หลอดกระบวนการ SiC

หลอดกระบวนการ Semicorex SiC เป็นส่วนประกอบโครงสร้างที่สำคัญในการเกิดออกซิเดชัน การแพร่กระจาย RTA/RTP ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดยทั่วไปจะเป็นท่อที่มีเส้นผ่านศูนย์กลางขนาดใหญ่เป็นพื้นที่เตาปฏิกรณ์ กระบวนการทางเคมีทั้งหมดจะเกิดขึ้นภายใน ดังนั้นความแข็งแกร่งและความต้านทานต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิจึงถือเป็นจุดพื้นฐานสำหรับผลิตภัณฑ์

หลอดกระบวนการ SiC ผลิตโดยซิลิคอนคาร์ไบด์เผาอาจเป็น SiSiC, SSiC หรือ RSiC และการเคลือบ CVD SiC บนพื้นผิว ซึ่งจะสร้างชั้นที่มีความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษ สามารถป้องกันมลพิษด้วยอนุภาค เถ้า ฯลฯ และวัสดุนี้มีความต้านทานการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิที่สูงมาก ดังนั้นท่อกระบวนการ SiC จึงสามารถคงความเสถียรในการทนต่ออุณหภูมิสูง และป้องกันไม่ให้สิ่งสกปรกตกตะกอนออกมาที่อุณหภูมิสูง และสร้างมลพิษต่อสิ่งแวดล้อม

หลอดกระบวนการ SiC นี้ได้รับการออกแบบมาเพื่อใช้ในบรรยากาศที่มีก๊าซรีแอคทีฟ (ออกซิเจน) ก๊าซป้องกัน (ไนโตรเจน) และก๊าซไฮโดรเจนคลอไรด์ในปริมาณน้อยที่สุด และให้ความต้านทานต่อสารเคมี ความเสถียรทางความร้อน และความบริสุทธิ์ของวัสดุที่โดดเด่นจนถึง 1250°C หลอดสำหรับกระบวนการ Semicorex SiC ผสมผสานการผลิตการพิมพ์ 3 มิติที่ล้ำสมัยเข้ากับการเคลือบด้วยสารเคมี (CVD) เพื่อมอบประสิทธิภาพและอายุการใช้งานที่เหนือกว่าภายใต้สภาวะความร้อนและสารเคมีที่รุนแรงที่สุด

หลอดสำหรับกระบวนการ Semicorex SiC ผลิตผ่านกระบวนการขึ้นรูปแบบบูรณาการด้วยการพิมพ์ 3 มิติ แทนที่จะเป็นหลอดขึ้นรูปหรือประกอบแบบธรรมดา กระบวนการผลิตนี้ช่วยให้ได้โครงสร้างเซรามิกที่ต่อเนื่องและสม่ำเสมอโดยไม่มีข้อต่อและพื้นที่อ่อนแอ ทำให้เกิดความซับซ้อนและความเที่ยงตรงของมิติในระดับสูง ซึ่งสามารถบรรเทาความเข้มข้นของความเค้นในขณะที่เพิ่มความแข็งแรงเชิงกล นอกจากนี้ โครงสร้างเสาหินยังช่วยปิดผนึกก๊าซธรรมชาติ ลดการปนเปื้อนและการรั่วไหลในระหว่างกระบวนการที่อุณหภูมิสูง

ที่ซิซีของร่างกายเป็นวัสดุที่มีความบริสุทธิ์ต่ำเป็นพิเศษ (< 300 ppm) ซึ่งให้ความบริสุทธิ์ของวัสดุที่ดีเยี่ยมและมีเสถียรภาพสำหรับบรรยากาศที่เกิดปฏิกิริยา นอกจากนี้ ท่อยังเคลือบด้วยชั้นซิลิคอนคาร์ไบด์ CVD (< 5 ppm) เพื่อปรับปรุงความต้านทานการกัดกร่อนและการปกป้องพื้นผิว

Semicorex ให้บริการแบบกำหนดเอง เราสามารถผลิตตามแบบของลูกค้า เพื่อตอบสนองความต้องการข้อมูลจำเพาะที่ต้องการ ดังนั้นหลอดกระบวนการ Semicorex SiC จึงเป็นทางเลือกที่เหมาะสมไม่เพียงแต่สำหรับเตาเผาแนวนอนเท่านั้น แต่ยังเหมาะสำหรับเตาเผาแนวตั้งด้วย