กระบอกกราไฟท์เคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์

เมื่อพูดถึงการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ถังกราไฟท์เคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ Semicorex เป็นตัวเลือกอันดับต้นๆ สำหรับประสิทธิภาพและความน่าเชื่อถือที่ยอดเยี่ยม การเคลือบ SiC คุณภาพสูงและความหนาแน่นและการนำความร้อนที่เหนือกว่าให้การกระจายความร้อนและการป้องกันที่เหนือกว่าแม้ในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงและมีฤทธิ์กัดกร่อนที่ท้าทายที่สุด

ถังกราไฟท์เคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ของเรารับประกันโปรไฟล์การระบายความร้อนที่สม่ำเสมอ รับประกันรูปแบบการไหลของก๊าซแบบลามินาร์ที่ดีที่สุด ช่วยป้องกันการปนเปื้อนหรือสิ่งเจือปนไม่ให้แพร่กระจายไปยังเวเฟอร์ ทำให้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับใช้ในสภาพแวดล้อมห้องปลอดเชื้อ Semicorex เป็นผู้ผลิตและจำหน่าย SiC Coated Graphite Susceptor ขนาดใหญ่ในประเทศจีน และผลิตภัณฑ์ของเรามีข้อได้เปรียบด้านราคาที่ดี เราหวังเป็นอย่างยิ่งว่าจะได้เป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์

พารามิเตอร์ของกระบอกกราไฟท์เคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์

คุณสมบัติของกระบอกกราไฟท์เคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์

- ทั้งสารตั้งต้นกราไฟท์และชั้นซิลิคอนคาร์ไบด์มีความหนาแน่นที่ดีและสามารถมีบทบาทในการป้องกันที่ดีในสภาพแวดล้อมการทำงานที่มีอุณหภูมิสูงและกัดกร่อน

- ตัวรับเคลือบซิลิคอนคาร์ไบด์ที่ใช้สำหรับการเจริญเติบโตของผลึกเดี่ยวมีความเรียบของพื้นผิวที่สูงมาก

- ลดความแตกต่างของค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนระหว่างพื้นผิวกราไฟท์และชั้นซิลิคอนคาร์ไบด์ ปรับปรุงความแข็งแรงพันธะได้อย่างมีประสิทธิภาพเพื่อป้องกันการแตกร้าวและการหลุดร่อน

- ทั้งซับสเตรตกราไฟท์และชั้นซิลิกอนคาร์ไบด์มีค่าการนำความร้อนสูงและมีคุณสมบัติการกระจายความร้อนที่ดีเยี่ยม

- มีจุดหลอมเหลวสูง ทนต่อการเกิดออกซิเดชันที่อุณหภูมิสูง ทนต่อการกัดกร่อน