เอฟเฟกต์ปลายเซรามิกอะลูมินา

เอฟเฟกต์เซรามิกเซรามิกเซมินิกส์ Semicorex เป็นเครื่องมือสำคัญในระบบการถ่ายโอนเวเฟอร์อัตโนมัติที่ให้ความแข็งแรงเชิงกลที่ไม่มีใครเทียบเสถียรภาพความร้อนและความต้านทานทางเคมี ผลิตโดยใช้ความบริสุทธิ์สูงเซรามิกอลูมินา (al₂o₃)เอฟเฟกต์ปลายทางนี้ได้รับการออกแบบมาเพื่อตอบสนองความต้องการที่เข้มงวดของสภาพแวดล้อมการประมวลผลเวเฟอร์ซึ่งความแม่นยำความสะอาดและความทนทานเป็นสิ่งสำคัญยิ่ง

แขนหุ่นยนต์เซมิคอนดักเตอร์เป็นหนึ่งในส่วนสำคัญของอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ พวกเขามักจะประกอบด้วยตัวควบคุมไดรเวอร์แขนและเอฟเฟกต์ปลาย พวกเขาโดดเด่นด้วยความสะอาดสูงความเสถียรสูงความแม่นยำสูงประสิทธิภาพสูงและความน่าเชื่อถือสูง หุ่นยนต์เซมิคอนดักเตอร์ส่วนใหญ่จะใช้ในกระบวนการส่วนหน้าของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์เพื่อดำเนินการขนส่งและตำแหน่งเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์

โครงสร้างเซรามิกที่มีปริมาณอลูมินามากกว่า 99.5% จะให้ความแข็งและความต้านทานการสึกหรอที่เหนือกว่าสำหรับการเคลื่อนไหวซ้ำ ๆ ในสภาพแวดล้อมที่มีความแม่นยำสูงโดยไม่ลดลงเมื่อเวลาผ่านไป ค่าการนำความร้อนสูงและการขยายตัวทางความร้อนต่ำของอลูมินาช่วยให้มีความเสถียรในมิติในสภาพแวดล้อมที่มีอุณหภูมิสูงความจำเป็นในการดำเนินการห้องทำความสะอาดส่วนใหญ่ในเซมิคอนดักเตอร์เช่นใน etcher, ฝาก, ตรวจสอบหรือทำความสะอาดเครื่องมือ

ที่อลูมินาเซรามิกEND Effector มีพื้นผิวลักษณะที่โดดเด่นที่ราบรื่นและมีความพรุนต่ำทำให้ใกล้กับอนุภาคที่เกิดขึ้นและลดขนาดหรือเป็นศูนย์ต่อสารปนเปื้อนในระหว่างการจัดการเวเฟอร์ นอกจากนี้อลูมินายังเป็นสารเคมีเฉื่อย ซึ่งหมายความว่าจะไม่ทำปฏิกิริยากับก๊าซกระบวนการใด ๆ และของเหลวกระบวนการใด ๆ ที่เวเฟอร์สัมผัสกับ สิ่งนี้จะช่วยปกป้องเวเฟอร์และการปนเปื้อนใด ๆ กับตัวเองและอุปกรณ์จากสิ่งใดก็ตามที่อาจทำให้เกิดการกัดกร่อน

โดยทั่วไปจะใช้เป็นเอฟเฟกต์ปลายทางหรือกลไกการยึดสำหรับแขนหุ่นยนต์หรือโมดูลถ่ายโอนในอุปกรณ์การผลิตเวเฟอร์และอุปกรณ์เช่นเครื่องมือ etcher หรือเครื่องมือการฝากเครื่องมือตรวจสอบหรือทำความสะอาดด้วยช่องเสียบที่แม่นยำร่องหรือช่องสูญญากาศ โดยทั่วไปแล้วเอฟเฟกต์ปลายจะจัดการการถ่ายโอนความเร็วของเวเฟอร์ที่ 25 ซม./วินาที

ตัวเลือกการปรับแต่งมีอยู่ตามสายของการออกแบบสำหรับอินเทอร์เฟซอุปกรณ์เฉพาะหรือขนาดเวเฟอร์ ความแข็งแกร่งของโครงสร้างของอลูมินาช่วยให้โปรไฟล์บางและน้ำหนักเบาซึ่งช่วยลดมวลรวมของระบบการจัดการและนำไปสู่เวลาตอบสนองที่เร็วขึ้น การกำหนดค่าบางอย่างอาจเพิ่มส่วนประกอบป้องกันสแตติกหรือฉนวนเพื่อให้การป้องกันเพิ่มเติมกับพื้นผิวอิเล็กทรอนิกส์ที่ละเอียดอ่อน

โดยรวมแล้วอลูมินาเซรามิกเอฟเฟกต์ให้ทางออกที่มีประสิทธิภาพซึ่งส่งเสริมผลผลิตที่ดีขึ้นและการปนเปื้อนที่ลดลงซึ่งความน่าเชื่อถือในการดำเนินงานเป็นองค์ประกอบสำคัญสำหรับสายการประมวลผลเวเฟอร์ ด้วยความทนทานและลักษณะสมรรถภาพทางกายทำให้เอฟเฟกต์ปลายเซรามิกเซรามิกที่มีประสิทธิภาพและคุ้มค่าและคุ้มค่านั้นแตกต่างกันเป็นตัวเลือกยอดนิยมในหมู่ผู้ผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์และ FABS ที่ต้องการมาตรฐานการผลิตที่เข้มงวดในสภาพแวดล้อมที่สะอาดเป็นพิเศษ