เซมิคอนดักเตอร์ควอตซ์เบลล์โถ

โดยทั่วไปขวดระฆังควอตซ์ Semicorex Semiconductor ผลิตจากควอตซ์ผสมสังเคราะห์ ซึ่งเป็นวัสดุที่มีชื่อเสียงในด้านความบริสุทธิ์เป็นพิเศษ ทนต่ออุณหภูมิสูง และมีคุณสมบัติการขยายตัวเนื่องจากความร้อนต่ำ เพื่อให้แน่ใจว่าห้องเพาะเลี้ยงจะไม่นำสิ่งปนเปื้อนหรือสิ่งเจือปนเข้าสู่กระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

โดยทั่วไปแล้ว Jar ระฆังควอตซ์สำหรับเซมิคอนดักเตอร์จะมีรูปทรงทรงกระบอกหรือโดม โดยมีฐานแบนหรือโค้งเล็กน้อยเพื่อรองรับเวเฟอร์หรือซับสเตรตของเซมิคอนดักเตอร์ มีกลไกการปิดผนึกสุญญากาศที่ได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมอย่างแม่นยำ เช่น หน้าแปลนหรือซีลโอริง เพื่อรักษาบรรยากาศสุญญากาศหรือควบคุมภายในห้องเพาะเลี้ยงระหว่างการประมวลผล

ขวดระฆังควอตซ์เซมิคอนดักเตอร์มอบความชัดเจนทางแสงที่ยอดเยี่ยม ช่วยให้ผู้ปฏิบัติงานสามารถตรวจสอบกระบวนการภายในห้องเพาะเลี้ยงด้วยภาพได้โดยไม่ลดทอนความแม่นยำหรือรบกวน ควอตซ์มีความทนทานสูงต่อการโจมตีทางเคมีจากกรด เบส และตัวทำละลายส่วนใหญ่ที่ใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ สิ่งนี้ทำให้มั่นใจในความสมบูรณ์ของห้องเพาะเลี้ยงและป้องกันการปนเปื้อนของวัสดุพิมพ์

ควอตซ์มีจุดหลอมเหลวสูงและมีเสถียรภาพทางความร้อน ช่วยให้ Semiconductor Quartz Bell Jar สามารถทนต่ออุณหภูมิที่สูงขึ้นซึ่งพบในระหว่างกระบวนการสะสมหรือการหลอมได้โดยไม่เสียรูปหรือการย่อยสลาย

การใช้งาน:

การสะสม: ขวดโหลควอตซ์แบบเซมิคอนดักเตอร์ใช้ในเทคนิคการสะสมต่างๆ เช่น การสะสมไอสารเคมี (CVD) การสะสมไอทางกายภาพ (PVD) และการสะสมชั้นอะตอม (ALD) เพื่อฝากฟิล์มบางของวัสดุลงบนพื้นผิวเซมิคอนดักเตอร์ด้วยความแม่นยำและสม่ำเสมอ

การแกะสลัก: ใช้ในกระบวนการแกะสลักด้วยพลาสมาเพื่อเลือกเอาวัสดุออกจากเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ ทำให้เกิดรูปแบบและโครงสร้างที่ซับซ้อนด้วยความแม่นยำและการทำซ้ำสูง

การหลอม: ขวดโหลถูกนำมาใช้ในกระบวนการหลอมโดยใช้เวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์เพื่อควบคุมการบำบัดด้วยความร้อน อำนวยความสะดวกในการตกผลึก การกระตุ้นสารเจือปน และบรรเทาความเครียดในฟิล์มที่สะสม