เบ้าหลอมแทนทาลัมคาร์ไบด์

ถ้วยใส่ตัวอย่างแทนทาลัมคาร์ไบด์ Semicorex สร้างขึ้นอย่างพิถีพิถันจากกราไฟท์ ซึ่งถูกเคลือบด้วยแทนทาลัมคาร์ไบด์ (TaC) ซึ่งเป็นส่วนผสมที่ให้ประสิทธิภาพที่เหนือกว่าในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงและมีความต้องการทางเคมีของการเติบโตของผลึก SiC

แทนทาลัมคาร์ไบด์เป็นวัสดุเซรามิกทนไฟที่ขึ้นชื่อเรื่องความแข็ง ทนต่อสารเคมี และความสามารถในการรักษาความสมบูรณ์ของโครงสร้างที่อุณหภูมิสูงมาก ด้วยการเคลือบเบ้าหลอมกราไฟท์ด้วย TaC เบ้าหลอมแทนทาลัมคาร์ไบด์จึงสืบทอดคุณสมบัติที่เป็นประโยชน์เหล่านี้ ซึ่งช่วยเพิ่มประสิทธิภาพและอายุการใช้งานได้อย่างมาก การเคลือบ TaC ทำหน้าที่เป็นเกราะป้องกัน ป้องกันไม่ให้กราไฟท์ทำปฏิกิริยากับวัสดุ SiC หรือก๊าซอื่นๆ ที่มีอยู่ในระหว่างกระบวนการเติบโต เพื่อให้แน่ใจว่าถ้วยใส่ตัวอย่างจะรักษาความสมบูรณ์และไม่ก่อให้เกิดสิ่งปนเปื้อนใดๆ ที่อาจส่งผลต่อคุณภาพของผลึก SiC

เบ้าหลอมแทนทาลัมคาร์ไบด์มีความสามารถในการทำงานที่อุณหภูมิสูงซึ่งจำเป็นสำหรับการเติบโตของผลึก SiC โดยทั่วไปแล้ว ผลึก SiC จะเติบโตที่อุณหภูมิเกิน 2000°C และการรักษาอุณหภูมิสูงดังกล่าวอย่างสม่ำเสมอถือเป็นสิ่งสำคัญสำหรับการผลิตผลึกคุณภาพสูง ถ้วยใส่ตัวอย่างกราไฟท์เคลือบ TaC สามารถทนต่อสภาวะที่รุนแรงเหล่านี้ได้โดยไม่เปลี่ยนรูปหรือลดคุณภาพ ทำให้มีสภาพแวดล้อมที่มั่นคงสำหรับกระบวนการเติบโตของผลึก ความเสถียรนี้จำเป็นสำหรับการบรรลุขนาดคริสตัล ความบริสุทธิ์ และคุณสมบัติทางโครงสร้างที่ต้องการสำหรับการใช้งานเซมิคอนดักเตอร์

ถ้วยใส่ตัวอย่างแทนทาลัมคาร์ไบด์มีความทนทานต่อสารเคมีสูง จึงมีความจำเป็นต่อการเติบโตของผลึก SiC ตลอดกระบวนการเจริญเติบโต ก๊าซและสายพันธุ์ที่เกิดปฏิกิริยาต่างๆ ถูกนำมาใช้เพื่อช่วยในการก่อตัวของผลึก SiC สภาพแวดล้อมเหล่านี้มีฤทธิ์กัดกร่อนสูง ทำให้เกิดความเสี่ยงต่อความสมบูรณ์ของโครงสร้างของถ้วยใส่ตัวอย่าง การเคลือบ TaC ปกป้องกราไฟท์จากองค์ประกอบที่มีฤทธิ์กัดกร่อนเหล่านี้ได้อย่างมีประสิทธิภาพ ทำให้มั่นใจได้ว่าเบ้าหลอมยังคงสภาพเดิมและทำงานได้ในระหว่างกระบวนการ การต้านทานต่อสารเคมีนี้ไม่เพียงแต่ช่วยยืดอายุของถ้วยใส่ตัวอย่างเท่านั้น แต่ยังช่วยเพิ่มประสิทธิภาพโดยรวมและความคุ้มค่าของการดำเนินการการเติบโตของคริสตัลอีกด้วย