โดดเด่นทำให้มีการกระจายความร้อนและการป้องกันที่เหนือกว่าในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงและมีฤทธิ์กัดกร่อน
ที่ Semicorex เรามุ่งเน้นไปที่การจัดหา SiC-Coated Barrel Susceptor คุณภาพสูงและคุ้มค่า เราให้ความสำคัญกับความพึงพอใจของลูกค้าและนำเสนอโซลูชั่นที่คุ้มค่า เราหวังเป็นอย่างยิ่งว่าจะได้เป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณ นำเสนอผลิตภัณฑ์คุณภาพสูงและการบริการลูกค้าที่เป็นเลิศ

พารามิเตอร์ของตัวรับถังเคลือบ SiC

ข้อมูลจำเพาะหลักของการเคลือบ CVD-SIC
คุณสมบัติ SiC-CVD
โครงสร้างคริสตัล	เฟส FCC β
ความหนาแน่น	กรัม/ซม. ³	3.21
ความแข็ง	ความแข็งของวิคเกอร์	2500
ขนาดเกรน	ไมโครเมตร	2~10
ความบริสุทธิ์ของสารเคมี	%	99.99995
ความจุความร้อน	เจ กก-1 K-1	640
อุณหภูมิระเหิด	℃	2700
ความแข็งแกร่งของเฟล็กซ์เจอร์	MPa (RT 4 จุด)	415
โมดูลัสของยัง	เกรดเฉลี่ย (โค้ง 4 พอยต์, 1300°C)	430
การขยายความร้อน (C.T.E)	10-6K-1	4.5
การนำความร้อน	(W/mK)	300

คุณสมบัติของ Susceptor Barrel เคลือบ SiC

- ทั้งสารตั้งต้นกราไฟท์และชั้นซิลิคอนคาร์ไบด์มีความหนาแน่นที่ดีและสามารถมีบทบาทในการป้องกันที่ดีในสภาพแวดล้อมการทำงานที่มีอุณหภูมิสูงและกัดกร่อน

- ตัวรับเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ที่ใช้สำหรับการเจริญเติบโตของผลึกเดี่ยวมีความเรียบของพื้นผิวที่สูงมาก

- ลดความแตกต่างของค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนระหว่างพื้นผิวกราไฟท์และชั้นซิลิคอนคาร์ไบด์ ปรับปรุงความแข็งแรงพันธะได้อย่างมีประสิทธิภาพเพื่อป้องกันการแตกร้าวและการหลุดร่อน

- ทั้งซับสเตรตกราไฟท์และชั้นซิลิกอนคาร์ไบด์มีค่าการนำความร้อนสูงและมีคุณสมบัติการกระจายความร้อนที่ดีเยี่ยม

- มีจุดหลอมเหลวสูง ทนต่อการเกิดออกซิเดชันที่อุณหภูมิสูง ทนต่อการกัดกร่อน