แขนเซรามิกอลูมินา

แขนเซรามิกอลูมินา Semicorex เป็นส่วนประกอบทางวิศวกรรมที่พัฒนาขึ้นเป็นข้อกำหนดสูงสุดสำหรับการใช้งานเซมิคอนดักเตอร์ ทำจากอลูมินาที่มีความบริสุทธิ์สูง (Al₂o₃) เป็นแขนหุ่นยนต์ที่มีการผสมผสานระหว่างความแข็งแรงเชิงกลความเสถียรทางความร้อนและความต้านทานทางเคมี แขนไม่เพียง แต่ออกแบบมาเพื่อใช้สำหรับการจัดการเวเฟอร์เพียงอย่างเดียว แต่ยังต้องให้การสนับสนุนกระบวนการในเว็บไซต์การผลิตขั้นสูง นอกจากนี้ยังต้องตรวจสอบให้แน่ใจว่าเวเฟอร์กำลังถูกถ่ายโอนตำแหน่งและประมวลผลโดยไม่มีการปนเปื้อนหรือความเสียหาย การปรับปรุงผลตอบแทนและความน่าเชื่อถือของกระบวนการ

อลูมินาเป็นหนึ่งในเซรามิกทางเทคนิคที่พบการใช้งานที่กว้างที่สุดในสนามเซรามิกทางเทคนิค อลูมินาเป็นที่รู้จักกันดีในเรื่องความแข็งความต้านทานการสึกหรอและความมั่นคงในสภาพแวดล้อมที่ก้าวร้าว สำหรับวัตถุประสงค์ของแขนเซรามิกในการจัดการการจัดการเวเฟอร์โดยไม่แนะนำการปนเปื้อนมันสามารถใช้ประโยชน์จากคุณสมบัติของอลูมินาและส่งมอบความต้านทานต่อการเสียดสีในระดับที่สูงขึ้นเนื่องจากความบริสุทธิ์สูงและขนาดอนุภาค ดังนั้นมันจะไม่สร้างอนุภาคที่มากเกินไปในระหว่างการเคลื่อนไหวซ้ำ ๆ ไม่ว่าจะเป็นเวเฟอร์หรือกับสารกึ่งตัวนำชนิดอื่น ๆ  ความหนาแน่นและความพรุนต่ำที่ยัง จำกัด ศักยภาพของอนุภาคที่หลุดพ้นและทำให้มั่นใจได้ว่ามันเป็นไปตามข้อกำหนดที่สะอาดเป็นพิเศษของการพัฒนาเซมิคอนดักเตอร์ FABs โดยไม่ต้องเบี่ยงเบนความสนใจจากความสะอาดที่จำเป็นสำหรับการจัดการอุปกรณ์ submicron

อลูมินามีความเสถียรทางความร้อนที่ยอดเยี่ยมนอกเหนือจากความแข็งแรงเชิงกล แขนเซรามิกอลูมินาสามารถทนต่ออุณหภูมิของกระบวนการที่รุนแรงโดยไม่ต้องแปรปรวนการแตกหรือสูญเสียความแข็งแรง คุณสมบัตินี้ทำให้เหมาะสำหรับการรวมตัวกันในขั้นตอนกระบวนการใด ๆ ที่รวมถึงการสัมผัสกับอุณหภูมิที่สูงขึ้นเช่นการแพร่กระจายออกซิเดชันหรือขั้นตอนการหลอม เวเฟอร์จะปรับปรุงความน่าเชื่อถือสำหรับการถ่ายโอนในสภาพแวดล้อมกระบวนการที่ท้าทายเนื่องจากยังคงความสมบูรณ์ของกลไกภายใต้การปั่นจักรยานความร้อน

ความต้านทานทางเคมีเป็นอีกหนึ่งบวกพื้นฐานของแขนเซรามิกอลูมินา ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์การรักษามักจะดำเนินการบนเวเฟอร์ซึ่งรวมถึงกรดที่แข็งแรงอัลคาลิสและสารเคมีที่ก้าวร้าวอื่น ๆ ในขณะที่ส่วนประกอบของโลหะอาจกัดกร่อนหรือชะล้างสิ่งสกปรกอลูมินาเป็นสารเคมีเฉื่อยซึ่งปกป้องความสมบูรณ์ของทั้งแขนและเวเฟอร์ที่จัดการ ดังนั้นความเฉื่อยชาจะยืดอายุการใช้งานของส่วนประกอบในขณะที่ลดความเป็นไปได้ของการปนเปื้อนในระหว่างขั้นตอนกระบวนการที่สำคัญเช่นการทำความสะอาดเปียกหรือการสะสมไอสารเคมี

แขนเซรามิกอลูมินาได้รับการออกแบบโดยเน้นไปที่ความเข้ากันได้และความแม่นยำ แขนแต่ละข้างทำขึ้นเพื่อความคลาดเคลื่อนมิติที่แน่นหนาทำให้มั่นใจได้ว่าการจัดตำแหน่งเวเฟอร์ที่แม่นยำและการเคลื่อนไหวและความเข้ากันได้กับอุปกรณ์จัดการเวเฟอร์อัตโนมัติและระบบหุ่นยนต์ พื้นผิวที่เรียบและขัดเงามีส่วนต่อประสานแรงเสียดทานต่ำพร้อมเวเฟอร์ที่ช่วยลดโอกาสในการเกาเวเฟอร์ซึ่งเป็นสิ่งจำเป็นสำหรับเวเฟอร์ความสมบูรณ์/ความสะอาดด้านสิ่งแวดล้อมและการลดอัตราข้อบกพร่อง ความคลาดเคลื่อนทางวิศวกรรมเหล่านี้ทำให้มั่นใจได้ว่าแขนทำงานได้อย่างอิสระในสภาพแวดล้อมที่มีปริมาณงานสูงอย่างรวดเร็วและช่วยให้เวิร์กโฟลว์เซมิคอนดักเตอร์ของมนุษย์และอัตโนมัติเต็มรูปแบบสำหรับแขน

แขนเซรามิกอลูมินาสูงเกินกว่าประสิทธิภาพทางเคมีและเชิงกลและส่งผลกระทบต่อประสิทธิภาพการทำงานและการประหยัดต้นทุนในหลายระดับ ลักษณะที่ทนทานของเซรามิกที่พิสูจน์แล้วช่วยให้แขนมีประสิทธิภาพสูงกว่าวัสดุคอมโพสิตเช่นพลาสติกหรืออลูมิเนียมในแง่ของการออกแบบที่ยืนยาวภายใต้การโหลดเชิงกลซ้ำ ๆ และลดปริมาณการหยุดทำงานและ/หรือค่าใช้จ่ายทดแทนที่เกี่ยวข้อง ความสามารถในการทนต่อสภาพแวดล้อมที่รุนแรงรวมถึงความสะอาดด้านสิ่งแวดล้อมในขณะที่ยังผลิตการหยุดชะงักของการผลิตน้อยลงซึ่งนำไปสู่การปรับปรุงการผลิตเวเฟอร์ที่สอดคล้องกันเช่นผลผลิตและเศษซากที่น้อยลงนำไปสู่ ​​ROI ที่สูงขึ้น (ผลตอบแทนจากการลงทุน) สำหรับผู้ผลิตเซมิคอนดักเตอร์

ตัวเลือกสำหรับการใช้ประโยชน์อลูมินาเซรามิกARM สำหรับกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์นั้นไม่มีที่สิ้นสุด - จากการเคลื่อนที่ของเวเฟอร์ระหว่างม้านั่งเปียกเตาเผาและห้องสะสมไปจนถึงเครื่องมือตรวจสอบและเครื่องมือวัดวิทยาที่ใช้สารตั้งต้น ความสามารถรอบตัวของผลิตภัณฑ์นี้ไม่เพียง แต่ช่วยให้สามารถใช้สำหรับแอปพลิเคชันการจัดการเวเฟอร์เท่านั้น แต่ยังต้องใช้สถานการณ์อัตโนมัติเพิ่มเติมซึ่งจำเป็นต้องมีความแม่นยำความสะอาดและความน่าเชื่อถือเป็นไปได้เช่นกัน อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์กำลังเคลื่อนไปสู่โหนดขนาดเล็กอย่างไม่หยุดยั้งและเพิ่มความซับซ้อนในการผลิตอุปกรณ์และในขณะที่อุตสาหกรรมยังคงเรียกร้องให้มีการจัดการโซลูชันที่ดีกว่าที่น่าเชื่อถือและไม่สามารถควบคุมได้แขนหุ่นยนต์เซรามิกสร้างเส้นทางที่ชัดเจนไปข้างหน้า