แหวนโฟกัสซิลิคอนคาร์ไบด์แข็ง

ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ แหวนโฟกัสซิลิคอนแข็ง Semicorex ทำหน้าที่สำคัญโดยทำหน้าที่เป็นเกราะป้องกัน โดยรักษาความสมบูรณ์ของเวเฟอร์ในระหว่างกระบวนการแกะสลัก การออกแบบทางวิศวกรรมอย่างพิถีพิถันช่วยให้มั่นใจได้ถึงการแกะสลักที่แม่นยำและสม่ำเสมอ จึงอำนวยความสะดวกในการผลิตองค์ประกอบเซมิคอนดักเตอร์ที่ซับซ้อนสูงซึ่งแสดงประสิทธิภาพและความน่าเชื่อถือที่เหนือกว่า

ซิลิคอนคาร์ไบด์เป็นวัสดุที่เลือกใช้สำหรับวงแหวนปรับโฟกัส เนื่องจากมีความทนทานต่อการกัดกร่อนของพลาสมาได้ดีกว่าเมื่อสัมผัสกับพลาสมาภายในห้องปฏิกิริยาสุญญากาศ แหวนโฟกัสโซลิดซิลิคอนคาร์ไบด์มีประสิทธิภาพเหนือกว่าซิลิคอนแบบดั้งเดิมในหลายด้าน ได้แก่:

(1) ความหนาแน่นสูงซึ่งช่วยลดอัตราการแกะสลักให้เหลือน้อยที่สุด

(2) ช่องว่างของแถบที่เหนือกว่าและคุณสมบัติฉนวนที่ดีเยี่ยม

(3) การนำความร้อนที่ดีเยี่ยม ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำ และความต้านทานการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิ

(4) ความยืดหยุ่นสูงควบคู่ไปกับความต้านทานต่อแรงกระแทกทางกลที่ดีเยี่ยม

(5) มีความแข็ง ทนต่อการสึกหรอ และต้านทานการกัดกร่อนที่โดดเด่น

การนำไฟฟ้าและความต้านทานต่อการกัดด้วยไอออนของซิลิคอนคาร์ไบด์นั้นคล้ายกับซิลิคอน ทำให้ Solid Silicon Carbide Focusing Ring เป็นวัสดุที่เหมาะสำหรับการใช้งานนี้

แหวนโฟกัสซิลิคอนคาร์ไบด์ Semicorex ถือเป็นโซลูชันที่ล้ำสมัยในขอบเขตของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดยใช้ประโยชน์จากคุณสมบัติเฉพาะตัวของ CVD SiC เพื่อช่วยให้กระบวนการกัดที่เชื่อถือได้และมีประสิทธิภาพสูง ซึ่งมีส่วนช่วยอย่างมากต่อความก้าวหน้าของเทคโนโลยีเซมิคอนดักเตอร์