ซัคเซพเตอร์กับกริด

Semicorex Susceptor with Grid เป็นส่วนประกอบพิเศษที่ใช้ในกระบวนการขยายส่วนนอกของเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ อุปกรณ์ชิ้นสำคัญนี้ได้รับการออกแบบเพื่อพกพาและรองรับเวเฟอร์ในระหว่างการสะสมของวัสดุในระบบการตกสะสมไอของโลหะ-อินทรีย์เคมี (MOCVD) Susceptor with Grid มีบทบาทสำคัญในการรับประกันการเจริญเติบโตของชั้นเอพิแทกเซียลบนเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ที่สม่ำเสมอและควบคุมได้

Susceptor with Grid สร้างขึ้นด้วยวัสดุที่ปรับให้เหมาะกับการใช้งาน ในกรณีนี้ ผลิตจากกราไฟท์เคลือบ MOCVD SiC (ซิลิคอนคาร์ไบด์ที่เคลือบไอสารเคมีโลหะ-อินทรีย์) การเลือกใช้วัสดุนี้มีข้อดีหลายประการ เช่น ทนต่ออุณหภูมิสูง ความคงตัวทางเคมี และการนำความร้อนที่ดีเยี่ยม การเคลือบ SiC บนกราไฟต์ช่วยเพิ่มความทนทานของตัวรับและความต้านทานต่อสภาวะที่ไม่เอื้ออำนวยซึ่งพบในระหว่างกระบวนการเจริญเติบโตของส่วนเยื่อบุผิว

Susceptor ที่มีโครงสร้าง Grid ทำหน้าที่เป็นกลไกสนับสนุนสำหรับเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ ได้รับการออกแบบอย่างมีกลยุทธ์เพื่อยึดแผ่นเวเฟอร์ไว้อย่างแน่นหนา ในขณะเดียวกันก็ช่วยให้ก๊าซไหลได้อย่างมีประสิทธิภาพและการสะสมตัวของวัสดุที่สม่ำเสมอ รูปแบบกริดช่วยกระจายความร้อนและสารตั้งต้นอย่างสม่ำเสมอทั่วทั้งพื้นผิวเวเฟอร์ ซึ่งมีส่วนช่วยในการควบคุมความหนาและองค์ประกอบของชั้นเอพิแทกเซียลได้อย่างแม่นยำ

Semicorex Susceptor with Grid เป็นองค์ประกอบสำคัญในกระบวนการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูง โครงสร้างที่แข็งแกร่งและการออกแบบเฉพาะทางทำให้เป็นเครื่องมือสำคัญในการบรรลุการเติบโตแบบอีพิเทกเซียลคุณภาพสูง ทำให้มั่นใจในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่มีประสิทธิภาพและความน่าเชื่อถือที่เหนือกว่า