เทปเทฟลอน

เทปคาสเซ็ตเซมิคอร์เทฟลอนเป็นผู้ให้บริการเวเฟอร์ประสิทธิภาพสูงที่ออกแบบมาโดยเฉพาะเพื่อใช้ในสภาพแวดล้อมทางเคมีที่มีความบริสุทธิ์ความต้านทานทางเคมีและความเสถียรทางความร้อนเป็นสิ่งจำเป็น ทำจาก polytetrafluoroethylene (PTFE) ที่มีความบริสุทธิ์สูงเทปเหล่านี้ใช้กันอย่างแพร่หลายในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์การแกะสลักแบบเปียกการทำความสะอาดสารเคมีและการใช้งานอื่น ๆ ที่การสัมผัสกับสารเคมีที่ก้าวร้าวสูงเป็นประจำ ธรรมชาติที่ไม่ทำปฏิกิริยาของพวกเขาทำให้พวกเขาเหมาะสำหรับการจัดการพื้นผิวที่ละเอียดอ่อนเช่นเวเฟอร์ซิลิคอนแผงกระจกและส่วนประกอบที่แม่นยำอื่น ๆ โดยไม่ต้องแนะนำการปนเปื้อนหรืออนุภาคในกระบวนการ

ในกระบวนการต่าง ๆ ของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์เช่นการพิมพ์หินการแกะสลักและการปลูกถ่ายไอออนเทปมีบทบาทในการขนส่งและถ่ายโอนเวเฟอร์ระหว่างอุปกรณ์ต่าง ๆ อุปกรณ์กระบวนการที่แตกต่างกันอาจมีข้อกำหนดส่วนต่อประสานที่แตกต่างกันสำหรับคาสเซ็ตเพื่อให้แน่ใจว่าผู้ให้บริการเวเฟอร์สามารถได้รับและวางอย่างถูกต้อง

จากมุมมองของวัสดุและการออกแบบวัสดุที่ทนความร้อนมีคุณสมบัติเชิงกลที่ยอดเยี่ยมความเสถียรของมิติและมีความทนทานต่อต้านการคงที่, outgassing ต่ำ, การตกตะกอนต่ำและการรีไซเคิลได้โดยทั่วไป ขนาดเวเฟอร์ที่แตกต่างกันโหนดกระบวนการและกระบวนการใช้วัสดุที่แตกต่างกัน วัสดุทั่วไปคือ PFA, PTFE, PP, PEEK, PES, PC, PBT, PEI, COP ฯลฯ

เทปเทฟลอนมีความต้านทานทางเคมีที่เหนือกว่าในสภาพแวดล้อมโดยใช้กรดไฮโดรฟลูออริกกรดไนตริกกรดซัลฟูริกและการกัดกร่อนที่แข็งแกร่งอื่น ๆ ซึ่งแตกต่างจากวัสดุทั่วไปเช่นโพลีโพรพีลีนหรือสแตนเลสสตีล PTFE ไม่ย่อยสลาย; ไม่บวม การชะล้างไม่มีสารในห้องอาบน้ำเคมีที่รุนแรง ดังนั้นประสิทธิภาพจึงรับประกันได้ในระยะเวลานานและด้วยเหตุนี้ความน่าเชื่อถือของเทปสำหรับสายการผลิตที่มีปริมาณงานสูงและสภาพแวดล้อมที่สะอาดเป็นพิเศษ ความทนทานของมันหมายถึงความต้องการการบำรุงรักษาที่ลดลงและความถี่ในการเปลี่ยนซึ่งจะช่วยลดต้นทุนการดำเนินงานระยะยาว

เทปเทฟลอนแสดงให้เห็นถึงความเสถียรทางความร้อนที่สูงมาก พวกเขาสามารถทนต่ออุณหภูมิได้อย่างง่ายดายตั้งแต่ -200 ° C ถึง +260 ° C สามารถใช้ได้กับ cryogenic และกระบวนการอุณหภูมิสูง แม้จะอยู่ในห้องอบแห้งที่ร้อนหรืออ่างอาบน้ำสารเคมีเย็นเทปก็ไม่สูญเสียความแข็งแรงของโครงสร้าง พวกเขาไม่ได้บิดเบี้ยวหรือแตกมั่นใจว่าเวเฟอร์จะยังคงอยู่ในระหว่างการประมวลผลอย่างปลอดภัย ความยืดหยุ่นของอุณหภูมินี้มีส่วนช่วยในการควบคุมกระบวนการและความสม่ำเสมอซึ่งมีความสำคัญต่อการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และ MEMS

ลักษณะที่สำคัญเท่าเทียมกันของเทปเทฟลอนคือพื้นผิวที่เฉื่อยชาและไม่ติด PTFE โดยเนื้อแท้ไม่อนุญาตให้ดูดซับอนุภาคและสารเคมีตกค้างดังนั้นจึงช่วยลดความเสี่ยงของการปนเปื้อนในสภาพแวดล้อมที่สะอาด สิ่งนี้จะต้องควบคู่ไปกับพื้นผิวที่เรียบเนียนที่ช่วยให้การล้างง่ายและแห้งเร็วดังนั้นผลลัพธ์ที่สะอาดขึ้นและเวลารอบที่เร็วขึ้น ในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ซึ่งอาจเกิดข้อบกพร่องที่เกิดจากการปนเปื้อนด้วยกล้องจุลทรรศน์ความสะอาดและความเฉื่อยชาของสารเคมีนี้เป็นสิ่งจำเป็น

แต่ละคาสเซ็ตนั้นทำขึ้นอย่างแม่นยำเพื่อความคลาดเคลื่อนที่มีขนาดแน่นรับประกันการจัดตำแหน่งเวเฟอร์และระยะห่างที่มั่นคงในขณะที่ถูกย้ายและวางในของเหลว รูปแบบที่ออกแบบมาอย่างง่ายดายช่วยให้การไหลของสารเคมีและการระบายน้ำอย่างรวดเร็วซึ่งเพิ่มอัตราการแลกเปลี่ยนทางเคมีและปรับปรุงการทำความสะอาดหรือการแกะสลักสม่ำเสมอบนพื้นผิวเวเฟอร์  คาสเซ็ตมีขนาดมาตรฐานสำหรับเวเฟอร์ขนาด 4 นิ้ว 6 นิ้วและ 8 นิ้วพร้อมตัวเลือกการปรับแต่งที่มีให้พอดีกับขนาดของสารตั้งต้นเฉพาะจำนวนสล็อตและข้อกำหนดในการจัดการ

ออกแบบมาสำหรับความเข้ากันได้กับม้านั่งเปียกอัตโนมัติและระบบการจัดการเวเฟอร์หุ่นยนต์เทฟลอนเทปรวมเข้ากับการตั้งค่าการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ส่วนใหญ่ได้อย่างง่ายดาย การก่อสร้างที่แข็งแกร่งและเสร็จสิ้นเกรดสะอาดตามความต้องการที่เข้มงวดของสภาพแวดล้อมที่ได้รับการรับรองจาก ISO คาสเซ็ตทั้งหมดได้รับการตรวจสอบอย่างละเอียดและได้รับการทำความสะอาดล่วงหน้าในน้ำบริสุทธิ์เพื่อให้เป็นไปตามมาตรฐานความสะอาดที่จำเป็นสำหรับการผลิตไมโครอิเล็กทรอนิกส์ขั้นสูง ใบรับรองความสอดคล้องและการตรวจสอบย้อนกลับของวัสดุเต็มรูปแบบสามารถให้เพื่อให้แน่ใจว่าสอดคล้องกับโปรโตคอลการประกันคุณภาพ