กราไฟท์ที่เคลือบ TaC สร้างขึ้นโดยการเคลือบพื้นผิวของซับสเตรตของกราไฟท์ที่มีความบริสุทธิ์สูงด้วยชั้นละเอียดของแทนทาลัมคาร์ไบด์โดยกระบวนการตกตะกอนด้วยไอสารเคมี (CVD) ที่เป็นกรรมสิทธิ์
แทนทาลัมคาร์ไบด์ (TaC) เป็นสารประกอบที่ประกอบด้วยแทนทาลัมและคาร์บอน มีค่าการนำไฟฟ้าของโลหะและมีจุดหลอมเหลวสูงเป็นพิเศษ ทำให้เป็นวัสดุเซรามิกทนไฟที่ขึ้นชื่อเรื่องความแข็งแรง ความแข็ง ความร้อนและความต้านทานการสึกหรอ จุดหลอมเหลวของแทนทาลัมคาร์ไบด์จะมีจุดสูงสุดที่ประมาณ 3880°C ขึ้นอยู่กับความบริสุทธิ์ และมีจุดหลอมเหลวที่สูงที่สุดจุดหนึ่งในบรรดาสารประกอบไบนารี ทำให้เป็นทางเลือกที่น่าสนใจเมื่อความต้องการอุณหภูมิสูงเกินขีดความสามารถที่ใช้ในกระบวนการ epitaxx ของเซมิคอนดักเตอร์ผสม เช่น MOCVD และ LPE
ข้อมูลวัสดุของการเคลือบ Semicorex TaC
โครงการ |
พารามิเตอร์ |
ความหนาแน่น |
14.3 (กรัม/ซม.) |
การแผ่รังสี |
0.3 |
ซีทีอี (×10-6/เค) |
6.3 |
ความแข็ง (ฮ่องกง) |
2000 |
ความต้านทาน (โอห์ม-ซม.) |
1×10-5 |
เสถียรภาพทางความร้อน |
<2500 ℃ |
การเปลี่ยนแปลงขนาดกราไฟท์ |
-10~-20um (ค่าอ้างอิง) |
ความหนาของการเคลือบ |
≥20umค่าทั่วไป (35um ± 10um) |
|
|
ข้างต้นเป็นค่าทั่วไป |
|
Semicorex MOCVD Susceptor พร้อมการเคลือบ TaC เป็นส่วนประกอบล้ำสมัยที่ประดิษฐ์ขึ้นอย่างพิถีพิถันเพื่อประสิทธิภาพสูงสุดในกระบวนการเอพิแทกซีของเซมิคอนดักเตอร์ภายในระบบ MOCVD Semicorex มีความมุ่งมั่นอย่างแน่วแน่ในการนำเสนอผลิตภัณฑ์ที่เหนือกว่าในราคาที่มีการแข่งขันสูง เรากระตือรือร้นที่จะสร้างความร่วมมือที่ยั่งยืนกับคุณในประเทศจีน*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามวงแหวนเคลือบ TaC Semicorex CVD ถือเป็นส่วนประกอบสำคัญในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งเป็นสัญลักษณ์ของจุดสุดยอดของวิศวกรรมวัสดุสมัยใหม่ สร้างขึ้นเพื่อการใช้งานในสภาพแวดล้อมที่เข้มงวดที่สุด ซึ่งความแม่นยำและความน่าเชื่อถือเป็นอันดับหนึ่ง วงแหวนนี้ผสมผสานเทคนิคการเคลือบล้ำสมัยเข้ากับวัสดุศาสตร์ที่ยืดหยุ่นได้ Semicorex นำเสนอผลิตภัณฑ์ชั้นนำในราคาที่แข่งขันได้ และเราหวังเป็นอย่างยิ่งว่าจะได้สร้างความร่วมมือที่ยาวนานกับคุณในประเทศจีน*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามSemicorex TaC Coated Planetary Susceptor เป็นส่วนประกอบเฉพาะทางสูงที่ออกแบบมาเพื่อใช้ในกระบวนการเอพิแทกเซียลของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ Semicorex มุ่งมั่นที่จะนำเสนอผลิตภัณฑ์คุณภาพสูงในราคาที่แข่งขันได้ เรากระตือรือร้นที่จะสร้างความร่วมมือระยะยาวกับคุณในประเทศจีน*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามแหวนนำการเคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ Semicorex เป็นส่วนประกอบขั้นสูงที่ออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ โดยมีบทบาทสำคัญในการเติบโตของผลึกซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) ผลิตภัณฑ์นี้ได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมเพื่อตอบสนองความต้องการที่เข้มงวดของสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงและความเครียดสูงซึ่งอยู่ในกระบวนการเจริญเติบโตของผลึกเซมิคอนดักเตอร์ Semicorex มุ่งมั่นที่จะนำเสนอผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพในราคาที่แข่งขันได้ เราหวังว่าจะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามเบ้าหลอมกราไฟท์เคลือบแทนทาลัมคาร์ไบด์ Semicorex เป็นส่วนประกอบเฉพาะที่ออกแบบมาเพื่อใช้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ โดยเฉพาะอย่างยิ่งในการเจริญเติบโตของผลึกซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) ถ้วยใส่ตัวอย่างประสิทธิภาพสูงนี้โดดเด่นด้วยองค์ประกอบของวัสดุและการออกแบบโครงสร้างที่เป็นเอกลักษณ์ ทำให้เป็นเครื่องมือที่ขาดไม่ได้ในกระบวนการเติบโตของคริสตัลขั้นสูง Semicorex มุ่งมั่นที่จะนำเสนอผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพในราคาที่แข่งขันได้ เราหวังว่าจะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถามSemicorex Tantalum Carbide Crucible เป็นส่วนประกอบสำคัญในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับการเติบโตของผลึกซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) Semicorex มุ่งมั่นที่จะนำเสนอผลิตภัณฑ์ที่มีคุณภาพในราคาที่แข่งขันได้ เราหวังว่าจะเป็นพันธมิตรระยะยาวของคุณในประเทศจีน*
อ่านเพิ่มเติมส่งคำถาม