ตัวจับยึดคริสตัลเมล็ดพืชที่เคลือบ TaC เป็นส่วนประกอบประสิทธิภาพสูงที่ออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับสภาพแวดล้อมการเจริญเติบโตของวัสดุเซมิคอนดักเตอร์ ในฐานะผู้ผลิตชั้นนำของตัวจับยึดคริสตัลเมล็ดพืชเคลือบ TTaC semicorex นำเสนอโซลูชันส่วนประกอบหลักที่มีประสิทธิภาพในสาขาการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ระดับสูง
สารตั้งต้นของเคลือบแทซีตัวจับคริสตัลเมล็ดพืชมักจะทำจากวัสดุกราไฟท์ ซิลิคอนคาร์ไบด์ หรือวัสดุผสมคาร์บอน/คาร์บอน จากนั้นจึงเคลือบชั้นของ TaC ลงบนพื้นผิวผ่านเทคโนโลยีการสะสมไอสารเคมี (CVD) อุณหภูมิสูงพิเศษขั้นสูง ตัวจับคริสตัลเมล็ดพืชที่เคลือบ TaC ซึ่งประดิษฐ์ขึ้นโดยวิธีการนี้มีความต้านทานการกัดกร่อนที่ดีเยี่ยม มีความแข็งแรงเชิงกลสูง ทนต่ออุณหภูมิสูงได้ดี และมีค่าการนำความร้อนที่มีประสิทธิภาพ
ฟังก์ชั่นของตัวยึดคริสตัลเมล็ดเคลือบ TaC
1. ฟังก์ชั่นการสนับสนุน
ตัวจับคริสตัลเมล็ดพืชเคลือบ TaC ของ Semicorex มอบแพลตฟอร์มรองรับที่มั่นคงสำหรับคริสตัลเมล็ดพืช รับประกันว่าคริสตัลเมล็ดพืชจะรักษาตำแหน่งคงที่ภายใต้สภาวะที่ท้าทาย เช่น อุณหภูมิสูงและสุญญากาศสูง วิธีนี้สามารถป้องกันปัญหาต่างๆ เช่น การเคลื่อนตัวของคริสตัลหรือความเสียหายจากการสั่นสะเทือนและการไหลของอากาศได้อย่างมีประสิทธิภาพ และช่วยรับประกันความต่อเนื่องและความเสถียรของการเติบโตของคริสตัล
2. ผลการป้องกัน
ตัวจับยึดคริสตัลเมล็ดเคลือบ TaC ติดตั้งอยู่เหนือฝาเบ้าหลอมกราไฟท์ และแยกฝากราไฟท์ออกจากไอ Si ที่มีอุณหภูมิสูง วิธีนี้สามารถหลีกเลี่ยงการกัดกร่อนที่เกิดจากไอได้อย่างมีประสิทธิภาพและยืดอายุการใช้งานของฝากราไฟท์ นอกจากนี้ ความเสถียรทางเคมีโดยธรรมชาติและความต้านทานต่ออุณหภูมิความร้อนของการเคลือบ TaC ยังช่วยลดการนำสิ่งเจือปนเข้าไป ทำให้เกิดสภาพแวดล้อมที่มั่นคงและสะอาดสำหรับการเจริญเติบโตของผลึกเมล็ด
3. การควบคุมอุณหภูมิ
ตัวจับยึดคริสตัลเมล็ดเคลือบ Semicorex TaC ใช้เทคนิคการผลิตที่เป็นแนวหน้าของอุตสาหกรรม การควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำของสนามความร้อนสามารถทำได้โดยการปรับรูปร่าง ขนาด และความหนาของชั้นเคลือบให้เหมาะสมอย่างเชี่ยวชาญ สิ่งนี้จะช่วยลดอัตราข้อบกพร่องได้อย่างมากและส่งเสริมการเติบโตของผลึกที่สม่ำเสมออย่างมีประสิทธิภาพ