แผ่น Epitaxy เคลือบ SiC

แผ่น Epitaxy แบบเคลือบ Semicorex SiC มีข้อได้เปรียบที่ไม่มีใครเทียบได้มากมายภายในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งสามารถอธิบายรายละเอียดเพิ่มเติมได้ดังต่อไปนี้:

ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำ: แผ่น Epitaxy ที่เคลือบ SiC มีค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำอย่างเห็นได้ชัด ซึ่งมีความสำคัญอย่างยิ่งในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ซึ่งความเสถียรของมิติเป็นสิ่งสำคัญ คุณลักษณะนี้ช่วยให้แน่ใจว่าแผ่น Epitaxy ที่เคลือบ SiC มีการขยายตัวหรือการหดตัวน้อยที่สุดภายใต้การเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิ โดยคงความสมบูรณ์ของโครงสร้างเซมิคอนดักเตอร์ในระหว่างกระบวนการที่อุณหภูมิสูง

ความต้านทานออกซิเดชันที่อุณหภูมิสูง: ออกแบบมาให้มีความต้านทานต่อออกซิเดชันที่โดดเด่น แผ่น Epitaxy เคลือบ SiC นี้ยังคงความสมบูรณ์ของโครงสร้างที่อุณหภูมิสูง ทำให้เป็นส่วนประกอบที่เหมาะสำหรับการใช้งานภายในกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ที่อุณหภูมิสูงซึ่งเสถียรภาพทางความร้อนเป็นสิ่งสำคัญ

พื้นผิวหนาแน่นและมีรูพรุนละเอียด: พื้นผิวของแผ่น Epitaxy ที่เคลือบด้วย SiC มีลักษณะพิเศษคือความหนาแน่นและความพรุนละเอียด ซึ่งให้พื้นผิวที่เหมาะสมที่สุดสำหรับการยึดติดการเคลือบต่างๆ และรับประกันการกำจัดวัสดุอย่างมีประสิทธิภาพในระหว่างการประมวลผลแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ โดยไม่ทำลายพื้นผิวที่บอบบาง

ความแข็งสูง: การเคลือบช่วยเพิ่มความแข็งในระดับสูงให้กับแผ่นกราไฟท์ ซึ่งทนทานต่อการขีดข่วนและการสึกหรอ จึงช่วยยืดอายุการใช้งานของแผ่น Epitaxy ที่เคลือบ SiC และลดความถี่ในการเปลี่ยนในสภาพแวดล้อมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

ความต้านทานต่อกรด เบส เกลือ และรีเอเจนต์อินทรีย์: การเคลือบ CVD SiC ของ SiC เคลือบ Epitaxy Disc ให้ความต้านทานที่ดีเยี่ยมต่อสารกัดกร่อนหลากหลายชนิด รวมถึงกรด เบส เกลือ และรีเอเจนต์อินทรีย์ ทำให้เหมาะสำหรับใช้ในสภาพแวดล้อมที่ การสัมผัสสารเคมีเป็นเรื่องที่น่ากังวล จึงช่วยเพิ่มความน่าเชื่อถือและอายุการใช้งานของอุปกรณ์

ชั้นพื้นผิว Beta-SiC: ชั้นพื้นผิว SIC (ซิลิคอนคาร์ไบด์) ของ SiC Coated Epitaxy Disc ประกอบด้วย beta-SiC ซึ่งมีโครงสร้างผลึกลูกบาศก์ (FCC) เป็นศูนย์กลางที่ใบหน้า โครงสร้างผลึกนี้มีส่วนช่วยให้การเคลือบมีคุณสมบัติทางกลและทางความร้อนที่โดดเด่น โดยให้ความแข็งแรงและการนำความร้อนที่เหนือกว่าไปยังจาน ซึ่งจำเป็นสำหรับอุปกรณ์การประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์