ท่อเคลือบ TaC

พลังของท่อเคลือบ Semicorex TaC อยู่ที่การผสมผสานการทำงานร่วมกันของวัสดุฐานและการเคลือบแบบพิเศษ:

มูลนิธิไอโซโทรปิกกราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูง:แกนกลางของท่อเคลือบ TaC ถูกสร้างขึ้นจากไอโซโทรปิกกราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษ ซึ่งมีชื่อเสียงในด้านการนำความร้อนที่ดีเยี่ยม การขยายตัวทางความร้อนต่ำ และความต้านทานต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างฉับพลัน รากฐานนี้เป็นแพลตฟอร์มที่แข็งแกร่งและมีเสถียรภาพ ซึ่งสามารถทนต่อความผันผวนของอุณหภูมิอย่างรวดเร็วและลักษณะโหลดความร้อนสูงของการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์

แทนทาลัมคาร์ไบด์-โล่แห่งความทนทานและความเฉื่อย:การเคลือบ TaC ที่ใช้ CVD จะเปลี่ยนซับสเตรตกราไฟท์ ให้มีความแข็ง ทนทานต่อการสึกหรอ และความเฉื่อยทางเคมีเป็นพิเศษ ชั้นป้องกันนี้ทำหน้าที่เป็นเกราะป้องกันก๊าซที่รุนแรง พลาสมา และชนิดที่เกิดปฏิกิริยาซึ่งพบในระหว่างการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ช่วยให้มั่นใจในความสมบูรณ์ของโครงสร้างของท่อและอายุการใช้งานที่ยาวนาน

การผสมผสานวัสดุที่เป็นเอกลักษณ์นี้ทำให้เกิดข้อได้เปรียบหลายประการที่สำคัญสำหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูง:

ทนต่ออุณหภูมิที่ไม่มีใครเทียบได้:TaC มีจุดหลอมเหลวที่สูงที่สุดแห่งหนึ่งในบรรดาวัสดุที่รู้จักกันดี เหนือกว่าแม้แต่ซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) การทนต่ออุณหภูมิที่สูงเป็นพิเศษนี้ช่วยให้ท่อเคลือบ TaC ทำงานได้อย่างน่าเชื่อถือในกระบวนการที่ต้องการอุณหภูมิเกิน 2,500°C ช่วยให้สามารถผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ยุคใหม่ที่มีงบประมาณด้านความร้อนที่ต้องการ

ความบริสุทธิ์สูงเป็นพิเศษสำหรับการควบคุมกระบวนการที่สำคัญ:การรักษาสภาพแวดล้อมของกระบวนการที่บริสุทธิ์เป็นสิ่งสำคัญยิ่งในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การใช้กราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูงและกระบวนการเคลือบ CVD ที่พิถีพิถันทำให้มั่นใจได้ว่ามีการปล่อยก๊าซหรือการเกิดอนุภาคน้อยที่สุดจากท่อเคลือบ TaC ซึ่งป้องกันการปนเปื้อนที่อาจส่งผลต่อพื้นผิวเวเฟอร์ที่ละเอียดอ่อนและประสิทธิภาพของอุปกรณ์

ทนทานต่อสารเคมีอย่างต่อเนื่อง:ความเฉื่อยทางเคมีของท่อเคลือบ TaC ให้ความต้านทานที่ยอดเยี่ยมต่อก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อน ไอออนที่เกิดปฏิกิริยา และสภาพแวดล้อมพลาสมาหลากหลายชนิดที่ใช้กันทั่วไปในกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ เช่น การกัด การสะสม และการหลอม ความเสถียรทางเคมีที่แข็งแกร่งนี้ส่งผลให้ท่อมีอายุการใช้งานยาวนานขึ้น ลดความต้องการในการบำรุงรักษา และต้นทุนโดยรวมในการเป็นเจ้าของลดลง

ความทนทานทางกลที่เพิ่มขึ้นเพื่ออายุการใช้งานที่ยาวนานขึ้น:แรงยึดเหนี่ยวที่แข็งแกร่งระหว่างการเคลือบ TaC และซับสเตรตของกราไฟท์ ควบคู่ไปกับความแข็งโดยธรรมชาติของท่อเคลือบ TaC ให้ความต้านทานต่อการสึกหรอ การกัดเซาะ และความเค้นเชิงกลที่ยอดเยี่ยม ความทนทานที่เพิ่มขึ้นนี้ส่งผลให้มีอายุการใช้งานยาวนานขึ้น และลดการหยุดทำงานเพื่อทดแทน ปรับปรุงประสิทธิภาพของกระบวนการและปริมาณงาน