ตัวรับเวเฟอร์กราไฟท์ 1x2"

ในการผลิตแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ จำเป็นต้องปลูกชั้นเอปิแทกเซียลบนพื้นผิวเวเฟอร์เพื่อการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ในภายหลัง เนื่องจากกระบวนการเจริญเติบโตของเยื่อบุผิวมีความไวสูงต่อความผันผวนของอุณหภูมิและการปนเปื้อน การเลือกที่เชื่อถือได้ตัวรับเวเฟอร์มีความสำคัญอย่างยิ่ง เนื่องจากชิ้นส่วนรองรับที่ขาดไม่ได้ในกระบวนการเอพิแทกเซียลของเวเฟอร์ ความแม่นยำในการตัดเฉือน ความสามารถในการจัดการความร้อน และประสิทธิภาพการต้านทานการปนเปื้อน จึงเป็นปัจจัยสำคัญในการบรรลุการเติบโตของเอพิแทกเซียลของเวเฟอร์คุณภาพสูง

ฟังก์ชั่นของตัวรับเวเฟอร์กราไฟท์ Semicorex 1x2"

ผลิตจากกราไฟท์ที่มีเกรนละเอียดพิเศษและมีความบริสุทธิ์สูงเป็นเมทริกซ์พร้อมการเคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์หนาแน่นผ่านกระบวนการพิเศษ ตัวรับเวเฟอร์กราไฟท์ Semicorex 1x2" มีฟังก์ชันดังต่อไปนี้:

1. การถือครองที่ปลอดภัยและค้าง

เซมิคอร์เล็กซ์ 1x2"กราไฟท์ตัวรับเวเฟอร์มีคุณสมบัติการตัดเฉือนและการบำบัดที่แม่นยำ ให้ความเรียบของพื้นผิวที่ยอดเยี่ยมและความแม่นยำของมิติ ช่วยให้มั่นใจได้ว่าอุปกรณ์เหล่านี้ได้รับการยึดอย่างแน่นหนาในตำแหน่งที่เหมาะสม และมอบแพลตฟอร์มรองรับที่เรียบและมั่นคงสำหรับการเติบโตของส่วนปิดของแผ่นเวเฟอร์

2.การกระจายความร้อนสม่ำเสมอแม่นยำ

ด้วยการนำความร้อนที่ดีเยี่ยมของวัสดุกราไฟท์และ SiC ตัวรับคลื่นไฟท์เวเฟอร์ Semicorex 1x2" ให้การกระจายความร้อนที่รวดเร็วและสม่ำเสมอทั่วทั้งสารเซมิคอนดักเตอร์ ด้วยการลดการไล่ระดับของอุณหภูมิ ตัวรับคลื่นไฟท์เวเฟอร์ Semicorex 1x2" จึงสามารถหลีกเลี่ยงปัญหาต่างๆ เช่น คุณภาพชั้นนอกที่ไม่สม่ำเสมอและความเข้มข้นของความเครียดได้อย่างมีประสิทธิภาพ

ข้อดีของการเคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์ Semicorex

1. ความต้านทานการกัดกร่อนที่เหนือกว่า

ตัวรับเวเฟอร์ Semicorex 1x2" เคลือบด้วยซิลิคอนคาร์ไบด์หนาแน่น มีความทนทานต่อสารเคมีส่วนใหญ่ได้อย่างมีประสิทธิภาพ ทำให้เหมาะสำหรับการใช้งานในสภาวะการทำงานที่มีการกัดกร่อนสูง ซึ่งวัสดุมักสัมผัสกับก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนและไอสารเคมี

2. การไหลของอนุภาคต่ำ

เซมิคอร์เร็กซ์การเคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์มีความแข็งแรงในการยึดเกาะสูงกับเมทริกซ์กราไฟท์ ซึ่งสามารถหลีกเลี่ยงความเสี่ยงของการปนเปื้อนของสารตั้งต้นได้อย่างมากเนื่องจากการหลุดลอกของสารเคลือบเนื่องจากการกัดกร่อนและการหลุดร่วงของอนุภาคที่เกิดจากสภาพแวดล้อมที่มีการกัดกร่อนสูง

3. อายุการใช้งานที่เชื่อถือได้

แม้ว่าเมทริกซ์กราไฟท์จะมีความเสถียรทางความร้อนและความแข็งแรงเชิงกลที่ดีเยี่ยม แต่ก็มีแนวโน้มที่จะเกิดการกัดกร่อนและการบดเป็นผงภายใต้สภาวะการทำงานของกระบวนการเอพิแทกเซียล ส่งผลให้อายุการใช้งานของเมทริกซ์กราไฟท์ที่ไม่เคลือบผิวสั้นลงอย่างมาก ด้วยการห่อหุ้มเมทริกซ์กราไฟท์อย่างสมบูรณ์ด้วยการเคลือบ SiC ที่มีความหนาแน่น ตัวรับเวเฟอร์กราไฟท์ขนาด 1×2" ของเราจึงมีความทนทานที่เหนือกว่าและเชื่อถือได้

ข้อมูลวัสดุของการเคลือบ Semicorex SiC