หัวจับเวเฟอร์อลูมินาเซรามิก

ลักษณะที่มีหลายรูพรุนของหัวจับเวเฟอร์เซรามิก Semicorex Alumina ให้พื้นที่ผิวจำเพาะสูง ซึ่งหมายความว่ามีพื้นผิวมากขึ้นสำหรับการโต้ตอบกับวัตถุเป้าหมาย ความพรุนสูงมีส่วนช่วยในการดูดซับที่ดีขึ้น ช่วยให้สามารถยึดเวเฟอร์ได้อย่างปลอดภัยและสม่ำเสมอในระหว่างการบด ความสม่ำเสมอนี้เป็นสิ่งจำเป็นสำหรับการบรรลุพื้นผิวเวเฟอร์คุณภาพสูงและปราศจากข้อบกพร่อง ซึ่งเป็นข้อกำหนดหลักในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

หัวจับเวเฟอร์เซรามิกอลูมินามีการนำความร้อนที่ดี ซึ่งจำเป็นสำหรับการกระจายความร้อนอย่างมีประสิทธิภาพในระหว่างกระบวนการเจียร การจัดการความร้อนนี้ช่วยป้องกันความเสียหายทั้งต่อหัวจับและชิ้นงาน ทำให้มั่นใจได้ถึงความแม่นยำสูงในการผลิตแผ่นเวเฟอร์ นอกจากนี้ ความสามารถของหัวจับเวเฟอร์อลูมินาเซรามิกในการทนต่ออุณหภูมิสูงโดยไม่เสียรูปหรือสูญเสียความสมบูรณ์ของโครงสร้าง ทำให้เหมาะสำหรับการใช้งานที่ทำงานภายใต้สภาวะที่รุนแรง เช่น อุปกรณ์แปรรูปเซมิคอนดักเตอร์

ลักษณะเฉื่อยของ Alumina Ceramic Wafer Chucks ช่วยให้ทนทานต่อการกัดกร่อนจากสารเคมีหลายชนิดได้เป็นอย่างดี ความต้านทานต่อสารที่มีฤทธิ์กัดกร่อนไม่เพียงแต่มีความสำคัญต่อการรักษาความสมบูรณ์ของหัวจับเท่านั้น แต่ยังป้องกันการปนเปื้อนของแผ่นเวเฟอร์ในระหว่างกระบวนการผลิตอีกด้วย ความเสถียรทางเคมีช่วยให้แน่ใจว่าหัวจับเวเฟอร์เซรามิกอลูมินาไม่ทำปฏิกิริยากับสารเคมีในกระบวนการหรือวัสดุที่กำลังแปรรูป ซึ่งเป็นสิ่งสำคัญยิ่งในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และการใช้งานที่มีความละเอียดอ่อนอื่นๆ