ชิ้นส่วนอะไหล่ในการเจริญเติบโตของ Epitaxis

ชิ้นส่วนอะไหล่ Semicorex ในการเติบโตแบบอีพิเทเชียลมีความสำคัญอย่างยิ่ง โดยเฉพาะอย่างยิ่งสำหรับกระบวนการที่เกี่ยวข้องกับการตั้งค่าท่อควอทซ์ ชิ้นส่วนเหล่านี้จำเป็นในการอำนวยความสะดวกในการไหลของก๊าซเพื่อขับเคลื่อนการหมุนฐานถาด และรับประกันการควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำตลอดกระบวนการขยายส่วนเยื่อบุผิว ชิ้นส่วนอะไหล่ Semicorex ในการเติบโตแบบอีพิเทเชียล หรือที่เรียกขานกันว่าครึ่งส่วน ได้รับการออกแบบอย่างพิถีพิถันเพื่อให้ทนทานต่ออุณหภูมิสูงและสภาพแวดล้อมที่มีฤทธิ์กัดกร่อนซึ่งอยู่ในห้องเติบโตแบบอีพิแทกเซียล สร้างขึ้นจากซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) ซึ่งมีเสถียรภาพทางความร้อนและทางเคมีเป็นพิเศษ ทำให้เป็นตัวเลือกที่เหมาะสำหรับการใช้งานที่มีความต้องการสูงเช่นนี้ การใช้ SiC ช่วยให้มั่นใจได้ว่าชิ้นส่วนเหล่านี้สามารถทนต่อสภาวะที่ท้าทายที่สุดได้

ชิ้นส่วนอะไหล่ในการเติบโตแบบอีพิเทเชียลมีลักษณะคล้ายรูปร่างของพระจันทร์เสี้ยว ซึ่งได้รับการออกแบบมาให้พอดีภายในชุดประกอบท่อควอทซ์ โครงสร้างพระจันทร์ครึ่งเสี้ยวที่เป็นเอกลักษณ์ทำให้สามารถใส่และถอดออกจากระบบได้ง่าย ช่วยให้การบำรุงรักษาและขั้นตอนการเปลี่ยนทดแทนมีประสิทธิภาพและแม่นยำ

ชิ้นส่วนอะไหล่ในการเติบโตแบบอีปิเทเชียลมีจุดประสงค์หลายประการ ประการแรก ช่วยในการควบคุมการส่งก๊าซที่จำเป็นสำหรับกระบวนการเจริญเติบโตของเยื่อบุผิว ด้วยการควบคุมอัตราการไหลของก๊าซและการกระจายตัว ช่วยให้มั่นใจได้ถึงการสะสมตัวของวัสดุเซมิคอนดักเตอร์บนพื้นผิวซับสเตรต ซึ่งมีความสำคัญอย่างยิ่งต่อการบรรลุคุณสมบัติของวัสดุและประสิทธิภาพของอุปกรณ์ที่ต้องการ

ชิ้นส่วนอะไหล่ในการเจริญเติบโตแบบอีปิเทเชียลมีส่วนช่วยในการเคลื่อนที่แบบหมุนของฐานถาดภายในห้องการเจริญเติบโต การหมุนนี้ถือเป็นหัวใจสำคัญในการส่งเสริมการกระจายตัวของวัสดุที่สะสมอยู่อย่างสม่ำเสมอ ป้องกันการก่อตัวของความผิดปกติหรือข้อบกพร่องในชั้นเอพิแทกเซียล