หัวฝักบัว SiC

หัวฝักบัว Semicorex SiC เป็นส่วนประกอบสำคัญในกระบวนการขยายส่วนเยื่อบุผิว ซึ่งออกแบบมาเป็นพิเศษเพื่อเพิ่มความสม่ำเสมอและประสิทธิภาพของการสะสมของฟิล์มบางบนเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ หัวฝักบัว SiC ผลิตจากซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) จำนวนมาก หัวฝักบัว SiC เป็นที่รู้จักในด้านการนำความร้อน ความแข็งแรงเชิงกล และความทนทานต่อสารเคมีเป็นพิเศษ ช่วยให้มั่นใจได้ถึงประสิทธิภาพสูงสุดในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงและมีฤทธิ์กัดกร่อนตามแบบฉบับของเครื่องปฏิกรณ์แบบเอพิแทกเซียล

รูปทรงหัวฝักบัวของหัวฝักบัว SiC ได้รับการออกแบบอย่างพิถีพิถันเพื่อช่วยให้กระจายก๊าซสารตั้งต้นบนพื้นผิวแผ่นเวเฟอร์ได้อย่างทั่วถึง การเจาะรูที่มีความแม่นยำหลายแบบช่วยให้ควบคุมการไหลได้สม่ำเสมอ ซึ่งเป็นสิ่งสำคัญอย่างยิ่งในการบรรลุชั้นเอพิเทแอกเชียลคุณภาพสูงโดยมีความหนาและองค์ประกอบสม่ำเสมอ การออกแบบนี้ช่วยลดปฏิกิริยาเฟสก๊าซและการสร้างอนุภาค ส่งผลให้ได้เวเฟอร์และประสิทธิภาพของอุปกรณ์ที่เหนือกว่า

เหมาะสำหรับใช้ในการวิจัยและการผลิตในปริมาณมาก หัวฝักบัว SiC โดดเด่นด้วยความทนทานและความน่าเชื่อถือ ซึ่งช่วยลดเวลาหยุดทำงานของการบำรุงรักษาและต้นทุนการดำเนินงานได้อย่างมาก ความเข้ากันได้กับกระบวนการเอพิแทกเซียลต่างๆ รวมถึงการตกสะสมไอสารเคมี (CVD) ทำให้ผลิตภัณฑ์นี้เป็นทรัพย์สินที่มีความอเนกประสงค์และทรงคุณค่าในอุตสาหกรรมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์