โถระฆังควอทซ์ 15"

Semicorex 15" Quartz Bell Jar ได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมมาเพื่อตอบสนองความท้าทายเหล่านี้ โดยมอบโซลูชันประสิทธิภาพสูงสำหรับการประมวลผลเป็นชุดระดับกลางถึงใหญ่ โดยที่ความสม่ำเสมอทางความร้อนและความบริสุทธิ์ของวัสดุเป็นสิ่งสำคัญสำหรับการเพิ่มผลผลิตสูงสุด ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และฟิล์มบาง ความสมบูรณ์ของห้องกระบวนการเป็นสิ่งสำคัญยิ่ง เมื่อขนาดเวเฟอร์เพิ่มขึ้นและโหนดหดตัว ข้อกำหนดสำหรับสภาพแวดล้อมที่สะอาด เสถียร และเฉื่อยทางเคมีจึงไม่สามารถต่อรองได้

1. วัสดุศาสตร์: ความบริสุทธิ์ของซิลิกาผสม

ฐานโถระฆังของเรามีความบริสุทธิ์สูงซิลิกาหลอมละลาย (ควอตซ์). ควอตซ์ประกอบด้วย SiO2 เกือบทั้งหมดซึ่งต่างจากแก้วมาตรฐาน โดยให้คุณสมบัติเฉพาะตัวที่มีความสำคัญต่อการผลิตเซมิคอนดักเตอร์:

การปนเปื้อนต่ำมาก: ควอตซ์ของเราได้รับการประมวลผลเพื่อลดธาตุโลหะ (เช่น Al, Fe, Na และ K) ให้เหลือระดับส่วนต่อพันล้าน (ppb) วิธีนี้จะช่วยป้องกันการแพร่กระจายของสิ่งเจือปนลงในแผ่นเวเฟอร์ระหว่างรอบที่อุณหภูมิสูง ช่วยให้มั่นใจในความสมบูรณ์ทางไฟฟ้าของอุปกรณ์

ความต้านทานแรงกระแทกจากความร้อนที่เหนือกว่า: ควอตซ์มีค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน (CTE) ใกล้ศูนย์ ซึ่งช่วยให้ขวดควอตซ์เบลล์ขนาด 15 นิ้วทนทานต่อการเพิ่มอุณหภูมิและการดับอย่างรวดเร็วโดยไม่เสี่ยงต่อการแตกหักหรือความล้าของโครงสร้าง ซึ่งเป็นข้อกำหนดที่สำคัญสำหรับเครื่องปฏิกรณ์ที่มีปริมาณงานสูง

ความเฉื่อยทางเคมีที่ดีเยี่ยม: ควอตซ์มีความทนทานสูงต่อกรดส่วนใหญ่ (ยกเว้นกรดไฮโดรฟลูออริก) และก๊าซในกระบวนการที่มีฤทธิ์กัดกร่อน ทำให้มั่นใจได้ว่าห้องเพาะเลี้ยงจะไม่สลายตัวหรือปล่อยแก๊สออกมาในระหว่างการกัดหรือการสะสมที่รุนแรง

2. วิศวกรรมที่แม่นยำและความชัดเจนทางแสง

ขวดโหลแบบควอตซ์ขนาด 15 นิ้วให้ปริมาตรสูงสุดและการไหลของแก๊สที่เหมาะสมที่สุดสำหรับวัตถุประสงค์ในการประมวลผลแผ่นเวเฟอร์เป็นชุด ขวดโหลมีปล่องไฟแนวตั้ง (หรือที่เรียกว่าส่วนคอ) ที่ได้รับการออกแบบมาอย่างเหมาะสมเพื่อให้เป็นทางเข้าสำหรับก๊าซหรือช่วยในการแยกก๊าซผ่านสุญญากาศออกจากขวด ซึ่งแสดงไว้ในภาพด้านบน

ความโปร่งใสของแสง - ระดับการส่งสัญญาณระดับสูงวัสดุควอตซ์เพื่อปล่อยความยาวคลื่นในบริเวณอัลตราไวโอเลต ที่มองเห็นได้ และอินฟราเรดของสเปกตรัม ช่วยให้สามารถประมวลผลแบบเรียลไทม์ได้ เช่นเดียวกับการใช้เครื่องทำความร้อนหลอดไฟภายนอกสำหรับการประมวลผลความร้อนอย่างรวดเร็ว (RTP)

พื้นผิวการซีลเสริมแรง - ส่วนคอของโถมีซีลสีขาวทึบแสงที่พัฒนาขึ้นเป็นพิเศษ (หรือเรียกว่าข้อต่อกราวด์) ซึ่งให้ส่วนต่อประสานสุญญากาศ (ปิดผนึกด้วยอากาศ) และสุญญากาศระหว่างแผ่นฐานเครื่องปฏิกรณ์และโถ

การหลอมเพื่อบรรเทาความเครียด - ขวดโหลควอตซ์ขนาด 15 นิ้วทั้งหมดผ่านกระบวนการอบอ่อนด้วยความร้อนอย่างเข้มงวดเพื่อบรรเทาความเครียดทางกลไกภายในที่เกิดขึ้นบนขวดโดยกระบวนการทางกลของการเป่าหรือขึ้นรูปขวด ดังนั้นจึงลดโอกาสที่ขวดจะเสียหายเองได้อย่างมากเมื่อวางไว้ภายใต้ภาระสุญญากาศ

3. การใช้งานที่สำคัญใน Fab เซมิคอนดักเตอร์

ขวดโหลควอตซ์ขนาด 15 นิ้วของเราได้รับการออกแบบมาเป็นพิเศษสำหรับการบูรณาการเข้ากับกระบวนการที่มีมูลค่าสูงดังต่อไปนี้:

Silicon Epitaxy: ให้ภาชนะที่โปร่งใสและไม่ทำปฏิกิริยาสำหรับการปลูกชั้นซิลิคอนผลึกเดี่ยวคุณภาพสูง

Plasma Enhanced CVD (PECVD): ทนต่อสภาพแวดล้อมพลาสมาที่มีฤทธิ์กัดกร่อนในขณะที่ยังคงความเป็นฉนวนสูง

การแพร่กระจายและออกซิเดชัน: ทำหน้าที่เป็นห้องที่สะอาดและมีความร้อนสูงสำหรับการก่อตัวของเกทออกไซด์และสารเจือปนที่ขับเข้าไป

การผลิตพรีฟอร์มใยแก้วนำแสง: เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการสะสมชั้นซิลิกาที่มีความบริสุทธิ์สูงในการผลิตกระจกชนิดพิเศษ

ที่ Semicorex เราจัดการโถระฆังแต่ละใบเสมือนเป็นอุปกรณ์ห้องปฏิบัติการที่มีความแม่นยำ กระบวนการของเราประกอบด้วย: การจัดหาวัสดุที่เข้มงวดด้วยเกรดอิเล็กทรอนิกส์ที่ผ่านการตรวจสอบแล้วควอตซ์แท่ง; การผลิตขั้นสูงที่ผสานทักษะการเป่าแก้วแบบดั้งเดิมเข้ากับการเจียรและขัดเงาที่ควบคุมโดย CNC และการตรวจสอบอย่างละเอียดโดยใช้แสงโพลาไรซ์เพื่อตรวจจับความเค้นตกค้างและเลเซอร์อินเตอร์เฟอโรเมทรีเพื่อการตรวจสอบขนาดที่แม่นยำ