Semicorex Silicon Pedestal ซึ่งเป็นส่วนประกอบที่มักถูกมองข้ามแต่มีความสำคัญอย่างยิ่งยวด มีบทบาทสำคัญในการบรรลุผลลัพธ์ที่แม่นยำและทำซ้ำได้ในกระบวนการแพร่และออกซิเดชันของเซมิคอนดักเตอร์ แพลตฟอร์มพิเศษซึ่งเรือซิลิคอนวางอยู่ภายในเตาเผาที่มีอุณหภูมิสูง นำเสนอข้อได้เปรียบที่ไม่เหมือนใครซึ่งมีส่วนโดยตรงในการปรับปรุงความสม่ำเสมอของอุณหภูมิ คุณภาพของเวเฟอร์ที่ดีขึ้น และท้ายที่สุดคือประสิทธิภาพของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ที่เหนือกว่า**
1. ฐาน Semicorex Silicon ช่วยรักษาสภาพแวดล้อมการประมวลผลให้คงที่เพื่อผลลัพธ์ที่เหมาะสมที่สุด:
การสร้างรากฐานที่มั่นคงสำหรับเรือคริสตัล:ฐานซิลิคอนเป็นฐานที่แข็งแกร่งและมีเสถียรภาพทางความร้อนสำหรับเรือซิลิคอนภายในห้องเตาเผาที่มีอุณหภูมิสูง ความเสถียรนี้ช่วยให้แน่ใจว่าเรือจะรักษาตำแหน่งและทิศทางตลอดกระบวนการ ป้องกันการเคลื่อนไหวหรือการเอียงที่ไม่ต้องการซึ่งอาจรบกวนการไหลของก๊าซและลดความสม่ำเสมอของอุณหภูมิ
การเพิ่มความสม่ำเสมอของอุณหภูมิภายในห้องปฏิกิริยา:ด้วยการแยกเรือซิลิคอนออกจากพื้นและผนังเตาหลอมอย่างมีประสิทธิภาพ แท่นซิลิคอนจะลดการสูญเสียความร้อนผ่านการนำความร้อน และส่งเสริมการกระจายอุณหภูมิที่สม่ำเสมอมากขึ้นภายในท่อปฏิกิริยาความร้อน ความสามารถในการจัดการระบายความร้อนที่เพิ่มขึ้นนี้มีความสำคัญอย่างยิ่งต่อการบรรลุโปรไฟล์การแพร่กระจายหรือออกซิเดชันที่สม่ำเสมอและทำซ้ำได้ทั่วทั้งพื้นผิวเวเฟอร์
การเพิ่มประสิทธิภาพฉนวนเพื่อการใช้พลังงานให้เกิดประโยชน์สูงสุด:คุณสมบัติฉนวนกันความร้อนโดยธรรมชาติของฐานซิลิคอนช่วยให้กระบวนการประหยัดพลังงานมากขึ้นโดยการลดการสูญเสียความร้อนสู่สิ่งแวดล้อมโดยรอบ ส่งผลให้รอบการทำความร้อนและความเย็นเร็วขึ้น ลดการใช้พลังงาน และลดต้นทุนการประมวลผลโดยรวมในที่สุด
2. การทำงานร่วมกันของวัสดุเพื่อคุณภาพเวเฟอร์ที่เหนือกว่า:
การจับคู่การขยายตัวทางความร้อนเพื่อลดความเครียดของเวเฟอร์:แท่นซิลิคอนซึ่งประดิษฐ์จากวัสดุซิลิกอนที่มีความบริสุทธิ์สูงแบบเดียวกับตัวเรือและแผ่นเวเฟอร์ มีข้อได้เปรียบที่สำคัญเหนือวัสดุทางเลือก เช่น ควอตซ์หรือซิลิคอนคาร์ไบด์ การทำงานร่วมกันของวัสดุนี้ช่วยให้แน่ใจว่าฐาน เรือ และแผ่นเวเฟอร์จะขยายตัวและหดตัวในอัตราที่เกือบเท่ากันในระหว่างรอบการทำความร้อนและความเย็น ซึ่งช่วยลดความเสี่ยงของความเครียดจากความร้อน การโค้งงอของแผ่นเวเฟอร์ และข้อบกพร่องทางผลึกศาสตร์ที่อาจส่งผลเสียต่อผลผลิตและประสิทธิภาพของอุปกรณ์
การลดการปนเปื้อนและความไม่ตรงกันของ Lattice:การใช้ซิลิคอนที่มีความบริสุทธิ์สูงสำหรับทั้งฐานซิลิคอนและเรือช่วยลดโอกาสที่จะเกิดการปนเปื้อนจากวัสดุที่ไม่เหมือนกัน ช่วยให้มั่นใจได้ถึงสภาพแวดล้อมการประมวลผลที่บริสุทธิ์สำหรับเวเฟอร์ ความเข้ากันได้ของวัสดุนี้ยังช่วยลดความเสี่ยงของความไม่ตรงกันของโครงตาข่ายที่ส่วนต่อประสานของเวเฟอร์โบ๊ต ซึ่งช่วยปรับปรุงคุณภาพของคริสตัลและลดความหนาแน่นของข้อบกพร่องอีกด้วย