ตัวรับสารกึ่งตัวนำ

สร้างขึ้นจากกราไฟท์คุณภาพสูง Susceptor Semiconductor ช่วยให้มั่นใจได้ถึงการนำความร้อนที่เหมาะสมที่สุด โดยให้สภาพแวดล้อมที่มั่นคงและเชื่อถือได้สำหรับกระบวนการเอพิแทกเซียลเวเฟอร์ของคุณ

เซมิคอนดักเตอร์ตัวรับได้รับการเสริมความแข็งแรงด้วยการเคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์ (SiC) ด้วยสารเคมีไอเคมี (CVD) ซึ่งช่วยเพิ่มความทนทานและทนต่ออุณหภูมิที่สูงมาก การเคลือบขั้นสูงนี้รับประกันประสิทธิภาพที่สม่ำเสมอ แม้ในสภาพแวดล้อมของเตาเผาที่มีความต้องการมากที่สุด

การผสมผสานระหว่างกราไฟท์และ CVD SiC ช่วยให้มั่นใจในการกระจายความร้อนที่มีประสิทธิภาพ โดยลดการเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิบนพื้นผิวเวเฟอร์ให้เหลือน้อยที่สุด สิ่งนี้นำไปสู่การเติบโตแบบอีพิเทเชียลที่สม่ำเสมอ ซึ่งท้ายที่สุดแล้วจะเป็นการปรับปรุงคุณภาพและผลผลิตของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ของคุณ

Susceptor Semiconductor ได้รับการออกแบบมาเพื่อบูรณาการเข้ากับระบบเตาเผาต่างๆ ได้อย่างราบรื่น โดยให้ความคล่องตัวและความสามารถในการปรับตัวเข้ากับการตั้งค่าการผลิตที่แตกต่างกัน การออกแบบช่วยให้ติดตั้งง่ายและการทำงานที่เชื่อถือได้ในสภาพแวดล้อมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่หลากหลาย

ออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับกระบวนการเอพิแทกเซียลของเวเฟอร์ เซมิคอนดักเตอร์ตัวรับนี้มีความเป็นเลิศในการบรรทุกเวเฟอร์ภายในเตาเผาอย่างปลอดภัย โครงสร้างที่แข็งแกร่งช่วยให้วางแผ่นเวเฟอร์ได้อย่างปลอดภัย ซึ่งลดความเสี่ยงที่จะเกิดความเสียหายในระหว่างระยะการเจริญเติบโตของเยื่อบุผิว

แกนกราไฟท์ที่ทนทานผสมผสานกับการเคลือบ SiC ไม่เพียงแต่ช่วยเพิ่มประสิทธิภาพเท่านั้น แต่ยังยืดอายุการใช้งานของเซมิคอนดักเตอร์ตัวรับอีกด้วย อายุการใช้งานที่ยาวนานนี้แปลเป็นการประหยัดต้นทุนเมื่อเวลาผ่านไป ทำให้ Susceptor Semiconductor เป็นการลงทุนที่ชาญฉลาดสำหรับโรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์ของคุณ