นิ้วมือ

Semicorex sic fingers เป็นชิ้นส่วนเฉพาะที่มีแอพพลิเคชั่นหลักอยู่ในอุปกรณ์การประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์โดยเฉพาะในระบบการจัดการเวเฟอร์และการสนับสนุน หน้าที่หลักของพวกเขาคือการสนับสนุนหรือถือเวเฟอร์ในระหว่างกระบวนการเช่น epitaxy การฝังไอออนหรือการรักษาด้วยความร้อนซึ่งความเสถียรในมิติหรือความสะอาดพร้อมกับความน่าเชื่อถือเป็นสิ่งสำคัญ ซิลิคอนคาร์ไบด์ผสมผสานความแข็งแรงเชิงกลเข้ากับความต้านทานความร้อนและสารเคมีที่ยอดเยี่ยมและลักษณะเหล่านี้มีความจำเป็นในสายการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูงดังนั้นนิ้ว sic จึงเป็นสิ่งที่ขาดไม่ได้ในการใช้งานดังกล่าว

คุณสมบัติการขายของซิลิกอนคาร์ไบด์ในฐานะที่เป็นวัสดุคือความสามารถในการทนต่ออุณหภูมิการทำงานที่สูงมากโดยไม่สูญเสียความสมบูรณ์ทางกล ในกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์เช่นการเติบโตของ epitaxial เวเฟอร์จะได้รับอุณหภูมิสูงขึ้นอย่างกะทันหันและช่วงเวลาที่ยาวนานขึ้น SIC นิ้วที่เคยมีส่วนร่วมจะรักษาแนวและความแข็งแรงของพวกเขาตลอดวัฏจักรอุณหภูมิสูงดังนั้นเวเฟอร์ยังคงอยู่ในสถานที่ลดการเคลื่อนไหวเพื่อหลีกเลี่ยงการเสียรูปหรือการเยื้องศูนย์เพื่อรักษาความสม่ำเสมอของกระบวนการที่เพียงพอเพื่อให้ได้ผลผลิตอุปกรณ์ที่ยอมรับได้ Sic Fingers ให้บริการที่ยาวนานกว่าการรองรับเซรามิกหรือโลหะทั่วไปในขณะที่มีความสอดคล้องกันมากขึ้นในการโหลดอุณหภูมิสูง

ประโยชน์หลักของนิ้วมือคือความต้านทานทางเคมีที่เหนือกว่า แอพพลิเคชั่นเซมิคอนดักเตอร์ทั้งหมดเกี่ยวข้องกับก๊าซปฏิกิริยาการสัมผัสกับพลาสม่าและการสัมผัสกับสารเคมีกัดกร่อน วัสดุที่กัดกร่อนหรือสลายตัวตอบสนองโดยการปล่อยอนุภาคหรือสารปนเปื้อนที่สามารถลดคุณภาพของเวเฟอร์ซิลิกอนคาร์ไบด์มีพื้นผิวเฉื่อยทางเคมีที่จะไม่ติดหรือตอบสนองต่อสารเคมีที่ก้าวร้าวทำให้เกิดสภาพแวดล้อมที่สะอาดและลดความเสี่ยงต่อการปนเปื้อนอย่างมีนัยสำคัญ สิ่งนี้จะเพิ่มความทนทานของเครื่องมือการจัดการเวเฟอร์ซึ่งมีส่วนทำให้เกิดผลลัพธ์กระบวนการที่เสถียรและทำซ้ำได้โดยตรงซึ่งเป็นสิ่งสำคัญในการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ที่มีผลตอบแทนสูง

ความแม่นยำเป็นอีกหนึ่งการพิจารณาที่สำคัญในการออกแบบนิ้ว sic การจัดการเวเฟอร์นั้นมีส่วนประกอบที่มีความคลาดเคลื่อนอย่างมากไมโครมิเตอร์สามารถทำให้เกิดเวเฟอร์ที่ไม่ถูกต้องเพิ่มศักยภาพในการทำลายเวเฟอร์หรือทำให้เกิดความไม่สอดคล้องกันในกระบวนการ ด้วยการใช้ประโยชน์จากเทคโนโลยีการตัดเฉือนและการขัดเงาล่าสุดนิ้ว SIC สามารถผลิตได้ด้วยความคลาดเคลื่อนในมิติที่สูงที่สุดและความเรียบของพื้นผิวและผิวเรียบ สิ่งนี้รับประกันได้ว่าแพลตฟอร์มที่มีเสถียรภาพและมีความเฉื่อยค่อนข้างจะได้รับการสนับสนุนจากเวเฟอร์ด้วยศักยภาพที่ลดลงสำหรับการก่อตัวของอนุภาคและประสิทธิภาพการทำงานซ้ำ ๆ ของแอปพลิเคชันการจัดการเวเฟอร์ในอุปกรณ์ประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์อัตโนมัติ

นอกเหนือจากข้อได้เปรียบของวัสดุพื้นฐานของนิ้ว SIC แล้วพวกเขายังสามารถทำเฉพาะเพื่อให้เหมาะกับแต่ละอุปกรณ์หรือความต้องการกระบวนการ ขนาดเวเฟอร์ที่แตกต่างกันการออกแบบเครื่องปฏิกรณ์ที่แตกต่างกันและการจัดการผู้ประกอบการที่แตกต่างกันต้องการโซลูชันที่ผลิตเฉพาะ SIC Fingers สามารถทำได้ในรูปทรงเรขาคณิตหรือมิติใด ๆ และการรักษาพื้นผิวสามารถใช้เป็นที่เหมาะสมสำหรับการใช้งานเฉพาะ

SIC นิ้วยังลดค่าใช้จ่ายในการดำเนินงานเนื่องจากอายุการใช้งานที่ใช้งานได้ยาวนาน ด้วยความทนทานและความน่าเชื่อถือสำหรับผู้ผลิตเซมิคอนดักเตอร์การใช้นิ้วมือ SIC นำไปสู่การเพิ่มเวลาที่เพิ่มขึ้นลดต้นทุนการบริโภคและประสิทธิภาพของกระบวนการที่ดีขึ้นโดยรวม

ในทางปฏิบัติแล้วนิ้วมือของ SIC ส่วนใหญ่ใช้ในเครื่องปฏิกรณ์การเจริญเติบโตของ epitaxy เนื่องจากพวกเขาให้เวเฟอร์ที่มั่นคงในระหว่างกระบวนการทางความร้อนและสารเคมี พวกเขายังใช้ในการปลูกถ่ายไอออนหรือนรกอุณหภูมิสูงซึ่งมีความเสถียรทางกลเช่นเดียวกับความเฉื่อยของสารเคมีเป็นสิ่งสำคัญ ในแอพพลิเคชั่นประสิทธิภาพที่สอดคล้องกันยังทำให้การใช้งานในการจัดการเวเฟอร์ที่สำคัญในการให้ความสม่ำเสมอของกระบวนการความสมบูรณ์ของเวเฟอร์และคุณภาพ

Semicorex sic fingers เป็นตัวอย่างที่แข็งแกร่งของข้อดีของวัสดุซิลิกอนคาร์ไบด์ สำหรับอุณหภูมิสูงทนต่อสารเคมีที่มีความแม่นยำในการออกแบบส่วนประกอบเซมิคอนดักเตอร์ สภาพแวดล้อมของวัสดุของนิ้ว SIC ให้ความเสถียรของอุณหภูมิสูงความต้านทานทางเคมีที่ยอดเยี่ยมและความสามารถในการผลิตตามมาตรฐานที่มีความแม่นยำสูง ส่วนประกอบที่แข็งแกร่งและปรับแต่งได้มีความสำคัญอย่างยิ่งต่อการบรรลุการผลิตที่มั่นคงและผลผลิตที่ดีขึ้นและประสิทธิภาพด้านต้นทุนสำหรับผู้ผลิตเซมิคอนดักเตอร์ SIC Fingers ยังคงเป็นโซลูชั่นขั้นสูงและเชื่อถือได้สำหรับ FABs ที่มุ่งเน้นไปที่ความมั่นคงของกระบวนการและการประกันคุณภาพ