ตัวรับเคลือบ TaC

Semicorex TaC Coated Susceptor ทำจากวัสดุฐานกราไฟท์ เคลือบด้วยแทนทาลัมคาร์ไบด์ (TaC) เพื่อเพิ่มประสิทธิภาพและความทนทาน

แทนทาลัมคาร์ไบด์มีเสถียรภาพทางความร้อนเป็นพิเศษ ช่วยให้ตัวรับเคลือบ TaC สามารถทนต่ออุณหภูมิที่สูงมากซึ่งมักพบในกระบวนการต่างๆ เช่น การสะสมไอสารเคมี (CVD) และการสะสมไอทางกายภาพ (PVD) และการเคลือบ TaC ให้ความต้านทานที่เหนือกว่าต่อปฏิกิริยาเคมี ออกซิเดชัน และการกัดกร่อน ซึ่งเป็นสิ่งสำคัญสำหรับการรักษาความสมบูรณ์และประสิทธิภาพในสภาพแวดล้อมทางเคมีที่รุนแรง

คุณสมบัติทางความร้อนที่สม่ำเสมอและเสถียรของ TaC Coated Susceptor ช่วยปรับปรุงความสม่ำเสมอและคุณภาพของกระบวนการที่ใช้ ส่งผลให้ได้ผลผลิตและประสิทธิภาพที่ดีขึ้นในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

ในขณะเดียวกัน การใช้ TaC ของ TaC Coated Susceptor ช่วยลดความเสี่ยงของการปนเปื้อนในกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งมีความสำคัญอย่างยิ่งต่อการผลิตชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ที่มีความบริสุทธิ์สูงและปราศจากข้อบกพร่อง

การใช้งานของ Susceptor เคลือบ TaC:

การผลิตเซมิคอนดักเตอร์: ใช้ในกระบวนการ CVD และ PVD เพื่อสะสมฟิล์มบางและชั้นเอพิแทกเซียลบนเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์

การผลิต LED: ใช้ในการผลิตไดโอดเปล่งแสง (LED) ที่ต้องการสภาวะความร้อนที่แม่นยำและเสถียร

การผลิตเซลล์แสงอาทิตย์: ใช้ในการผลิตเซลล์แสงอาทิตย์เพื่อเพิ่มประสิทธิภาพและความน่าเชื่อถือ

Semicorex TaC Coated Susceptor มีความสำคัญอย่างยิ่งในกระบวนการผลิตขั้นสูงที่ต้องการความเสถียรทางความร้อน ทนต่อสารเคมี และความทนทานสูง การใช้งานช่วยให้มั่นใจได้ถึงประสิทธิภาพ อายุการใช้งานที่ยาวนาน และคุณภาพของผลิตภัณฑ์ในอุตสาหกรรมเทคโนโลยีขั้นสูง