ตัวรับกราไฟต์เคลือบ SiC สำหรับ MOCVD

Semicorex เป็นผู้ผลิตและซัพพลายเออร์ขนาดใหญ่ของ Susceptor กราไฟต์เคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์ในประเทศจีน เรามุ่งเน้นไปที่อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ เช่น ชั้นซิลิกอนคาร์ไบด์และเซมิคอนดักเตอร์ epitaxy SiC Coated Graphite Susceptor สำหรับ MOCVD มีข้อได้เปรียบด้านราคาที่ดีและครอบคลุมตลาดยุโรปและอเมริกาหลายแห่ง เราหวังว่าจะได้เป็นหุ้นส่วนระยะยาวของคุณ

ส่งคำถาม

รายละเอียดสินค้า

Semicorex SiC Coated Graphite Susceptor สำหรับ MOCVD เป็นพาหะกราไฟต์เคลือบซิลิกอนคาร์ไบด์ที่มีความบริสุทธิ์สูง ใช้ในกระบวนการสร้างชั้น epixial บนเวเฟอร์ชิป เป็นแผ่นกลางใน MOCVD รูปร่างของเฟืองหรือวงแหวน SiC Coated Graphite Susceptor สำหรับ MOCVD มีความต้านทานความร้อนและการกัดกร่อนสูง ซึ่งมีความเสถียรสูงในสภาพแวดล้อมที่รุนแรง
ที่ Semicorex เรามุ่งมั่นที่จะนำเสนอผลิตภัณฑ์และบริการคุณภาพสูงแก่ลูกค้าของเรา เราใช้วัสดุที่ดีที่สุดเท่านั้น และผลิตภัณฑ์ของเราได้รับการออกแบบให้ตรงตามมาตรฐานคุณภาพและประสิทธิภาพสูงสุด SiC Coated Graphite Susceptor สำหรับ MOCVD นั้นไม่มีข้อยกเว้น ติดต่อเราวันนี้เพื่อเรียนรู้เพิ่มเติมเกี่ยวกับวิธีที่เราสามารถช่วยเหลือคุณเกี่ยวกับความต้องการในการประมวลผลแผ่นเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ของคุณ

พารามิเตอร์ของ Susceptor กราไฟต์เคลือบ SiC สำหรับ MOCVD

ข้อมูลจำเพาะหลักของการเคลือบ CVD-SIC
คุณสมบัติ SiC-CVD
โครงสร้างคริสตัล	เฟส FCC Î²
ความหนาแน่น	กรัม/ซม. ³	3.21
ความแข็ง	ความแข็งของวิคเกอร์	2500
ขนาดเกรน	Î¼m	2~10
ความบริสุทธิ์ของสารเคมี	%	99.99995
ความจุความร้อน	เจ·กก-1 ·K-1	640
อุณหภูมิระเหิด	℃	2700
ความแข็งแรงของ Felexural	MPa (RT 4 จุด)	415
Youngâ s Modulus	เกรดเฉลี่ย (โค้ง 4pt, 1300â)	430
การขยายตัวทางความร้อน (C.T.E.)	10-6K-1	4.5
การนำความร้อน	(W/mK)	300

คุณลักษณะของ Susceptor กราไฟต์เคลือบ SiC สำหรับ MOCVD

- หลีกเลี่ยงการลอกออกและเคลือบบนพื้นผิวทั้งหมด
ต้านทานการเกิดออกซิเดชันที่อุณหภูมิสูง: เสถียรที่อุณหภูมิสูงถึง 1600°C
ความบริสุทธิ์สูง: เกิดจากการสะสมของไอสารเคมี CVD ภายใต้สภาวะคลอรีนที่อุณหภูมิสูง
ความต้านทานการกัดกร่อน: ความแข็งสูง พื้นผิวหนาแน่น และอนุภาคละเอียด
ต้านทานการกัดกร่อน: กรด ด่าง เกลือ และสารอินทรีย์
- บรรลุรูปแบบการไหลของก๊าซลามินาร์ที่ดีที่สุด
- รับประกันความสม่ำเสมอของโปรไฟล์ความร้อน
- ป้องกันการปนเปื้อนหรือการแพร่กระจายสิ่งสกปรก