แหวนซีลเคลือบ TaC

วงแหวนซีลที่เคลือบด้วย Semicorex TaC แสดงความเฉื่อยที่โดดเด่นต่อก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนหลากหลายชนิดและสารเคมีที่ใช้ในกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ รวมถึงเคมีกัดพลาสม่า (เช่น ฟลูออรีน คลอรีน โบรมีน) สารเจือปน (เช่น โบรอน ฟอสฟอรัส สารหนู) และมีฤทธิ์รุนแรง สารทำความสะอาด ความเฉื่อยนี้ป้องกันการเสื่อมสภาพของซีลและการปนเปื้อนของห้องกระบวนการที่มีความละเอียดอ่อน

และด้วยจุดหลอมเหลวที่สูงกว่า 3,800°C แหวนซีลที่เคลือบด้วย TaC จะรักษาความสมบูรณ์ของโครงสร้างและความแข็งแรงทางกลที่อุณหภูมิที่สูงขึ้นซึ่งพบในระหว่างการประมวลผลเวเฟอร์ ช่วยให้มั่นใจถึงประสิทธิภาพการปิดผนึกที่เชื่อถือได้ในระหว่างกระบวนการหลอม การสะสม และการกัดที่อุณหภูมิสูง

ความแข็งขั้นสุดของแหวนซีลเคลือบ TaC และค่าสัมประสิทธิ์แรงเสียดทานต่ำให้ความทนทานต่อการสึกหรอ รอยขีดข่วน และการขีดข่วนเป็นพิเศษ นี่เป็นสิ่งสำคัญในการใช้งานการซีลแบบไดนามิก ซึ่งการเคลื่อนไหวซ้ำๆ หรือการสัมผัสกับเวเฟอร์และส่วนประกอบอื่นๆ อาจนำไปสู่การสร้างอนุภาคและการซีลล้มเหลว

วงแหวนซีลเคลือบ TaC มีอัตราการปล่อยก๊าซต่ำมาก แม้ในอุณหภูมิที่สูงขึ้น ทำให้เหมาะสำหรับการใช้งานที่มีสุญญากาศสูง สิ่งนี้ทำให้มั่นใจในความบริสุทธิ์ของกระบวนการและป้องกันการสะสมของสิ่งปนเปื้อนที่ไม่พึงประสงค์บนพื้นผิวเวเฟอร์ที่ละเอียดอ่อน

ประโยชน์เฉพาะในการใช้งานเซมิคอนดักเตอร์:

ขยายอายุการใช้งานของซีล:วงแหวนซีลที่เคลือบด้วย TaC ช่วยเพิ่มอายุการใช้งานของซีลได้อย่างมาก โดยให้ความต้านทานที่เหนือกว่าต่อการโจมตีทางเคมี การเสื่อมสภาพจากความร้อน และการสึกหรอทางกล ซึ่งจะช่วยลดความถี่ในการเปลี่ยนซีล ลดเวลาหยุดทำงานและค่าบำรุงรักษา

ปรับปรุงผลผลิตกระบวนการและคุณภาพเวเฟอร์:ลักษณะเฉื่อยของวงแหวนซีลที่เคลือบด้วย TaC ช่วยลดการสร้างอนุภาคและการปนเปื้อนให้เหลือน้อยที่สุด ส่งผลให้ได้ผลผลิตกระบวนการที่สูงขึ้นและคุณภาพของเวเฟอร์ดีขึ้น นี่เป็นสิ่งสำคัญสำหรับการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ประสิทธิภาพสูงที่มีความทนทานต่อข้อบกพร่องที่เข้มงวด

เวลาทำงานและผลผลิตของอุปกรณ์ที่เพิ่มขึ้น:อายุการใช้งานซีลที่ยาวนานขึ้นและข้อกำหนดในการบำรุงรักษาที่ลดลงส่งผลให้เวลาทำงานของอุปกรณ์และประสิทธิภาพโดยรวมเพิ่มขึ้น นี่เป็นสิ่งสำคัญในการเพิ่มผลผลิตให้สูงสุดและตอบสนองความต้องการของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ในปริมาณมาก